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摘要 3b%y+?-{\u ~POe0!} 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 >OiC].1
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b%|%Rek8 2"V?+Hhz 在VirtualLab Fusion中查看 yDy3;*lE ~^Vt)/}Q _NqEhf:8 ,$}v_-:[l VirtualLab Fusion的工作流程 F Fg0} HC!$Z`}Y •构造光栅结构 = @ph - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 3+n&Ya1 - 倾斜光栅的高级配置[用例] n"_EDb •分析光栅衍射效率 [!bTko>rSB - 光栅级次分析器[用例] ShGR!r< •使用参数优化优化光栅参数 zFQxW4G •使用参数运行进行容差分析 LuQ=i`eXx - 参数运行文档的用法[用例] Qj0@^LA ??1V__w
#kma)_X ;[dcbyu@ VirtualLab Fusion技术 G]q6Ika E;-R<X5n
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