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摘 要 ww-XMz h q2[+-B)m 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 JJ^iy*v <+ -V5O^ 建模任务 V#p G; , I[tAT[ <
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*K]>} 倾斜平面下的观测条纹 z~GVvgd rdORNlK&
9m%7dsv %{N>c:2I$ 圆柱面下的观测条纹 QBg}2. Na~g*)uT$
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