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摘要 f{ZOH<"Lo +T}:GBwD7 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 CiE A`E7V}~ <]f
ru1 pJM~'tlHV 设计任务 ;6o p|O 4]c.mDo[T
DDdMWH^o7 dP8b\H 仅位相透射设计(IFTA) p( EV-^
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W n*>h'R 4k9O6 超表面晶胞分析 5GD6%{\O YE<_a;yh1
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Y8I*B=7 ]MjQr0&M 走进VirtualLab ?C#=Q6 "b&[W$e
32[ lsU>1 ;>?NH6B, VirtualLab Fusion的工作流程 lp`raNNo 分析超表面晶胞 YGVj$\ - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] N}0-L$@SL 构造超光栅 _8$arjx= 分析光栅衍射效率
LfD70r\ - 光栅级次分析 [用例] yLfb'Ba 光栅结构参数优化 9F8"( JGH;&UYP
UR')) 1n 9!hiCqA& VirtualLab Fusion技术 B4k~~ ;| `usX(snY <ptZY.8N 8r@_b 文件信息 >5Vv6_CI0? BLzlXhHn `]L&2RS
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