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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-19
    摘要 lnm@DWhf  
    o=K9\l  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 t%0c$c  
    65*Hf3~~  
    5SmJ'zFO  
     foL4s;2  
    建模任务 hw*u.46  
    z%iPk'^  
    rm$dv%q  
    概述 y,6kL2DM  
    w5 ]lU  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 7J ?s&x  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Q"GM3?  
    }V`_ (%Q-e  
     78~/1-  
    c~;VvYu  
    光线追迹仿真 z;Fz3s7  
    *'aouS/?<6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !$>b}w'  
    •单击go！ :]CL}n$*  
    •获得了3D光线追迹结果。 |v5 ge3-  
    8{ =ha  
     \8s:I+[HH  
    >5"e<mwD7d  
    光线追迹仿真 'mTY56Yq  
    OLm@-I*  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Uxik&M  
    •单击go！ 3EY m@oZj  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 [@8po-()L  
    ~K99DK.  
     o0S 8ki  
    1 A0BM  
    场追迹仿真 /c 7z[|  
    ;134$7!Y  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %7w8M{I R3  
    •单击go！ ccPWfy_  
    #7}M\\$M  
    M0\gp@Fe  
     bZ OCj1  
    场追迹仿真（相机探测器） Kg2Du'WQ^  
    QjG/H0*mP  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 F4WX$;1  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 JtxVF !v  
    R8eBIJ/@_  
     -C}"1|P!  
    _z{9V7n4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d;wq@ e  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o$Nhx_F  
    W6i9mER-  
    J:>o\%sF  
     8>6<GdGL<n  
    场追迹仿真（电磁场探测器） gO "G/  
     VKX|0~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =>tkc/aa  
    "VSx?74q  
     5B2p_$W#  
    hfyU}`]  
    文件信息 {6:*c  
    As,e.V5!  
     US"g>WLwJ  
    QT^b-~^  
     
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