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摘要 %BMlc m7Ec QuI!`/ N)z 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 P\{s C6E
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 -U LgVGYKK aZa1 eE 建模任务 '"LaaTTs g`. H)36  vflC{,{=k> 光栅特性与参数的严格分析 Lc]hwMGR* ;p <BiC$b 不同光栅周期下的衍射效率 <HS{A$] Vu4L C&q
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0j xXUWO 关于光栅周期选择的考虑 ZJhI|wRwD
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 Qz2jV -?{g{6 偏振相关的衍射特性 RF
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 .A6pPRy e U;u 4ey 通过参数优化进行光栅设计 Q[ H4l({E t%k`)p7O 固定周期的2D参数优化 Ic&YiATj | "M1+(k7
 LtKR15h, 2D参数优化–设计1 3KkJQ5a
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 [{& OcEf Wap\J7NY 变化光栅周期的3D参数优化 XMxm2-%olP
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 zc,X5R1 !Bg^-F:N 制造公差分析 4[%_Bnv#AJ
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 jsKKg^ g GFnwj<V+{ VirtualLab Fusion中的工作流程 w-@6qMJ
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 bpDlFa %_ >8.7 •构造光栅结构 Dv^M/z2&[
−通过使用界面来配置光栅结构 l Yj$ 3
[用例] n%QWs 1 b
•分析光栅衍射效率 c2Y\bKeN
−光栅级次分析器[用例] yb Iqn0&[
•使用参数运行搜索初始解决方案 ]\ZmK0q<:
−参数运行文档的使用[用例] U Z:z|a3
•通过参数优化找到最终设计 F"23v G>3 YCdtf7P=q VirtualLab Fusion技术 ,k Fp%qNj Wk
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 N6*FlG- 19Mu}.+; 文件信息 *A0d0M]cg vnlHUQLO _.m|Ml,`{  b<E78B+Aax
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