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薄膜设计与镀膜工艺 1bjz :^ 时间地点 I+(
b!(H 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:讯技光电INFOTEK) _9dW+ 苏州黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) HL-'\wtl 课程时间: 2026/12/4(四)-12/6(日) 9I*2xy|I 课程地点:上海讯技 P/xEn_*v 课程讲师:讯技光电工程团队成员 YP[8d, 课程费用:4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) 8@b`a]lgrd 课程简介: "MK2QIo 随着现代科技的飞速发展,光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高,其种类非常广泛,如增透膜,高反膜,分光膜,滤光片等,光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 <{h\Msx% 本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用,第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法,前两天主讲人为讯技光电高级工程师,第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵,分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。 SYh>FF" 易葵:中国科学院上海光机所正高级工程师,主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作,尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项,入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。 &DjA?0`J %`~+^{Wp 课程大纲: ^j2ve's: 1.Essential Macleod软件介绍 fhyoSRLR: 1.1 介绍软件 ObJ-XNcNH 1.2 创建一个简单的设计 z]KJ4 1.3 绘图和制表来表示性能 LG:d
1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据 YkE_7r(1 1.5 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) t/_\w" 1.6 特定设计的公式技术 fg lN_ 1.7 交互式绘图 L)4~:f)B 2.光学薄膜理论基础 u8t|!pMF8 2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 ;kWWzg 2.2 后表面对光学薄膜特性的影响 =k,?+h~ 3. 材料管理 E;9J7Q
4 3.1 材料模型 ~2nt33" 3.2 介质薄膜光学常数的提取 j5og}Pq: 3.3 金属薄膜光学常数的提取 "ZPgl 8 3.4 基板光学常数的提取 (5CgC< 4. 光学薄膜设计优化方法 ]')y(_{ 4.1 参考波长与g 59p'U /| 4.2 四分之一规则 ;Qi!~VsP; 4.3 导纳与导纳图 cucmn*o? 4.4 斜入射光学导纳 _q}Cnp5 4.5 光学薄膜设计的进展 `%^w-' 4.6 Macleod软件的设计与优化功能 :I2, 4.6.1 优化目标设置 Bp@\p)P( 4.6.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法) OnhR` 4.6.3 膜层锁定和链接 c`&g.s@N\ 5. 光学薄膜系统设计与分析案例与应用 NpCQ4K 5.1 减反射薄膜 on"ENT 5.2 分光膜 D?UURUR f 5.3 高反射膜 J"@X>n 5.4 干涉截止滤光片 `'*4B_. 5.5 窄带滤光片 ExN$J 5.6 负滤光片 bBV03_* 5.7 非均匀膜与Rugate滤光片 {'[VL;k 5.8 仿生蛾眼/复眼结构 ~H:=p 5.9 颜色膜 q317~z_nl 5.10 Vstack薄膜设计示例 CrSBN~ 5.11 Stack应用范例说明 q`.=/O' 6. 薄膜性能分析 KeB??1S 6.1 电场分布 _sZ&=-FR 6.2 公差与灵敏度分析 , s otZT 6.3 反演工程 dG8mE&$g 6.4 均匀性,掺杂/孔隙材料仿真 w<zzS:PF* 7. 真空技术 7+}WU 4 7.1 常用真空泵介绍 ; yE.R[I 7.2 真空密封和检漏 Ihr[44# 8. 薄膜制备技术 D(TG)X? 8.1 常见薄膜制备技术 ^*+M9e9Z 9. 薄膜制备工艺 SSTn| 9.1 薄膜制备工艺因素 GN
Ewq$ 9.2 薄膜均匀性修正技术 >,tJq% 9.3 光学薄膜监控技术 <}h<By) 10. 激光薄膜 |(2#KMEWa 10.1 薄膜的损伤问题 MM*~X"A 10.2 激光薄膜的制备流程 Xit@.:a; 10.3 激光薄膜的制备技术 $E[M[1j 11. 光学薄膜特性测量 h oM%|,0 11.1 薄膜光谱测量 /OB) \{- 11.2 薄膜光学常数测量 r%WHYhD 11.3 薄膜应力测量 9;uH}j8sE 11.4 薄膜损伤测量 k3e6y 11.5 薄膜形貌、结构与组分分析 2{Dnfl'k 08{^Ksg 有兴趣学习者请联系微信号18019382784
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