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摘要 6EGEwx 4y)1*V U: 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 :7]R2JP +n]Knfi @y%qQe/g A}}t86T 设计任务 nsn,8a38 {i?K~|
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!S<~(Ujyw 7~g0{W>Zm 超表面晶胞分析 XBBRB<l) p#I1l2nE
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vudeaup VirtualLab Fusion的工作流程 G
0 yt%qHE 分析超表面晶胞 e4P.G4 - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] djp(s$:{4 构造超光栅 w[_Uv4M 分析光栅衍射效率 K ajyQ"j - 光栅级次分析 [用例] C?J%^?v 光栅结构参数优化 =Ch#pLmH W_EN4p~J
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