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摘要 2GXAq~h@ _Akc7" 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 RW48>4f/+ N+\#k*n?
Q#urx^aw 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) t= "EbPE = t<!W 建模任务 u!oHP 7'7bIaJk
Usk@{ ?`AzgM[I 单次FMM仿真结果 qi`*4cas*A *:\-:*
wJ1qJ!s@ |;6FhDW+' 参数扫描(1D) Lg|j0-"N b:\I*WJ
9~ajEs V!3G\*$? 参数扫描(2D) 'SYj Ehvw (k6=o';y S&]+r< 2$yKa5SaX 文件信息 Sq/M
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