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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 08-31
    1. 摘要 g@va@*|~d  
    PyS~2)=B  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       D?v)Xqw=  
    cNX0.7Ls  
    2. 建模任务 oj6b33z  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    D};zPf@!p  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    #9{9T"ed  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) vSt7&ec  
    lE8M.ho\  
     [Ipg",Su;f  
       Tk^J#};N  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) P~>E  
    {EoRY/]  
     T4OH,^J  
    <h$Nh0  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) jL|y4  
    H9x,C/r,  
     N34.Bt  
    Y=%SK8]Q;  
    6. 3D仿真与结果对比 D*>EWlZ   
    aX oD{zA  
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    7. 走进VirtualLab Fusion yU-^w^4  
    )wmG&"qsP  
     m#D+Yh/y{n  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 'THcO*<  
    ,_JhvPWR,)  
    1N `1~y  
     构造光栅结构 e b])=  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] JJ50(h)U  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] ,ZpcvK/S  
     计算光栅结构内部的场分布 4k HFfc  
    8sDbvVh1F  
     fkprTk^#  
    n~1'M/wh  
    9. VirtualLab Fusion技术 K/2k/\Jk[_  
    {*=+g>R gD  
    \(nb >K  
    }@6/sg  
    10. 文件信息 2k }:)]m  
    "l-L-sc,  
     YF+hN\  
     
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