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摘要 zj M/M <O857 j 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^)\+l%M
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 *I/A,#4r *#GDi'0 •构造光栅结构 N6BNzN}-P
−通过使用界面来配置光栅结构 u#!GMZJN
[用例] Q >[Ce3
•分析光栅衍射效率 /x
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−光栅级次分析器[用例]
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•使用参数运行搜索初始解决方案 xfes_v""
−参数运行文档的使用[用例] i\vpGlx
•通过参数优化找到最终设计 #!1IP~ uDI}R]8~ VirtualLab Fusion技术 soxfk+
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