摘要
_)YB*z5 QvOl-Lfc 干涉测量是一种
光学计量的重要技术。 它被广泛应用于表面轮廓,缺陷,
机械和高
精度热变形等领域的测量。 作为一个典型的例程,在非
序列场追迹的帮助下,我们在VirtualLab Fusion中建立了具有相干
激光源的马赫-曾德尔
干涉仪,本案例清楚地展示了
光学元件的倾斜和移位对干涉条纹图案的影响。
7Xh @%[ <QaUq`, 建模任务
y4=T0[
V Q]RE,ZZ ]n:R#55A 元件倾斜引起的干涉条纹
VyNU<} (hKjr1s 1g$xKe~]4
元件移位引起的干涉条纹
u{D]Kc?n Zz'g&ew