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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 09-08
    摘要 xsypIbN  
     0.,&B5)  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 */@bNT9BgO  
    K,T]Fuy  
     4~J1pcBno%  
    [8(9.6f  
    建模任务 R^w >aZ oJ  
    ,)\5O0 D6  
     /Gu2@m[r  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) X2mm'J DwK  
     X0J]6|du.  
    某一位置的Talbot图样 jjlCi<9CQ^  
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     _-2n3py  
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    某一位置的Talbot图样 \< +47+  
    InGbV+ I  
     T<~[vjA  
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    不同位置的Talbot图样 `x^,k% :4  
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    不同位置的Talbot图样 \7?MUa.4  
    `e69kBAm  
     a-A4xL.gm  
    wEn&zZjx  
    沿Z轴的强度 [==Z1Q;=  
    gKH"f%lK  
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    _|#|mb4Fe  
    走进VirtualLab Fusion n`2"(7Wj  
    oN}j<6s  
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    +mF 2yh  
    VirtualLab Fusion的工作流程 a5+v)F/=  
    @ dU3d\!}  
     构建光栅结构 p%qL0   
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] !ZcA Ltq  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 2\W<EWJ@  
    PqeQe5  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ;SP3nU))  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ^mb*w)-p?  
    |?b"my$g$  
    aWK7 -n  
    5?Ao9Q]@  
    VirtualLab Fusion技术 K&oO+G^f  
    R^C;D 2  
     D#AxgF_He  
       ^]K)V  
    文件信息 87*[o  
    h$h`XBVZe;  
     AR2+W^aM3  
     
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