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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 08-31
    1. 摘要 E, Z$pKL?  
    j8i[ONq^  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       >tS'Q`R  
    |T /ZL!  
    2. 建模任务 [&[k^C5  
    Yu/ID!`Z  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    !<|4C6X:4  
    Y>z>11yEB0  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)  0q  
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     `cn#B BV  
       x^qVw5{n  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ~%F9%=  
    =[ 46`-_  
     hF?1y`20  
    KM0ru  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) j3oV+zZ49  
    qx(xvU9  
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    6. 3D仿真与结果对比 Tb}4wLu  
    ]]![EHi(\  
     D8Ic?:iX[  
    >=lC4Tu  
    7. 走进VirtualLab Fusion ^6x%*/l|  
    M t|zyXyzX  
     GKqm&/M*=  
    KkyVSoD\  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 tFn)aa~L  
    HWAdhDZ  
    @IKYh{j4  
     构造光栅结构 +^ac'Y)A  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] CkC^'V)  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] atH*5X6d  
     计算光栅结构内部的场分布 Q}JOU  
    XW H5d-  
     2"Q|+-Io  
    /62!cp/F/D  
    9. VirtualLab Fusion技术 Ny7S  
    "{+QW  
    s[*rzoA  
    0o4XUW   
    10. 文件信息 ~_)^X  
    qo~O|~  
     r6Dz;uz  
     
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