切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 112阅读
    • 0回复

    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-16
    摘要 \&J7>vu^y  
    <5A(rDij  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 -U(T  
    Q9Wa@gi|  
     SqTO~zGC  
    =9e( )j  
    建模任务 auqM>yx  
    d$/BF&n  
    *?K3jy{  
    仿真干涉条纹 iNgHx[*?  
    jAmAT /1  
    v"Fa_+TVx  
    走进VirtualLab Fusion rE-Xv. |  
    1y l2i|m+  
    lN)U8  
    %< JjftNQ  
    VirtualLab Fusion中的工作流程 -82Rz   
    %zyO}  
    •设置输入场 RZ9vQ\X U)  
    −基本光源模型[教程视频] P'GX-H  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 >n)N=Zyu  
    •定义元件的位置和方向 |0ahvsrtW  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] (t1:2WY@  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 w%)=`'s_  
    −非序列追迹的通道设置[用例] ] FvN*@lG  
    •使用参数运行检查影响/变化 [XjJsk,  
    −参数运行文档的使用[用例] nk]jIR y^T  
     JNRG [j  
    WaQCq0Enj  
    b2. xJ4  
    VirtualLab Fusion技术 {=j!2v#8~  
    jm'(t=Ze  
    文件信息 EX7cjQsml  
    s (J,TS#I]  
    FJgr=9>  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表