算力浪潮下，高速光模块良率的隐形关卡

不少光通信制造企业在产线验证阶段，会遇到一类复现难度较高、定位周期较长的不良现象：器件常温光电指标检测合格，在经过高温老化、湿热循环、TCT（温度循环）、PCT（高压蒸煮）等可靠性测试后，出现插损波动、回波损耗劣化、消光比漂移、眼图闭合、PD 暗电流抬升等异常。在依次排除光路对位、封装结构、焊料工艺、耦合对准公差、有源区键合应力、FA（光纤阵列）共面度等影响因素后，在部分完成根因排查的项目案例中，该类异常可溯源至光学界面存在的非挥发性残留物、有机可萃取物与微颗粒污染。

该类污染物来源较为多元：制程脱模剂、工装析出微量油脂、抛光工序残留、环境浮尘、前道溶剂挥发遗留物、光刻胶残渍、底胶溢胶、等离子处理副产物等，都有可能附着在光纤端面、滤光膜层、增透膜、高反膜、分光膜、硅光芯片光学窗口、光栅耦合面、光纤阵列端面、透镜耦合界面表面。在常温工况下，这类污染物对器件指标影响有限；当器件处于高温、真空环境时，附着的有机物存在热解析、热脱附析出的可能性，进而有概率造成膜层光吸收增强、界面散射增加、膜层起泡脱层、光学界面污染，诱发界面缺陷态增长，影响器件长期工作稳定性。面向 1.6T 及更高带宽规格的高速光器件，尤其是共封装光学、硅光收发引擎、薄膜铌酸锂调制器，光学界面允许的洁净容错空间进一步收窄，行业内有部分企业参考 ISO 14644、光学表面洁净度标准，开展器件表面残留管控工作，搭配XPS、TOF-SIMS、光学显微散射检测、荧光显微表征对界面污染物做定性定量分析。

在光器件制造流程中，各类清洗方案都有其适用边界，同时存在对应的应用局限： 无尘手工擦拭

清洗效果高度依赖操作人员熟练度，批量一致性较难稳定管控；镀膜、超薄光学表面存在微划痕、亚表面损伤风险，极易引入擦拭纤维碎屑，较难适配大规模连续生产场景。

水基超声清洗

针对微沟槽、光纤狭缝这类复杂结构，存在残水风险；烘干不到位时，易引入水渍、离子残留、水致膜层水解、碱金属离子迁移污染；配套的废水处理、无尘烘干工段，也会带来产线场地、投入成本的增加；对于亲水型光学涂层、多孔微结构光子芯片兼容性较差。

有机溶剂清洗

部分光学涂层、粘接胶层与特定溶剂兼容性有限，容易引发膜层溶胀、界面应力开裂、胶层蠕变；同时方案需要匹配 VOC 管控、危废处置等合规要求，储存、使用成本存在上行压力，溶剂残留还会在后续高温工序再次发生脱附污染。

DSJet雪花清洗系统，以液态二氧化碳为介质，通过专用膨胀喷嘴，在喷出瞬间相变生成粒径可控的微米级固态 CO₂雪花微晶，射流依靠低温脆化、柔和动量剥离、CO₂溶剂效应、升华膨胀多重协同机制，去除工件表面薄层有机残留物以及松散附着的微颗粒。

整套系统配备前置精密过滤单元，对液态 CO₂与驱动气源进行净化，减少外来杂质带入；同时支持供气压力、射流距离、喷嘴类型多维度调节，针对光学器件场景，可选用扁形聚焦喷嘴、阵列喷嘴等不同构型匹配清洗区域，兼顾定点局部清洁与小幅面批量预处理需求。

清洗完成后，CO₂介质直接升华为气态，无液体、固体介质残留，无需烘干工段，工件清洗结束后可直接流转至镀膜、耦合、封装等下一道工序。

这里需要对两类干冰清洗工艺做出区分：颗粒型干冰清洗射流冲击强度更高，多用于工业设备、模具厚层油污维保场景；面向光通信光学器件的雪花清洗，通过喷嘴选型、供气压力、工艺参数调试，控制射流冲击强度，适配镀膜光学面、硅光芯片、光纤阵列这类对表面损伤敏感的零部件。

不存在一套通用工艺适配全部工况。不同基材、膜系、污染物类型，对清洗工艺的耐受度存在明显差异。

DSJet遵循试样先行的服务流程：接收客户送检样品，在自有实验室开展清洗试验，借助仪器观测、洁净度比对等方式记录清洗表现，评估基材、膜层的工艺兼容性；再结合客户产线、产能需求，沟通可选方案，包含台式试样设备、集成式自动化工作站、上门工艺测试服务等。工艺评估结论仅针对本次送检样品，最终落地效果以客户现场实测为准。

产业迭代的竞争，一方面来自底层光路、封装架构的技术突破，另一方面来自量产工艺稳定性的精细化管控。洁净工序虽属于辅助工序，但会对高价值光器件的良率表现、长期可靠性形成影响，是整套量产工艺体系中不可忽视的一环。

DSJet专注干冰清洗技术研发与落地，面向光通信、半导体等精密制造领域，提供设备、配套耗材、工艺试样相关配套服务。

如果您在高速光器件生产过程中，正在评估光学界面残留、可靠性不良相关的工艺优化方案，可以联系我们寄送样品，预约工艺试样评估。我们也将持续参与光通信行业技术交流，和产业链伙伴共同探索稳定、合规的精密洁净实现路径。

关于迪史洁

迪史洁（DSJet）是一家专注干冰清洗机、雪花清洗机、干冰制造机研发、生产与干冰清洗服务的高新技术企业，在上海、苏州、东莞、成都、武汉、合肥等地设有生产与服务基地，业务覆盖全国并出口三十多个国家，累计服务超过一千五百家工业客户，其中包含多家世界五百强企业。公司产品广泛应用于光学、光通信、半导体、精密电子等领域，提供雪花清洗系统与机器人清洗手臂等自动化解决方案。

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