切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 双11活动：领红包、购物券啦！ CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 94阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7305
    光币
    30666
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-19
    摘要 ]@vX4G/  
    yhJH3<  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 NE,2jeZQ.  
    9cp-Rw<tI  
    >N62t9Ll[  
     z6]dF"N  
    建模任务 Hdw;=]-  
    f 5"1WtB  
    Zy|B~.@<j  
    概述 L3GA]TIf  
    BCYTlxC'  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 'FgBYy/  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 fz\C$[+u  
    JS <S?j?*/  
     $wg5q\Rv  
    -KhNsUQk  
    光线追迹仿真 .T 6 NMIp*  
    <k!M+}a 9V  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ayfR{RYi  
    •单击go！ O;z:?  
    •获得了3D光线追迹结果。 [Ul"I-K  
    kd)Q$RA(  
     1)pwR3(^Fz  
    ~U(`XvR\4  
    光线追迹仿真 4l7TrCB  
    k\BJs@-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 g= ~Y\$&  
    •单击go！ 45. -P  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #%N v\ g;  
    4&X D  
     %c"PMTq(  
    3.@"GS#"[  
    场追迹仿真 n75)%-  
    G2qv)7{l2  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {,NGxqhE  
    •单击go！ WD# 96V  
    U;`C%vHff  
    w\,N}'G  
     vz5x{W  
    场追迹仿真（相机探测器） v e($l"T  
    E! d?@Xr@  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `NYu|:JK:  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 60,z!Vv  
    2(LF @xb  
     x1H1[0w,i  
    EP,j+^RVf  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Ha~F&H|"O  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %"-bG'Yc  
    "| Oj!&0  
    !C\$=\$  
     ]QKo>7%[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） T5nBvSVv'  
     p0*qv"lA  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 z^lcc7  
    /T _{k.  
     j9gn7LS  
    ezimQ  
    文件信息 P.bxq50  
    YP E1s  
     fi%)520  
    Kzwbr?&z  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表