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    [技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-20
    摘要 Pv/%s) &y&  
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    对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 GakmROZ@9  
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    结果-容差分析 9< 0$mE^:  
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    VirtualLab Fusion一瞥 l7r N  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 ~%!U,)-  
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    构建光栅结构 aR(Z~z;C  
    −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ,h)T(  
    −倾斜光栅高级设定[用例] DoPF/m}  
    •光栅衍射效率分析 Xy(SzJ %  
    −光栅阶序分析器[用例] 5l7L@Ey  
    •使用参数优化进行光栅参数优化 Xk9r"RmiOb  
    •使用参数运行的容差分析     qKb- aP-  
    xYkgNXGs5  
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    VirtualLab Fusion技术 0f}Q~d=QL  
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