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摘要 q)%F#g :V1ttRW}52 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 SN!TE,=I R<$_
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lSv?!2 f,:SI&c\ 建模任务 DBDHe-1[+ ]h4^3
m~;fklX S O@;;GJ 正弦光栅—效率与高度(TEA) r[xj,eIb %lVc7L2]
m0xL'g6F $hexJzX 正弦光栅—透射相位曲线 kO:|?}Koc Rh!B4oB4
FEqs4<}E ^z&eD, 正弦光栅—透射相位曲线 S~BBBD v ~|~&Dwq
#+)AIf nY(>|! 正弦光栅—衍射效率 N{ L'Q0! "`P/j+-rt
hV5Aw;7C #CKPNk
c 正弦光栅—效率与周期 U5 X\RXy~ ^0A}iJL
4 .7YIM (S1c6~ 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 BJGL &N 0k]$ he;h
RL Beti> 7.7aHt0 闪耀光栅—效率与高度(TEA) !cP2,l'f L?~>eT
eVL#3|= y
%R-Oc 闪耀光栅—透射相位曲线 WZz8VF #_]/Mr1
GM&< ?K1 \G}02h 闪耀光栅—衍射效率 W?y7mw_S kKbq?}W[
JbT+w\o bf1Tky=/ 闪耀光栅—效率与周期 0,~f"Dyqy 9a\H+Y~
\o-9~C\c* a%\6L 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 )`,||sQ BE,XiH;
&(M][Uo{|' ~Mk{2;x VirtualLab Fusion一瞥 _+c' z Hzm<KQ
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:bBLP7eyV 9W^sq<tR VirtualLab Fusion工作流程 'p%aHK{ QaAA@l jb0wP01R • 设置光栅结构 s
&4k −使用界面配置光栅结构[用户案例] 6I)[6R • 分析光栅衍射效率 --S1p0 −光栅阶次分析器[用户案例] X#;n Gq)5 • 通过参数运行检查不同参数的影响 9jwcO)p^ − 利用参数运行文档[用户案例] c@SNbY4}% '6^+|1
Z;=h= Zv[D{ VirtualLab Fusion技术 ]~a;tF>Fw
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