主要镀膜材料及其性能和用途 iOhX\@ &
名称 折射率 透光范围 蒸发温度(℃) 蒸发源 应用 6c(b*o
三氧化二铝 1.62/550nm 200~5000 2000-2200 电子枪 增透膜、多层膜 Q.eD:@%iE
氟化铈 1.63/500nm 300~5000 1429 钼，钽，电子枪 增透膜、多层膜 f?=0Wzb
氧化铈 2.35/500nm 400~16000 1950 电子枪 增透膜 w =!xTA
冰晶石 1.33/500nm 250~14000 1000 钼，钽，电子枪 增透膜 qvo!nr7
氧化铪 1.95/500nm 230~7000 2500 电子枪 紫外-近红外多层膜 w<THPFFF"
透明导电膜料 2.0/500nm 400~800 1450 电子枪，Al2O3 透明导电膜 zfI{cMn'J
氟化钙 1.23-1.42/550nm 150~12000 1280~1400 钼，钽，钨 增透膜 '[8w8,v(
氟化镁 1.38/550nm 130~7000 1300~1600 钼，钽，钨 增透膜、多层膜 /*fx`0mY)
氧化镁 1.7/500nm 200~8000 2000 电子枪 多层膜 {a V,h@>
锆钛混合物 2.1/500nm 400~7000 2300 钨，电子枪 增透膜 LNR1 YC1c
氧化钪 1.89/500nm 250~5000 2430 电子枪 紫外多层膜 ( z)#}TC
二氧化硅 1.45/500nm 200~2000 1600~2200 电子枪 多层膜 hNYO+LrI)
一氧化硅 1.55/550nm 600~8000 1200~1600 钼，钽，钨 增透膜、保护膜 p| nPu*R-\
五氧化二钽 2.1/500nm 400~7000 1950 电子枪 增透膜 VhLfSN>W
一氧化钛 2.35/500nm 400~12000 1700~2000 电子枪 多层膜、分光膜 _8y4U[L
二氧化钛 2.35/500nm 400~12000 2200 电子枪 增透膜、多层膜 f
]_ki
氧化钇 1.87/550nm 400~8000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 l x5 .50mI
氧化锆 2.05/500nm 250~7000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 XY6Sm{
三氧化二钛 2.35/500nm 400~12000 1800~2000 钽，钨电子枪 增透膜、多层膜 EX!`Zejf
氟化钡 1.4/10600nm 220~11000 1280 钼，钽，铂 紫外-远红外膜、多层膜、增透膜 G#`
氟化镧 1.58/500nm 220~14000 1450 钼，电子枪 增透膜 2i #Ekon
硅 3.4/3000nm 1000~9000 1500 电子枪 红外膜 $Lbamg->E
锗 4.4/2000nm 1700~23000 1300~1500 电子枪，钨 红外膜 `?[,1
硒化锌 2.58/550nm 600~15000 600~900 钼，钽，电子枪 红外膜 %wru)
硫化锌 2.4/1200nm 400~14000 1100 钼，钽，电子枪 多层膜 6
F 39'
氟化钇 红外膜(10.61.49/632.8nm 200~15000 1100 钼 m)增透膜 _]ZlGq!L
氟化镨 1.51/632.8nm 220~15000 红外膜(10.61400~1600 钼，电子枪 m)增透膜 Oh10X.)i
氟化铝 1.35/500nm 200~8000 800~1000 电子枪，钼，钽 紫外膜 }BT0dKx
氟化铅 1.76/470nm 220~9000 700~1000 铂 紫外膜 /CyFe< t
氧化钆 1.8/550nm 320~15000 2200 增透膜
