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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-08
    摘要 nvQX)Xf  
     h]i vXF*  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 L"1AC&~ u  
    UnVa`@P^:G  
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    建模任务 .P5' \  
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     1\lZ&KX$i  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 2Kr8#_) 0  
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    某一位置的Talbot图样 S 1~EJa5H  
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    不同位置的Talbot图样 p,(W?.ZDN?  
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    不同位置的Talbot图样 &oZU=CN  
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     ;/ |tU o$  
    oxnI/Z  
    沿Z轴的强度 @a=jSB#B  
    y5^OD63s  
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    qMA";Frt3N  
    走进VirtualLab Fusion |v#D}E  
    N<Ym&$xR  
     >xF&>SDC  
    E*,nKJu'r  
    VirtualLab Fusion的工作流程 { +Wknm%  
    f+)LVT8p  
     构建光栅结构 b53s@7/mq  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] #IDLfQ5g  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ~oK0k_{~  
    Qs#;sy W@~  
     通过参数运行计算不同位置的强度 NweGK  
    - 参数运行文件的使用 [用例] udc9KuR@  
    kaIns  
    cBOt=vg,5  
    ~Dw% d;  
    VirtualLab Fusion技术 ,R7j9#D  
    _[l&{,  
     S<i. O  
       Tks1gN^^  
    文件信息 w?M"`O(  
    qwn EVjf  
     3Q7PY46  
     
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