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1. 摘要 PR6uw gO!h<1 ! 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 "Am0.c/ ioCkPj )stWr r& 8'Bl=C|0X 2. 建模任务 0BE^qe <OfzE5
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G6VHl:e7z 3. 干涉条纹的变化 8\
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=e{KtX. B4&pBiG&f6 4. 走进VirtualLab Fusion Q&Ahr qk1D#1vl
DC7}Xly( lD#1"$Coz 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 Ao0PFY &YKzK)@
IjAity.Xrq iquGLwJ 6. VirtualLab Fusion 技术 Y!$z7K
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l'k_<a* 7. 文件信息 L%Q *\d pT$AdvI]
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