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摘要 \Rw^&;\1 `_x#`%!#2 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ab[V->>% S`& yVzv
CdKs+x&tZ ~FVbL-2 建模任务 P]7s1kgaS m4^VlE,`Dh 0zk054F' 仿真干涉条纹 dKmPKeJM RN$q,f[# jX,A. 走进VirtualLab Fusion MfraTUxIo/ 1pqYB]*u_ O O-Obg^ 2<*Yq8 VirtualLab Fusion中的工作流程 KP!7hJhw g`,(O •设置输入场 )>]SJQ!k −基本光源模型[教程视频] @"iNjqxh •使用导入的数据自定义表面轮廓 {JM3drnw •定义元件的位置和方向 !q8A!P4|' − LPD II:位置和方向[教程视频] h1#l12k^' •正确设置通道以进行非序列追迹 f5R%F~ −非序列追迹的通道设置[用例] [-\DC*6 •使用参数运行检查影响/变化 )+.AgqxI −参数运行文档的使用[用例] PAiVUGp5[ G
}M! ]@qD4: oTA'=<W?D VirtualLab Fusion技术 nb@<UbabW} P.~sNd oJ 文件信息 7KtgR=-Lb V{{UsEVO >P6U0
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