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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 08-31
    1. 摘要 /7#e  
    V sl,u  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       06^/zr  
    b`D]L/}pr  
    2. 建模任务 27ZqdHd  
    OS@uGp=  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    O)vGIp?f't  
    C}mhnU@  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    !;|#=A9  
    mP }<{oh`x  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) >4luZnWMI  
    SXqB<j$.;  
     7yyX8p>  
       #%nV\ Bl  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) f^1J_}cL  
    ~M^[  
     {f-O~P<Z4  
    ,b!D8{W"N  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) kh.P)h'9  
    0)d='3S  
     OJa(Gds  
    <A Hzs  
    6. 3D仿真与结果对比 *4%pXm;  
    8b'@_s!_  
     Dch\k<Te  
    v%cCJ SO#  
    7. 走进VirtualLab Fusion cdL]s^z  
    )1#/@cU  
     p =nbsS~":  
    K:'^f? P  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 K9Mz4K_  
    C\5G43`  
    6 ScB:8M  
     构造光栅结构 W/BPf{U  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 41Q 5%2  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例]  *1["x;A  
     计算光栅结构内部的场分布 E& 6I`8  
    nX3?7"v  
     p*0[:/4  
    _?O'A"  
    9. VirtualLab Fusion技术 a-|pSe*rx  
    1i$VX|r  
    1!(lpp  
    *V',@NH#Os  
    10. 文件信息 s$pXn&:  
    $|g1 _;(G  
     9F[3B`w  
     
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