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摘要 |')-VhLLK iSiDSeW8 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 [l*;E
f, opD-vDa h Q["t eo]DQ Qxt@V 设计任务 v{y{sA 4pPI'd&/7
%K1")s !` 26\@1 仅位相透射设计(IFTA) =~ jAoOC@ `R+,1"5 =
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re`t ]gzb CW`!}yu% 超表面晶胞分析 CT*,<l-D 9 Cvn6{
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*>."V5{;S zoZH[a`H VirtualLab Fusion的工作流程 2UadV_s+s 分析超表面晶胞 &.N$ - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] AK-}V4C/A 构造超光栅 L?RF;jf 分析光栅衍射效率 50~K,Jx6B - 光栅级次分析 [用例] ]RIVc3?;$ 光栅结构参数优化 _[K#O,D, $nPAm6mH
jH*)%n5,\ s;1h-Oq( VirtualLab Fusion技术 ziEz.Wn" ^^Jnv{) %y<]Yzv. ycr"Y| 文件信息 PQ U]l"A 0q6I;$H ,k0r
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