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摘要 U4-g^S[ S.m{eur!,E 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ps%q9}J 3#&7-o
U`d5vEhT 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 4VCOKx OJ$]V,Z00x 建模任务 ]0)|7TV* VG5+CU
af+IP_6
. qA$*YIlK 单次FMM仿真结果 r{ef .^&: 7-T{a<g
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