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摘要 OSi9J.]O RW[<e 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 j?hyN@ns f /i,Zw
#&c;RPac!6 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) (Ha}xwA~( N_[ Q.HD" 建模任务 7{F9b0zwk WvzvGT=
58'y~Ou tU/NwA" 单次FMM仿真结果 #|h8u` L(P:n-^
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