切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 175阅读
    • 0回复

    [技术]JCMSuite应用--线型光栅 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7244
    光币
    30361
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 08-26
    这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 Z2(z,pK  
    yN5g]U. Q  
    光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 G`8gI)$u  
    S偏振照明的近场强度
    'LpJ:Th  
    P偏振照明的近场强度 dd@^e)VZB  
    傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 wxkCmrV  
     Z%y>q|:  
    参数扫描 mFjX  
     v98=#k!F  
    Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 U,LW(wueT  
     <h4"^9hL  
    它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： 2xhwi.u  
    VJDF/)X3$  
    在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。 ^rfY9qMJr8  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表