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[求助]要怎么做才能用台阶仪测出透明薄膜厚度？ [复制链接]

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离线jlxygun

实习生

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2007-10-17

我磁控溅射在k-9玻璃上做的SiN薄膜是透明的，而台阶仪要求两个面之间有一定的对比度（在显示器上可以分辨出台阶），希望大家给出出主意，怎么处理才能用台阶仪测出SiN厚度呢？谢谢！

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离线huyanah

实习生

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只看该作者 1楼发表于: 2007-11-07

坦白的说，台阶很难
椭偏可以

离线memser

实习生

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只看该作者 2楼发表于: 2007-11-07

台阶仪不是接触式测量吗？探针接触扫描曲线，为什么还要有对比度呢，难道我们用的台阶怡不一样，实在不明白，我只知道膜厚太小，《1000A测的不准。不过这个测的不准，用椭偏仪或者VYKO三维轮廓仪测吧。不过用椭偏仪你得知道K-9玻璃的law文件才能测，用VYKO你得光刻做个台阶后才行，都比较准吧。再不就用膜厚仪吧，不怎么准，因为折射率是设定了的，而且可能还不行，因为没有你这基底啊。