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摘要 l$a?A[M$ _ 5"+Dv 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 @'i+ff\ )JhT1j Qc
R`#W wx>b fW(/Loh 光栅详细说明 (wuaxo: ?[)yGRzO2
sb^mLH] 3 h?Nek+1' •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 I{ ryD -! •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 T#EFXHPr {6*#3m
Kk 光栅阶次分析器设置 M0L&~p_F 53Yxz3v •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 3K>gz:dt •可以指定各种输出选项。 J;}3t! •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 *fnvZw? Bz /@c)
j6S"UwJjp yZCX S 常规设置 `Ye8
Q5v"] :Q_3hK
y('k`>C 6w|J-{2 •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 lnh+a7a) •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 c_.-b=zm };,/0Fu 单个阶次设置 l_{8+\`! SeEw.;Xw
}Fa%%} ,Na^%A@TJ •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 &nj&:?w •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 DyO$P#~? CnISe^h 单个阶次设置 i47j lyH SA;#aj}rV S($Su7g%_ J2VTo: In
n,$z> xQ4%e[/ 探测器标签页中的输出 #Sh < |