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摘要 4o*V12_r'4 p_z"Uwp 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ?UfZ VyHv+ 42wcpSp
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v$i%>tQ\ 1ZL_;k VirtualLab Fusion中的工作流程 cLU*Tx\ -$)Et | 构建光栅结构 if}]8 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] *i{.@RX? −倾斜光栅高级设定[用例] ^<VE5OM •光栅衍射效率分析 ziycyf.d −光栅阶序分析器[用例] DXz8C - •使用参数优化进行光栅参数优化 7:L~n(QpP •使用参数运行的容差分析 4sj%: X}-H=1T? )/Xrhhx 3rY /6{ VirtualLab Fusion技术 NACY;XQ% @c!67Z
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