切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 381阅读
    • 0回复

    [分享]吉田邦夫与AJI树脂型WLO技术路线 [复制链接]

    上一主题 下一主题
     
    发帖
    32
    光币
    255
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 08-12
    前言 'a}<|Et.  
    WH@CH4WM  
    晶圆级光学(WLO)两大主流路线:HOYA代表玻璃高温模压路线,另一支就是AJI树脂UV纳米模压路线,而吉田邦夫(Kunio Yoshida)正是这条路线最核心的发明人。 行业很多从业者听过AJI工艺,但很少将整套双面一体成型、防翘曲支架结构的专利脉络与吉田邦夫绑定;全网缺少系统性梳理,本文结合JP2008-276724母专利、中日同族专利与产业落地情况完整解析。 G)vq+L5%  
    一、吉田邦夫技术履历 6*!R'  
    1. Q db~I#}m'  
      日本研发阶段:AJI株式会社 × 昭和电工联合研发 吉田邦夫早期任职アジ株式会社(AJI),与昭和电工协同开发UV树脂晶圆模压工艺。JP2008-276724 是该体系奠基母专利,专利权归属AJI、昭和电工,吉田邦夫为第一发明人。 这套专利奠定消费级摄像头、ToF传感器树脂基WLO量产工艺,也是全球最早规模化论证双面同步转印成型的专利组。
    2. dZS v=UY)  
      国内创业阶段:江苏核心技术负责人 离开AJI之后来华创业,持续深耕晶圆级微光学复制工艺。持续申请大量中国发明专利、实用新型专利,技术方向延续日本时期思路:
    • R~=_,JUW  
      双面一体UV模压成型;
    • 8IX:XDEQ  
      晶圆外围一体化支撑支架抑制翘曲;
    • DH3.4EUWS  
      大尺寸晶圆、多层堆叠透镜批量制造;
    • 7U:-zfq  
      适配Ni电铸模具的高折杂化UV树脂成型体系。
    %Ls5:Z=  
    行业提示:公开网络、知乎极少专门文章介绍光电领域吉田邦夫,检索姓名极易被骨科、影视同名人物覆盖;圈内资料主要沉淀在专利库、光行天下论坛与行业线下研讨会。
    D^R=  
    tH7@oV;  
    二、核心技术方案与重点专利解读 1WArgR  
    1)母专利:JP2008-276724(造型方法以及造型装置) ]HpKDb0+  
    mJj [f8  
    传统工艺痛点 常规单面模压流程:先压一面→固化→翻面→再压另一面。两次成型引入二次对位误差;超薄树脂晶圆固化收缩引发翘曲、面型偏移;良率很难支撑多层堆叠WLO模组。 FCk4[qOp7  
    7q%<JZPY  
    吉田邦夫核心创新构思 上下两套独立镍电铸模具,双面同步/分步UV转印,单套工序在树脂坯体两面同时复刻透镜曲面。 ]Wn^m+  
    • Py&DnG'H  
      减少一次翻面转移工序,消除二次对位偏心;
    • E{Gkq:  
      两面树脂同步固化,应力分布更均衡;
    • f&z@J,_=  
      支持微透镜阵列、双面非球面WLO元件一体成型。
    +Wr"c  
    衍生布局:TW、中国大陆同族专利,覆盖成型装置、模具复制方法、脱模工艺。 UUE:>[,  
    I04GQql  
    2)标志性延伸专利:一体化支架构件防翘曲方案 X=sC8Edx  
    WcG!6.U>  
    代表公开专利:CN221476244U、CN115837764A(江苏敏而精密) 行业长期难题 高折射率UV杂化树脂固化收缩率高,6/8寸大尺寸晶圆成型后极易四周拱曲;翘曲直接造成后续切割、镀膜、堆叠装配失效。  .<0s?Q  
    , W w\C  
    支架结构方案要点 在晶圆有效光学区域外围,一体成型连续环状支撑围堰(支架构件),与透镜阵列同片一体成型。 gM0^k6bB8  
    1. @L p;p$G`  
      成型阶段支撑整片晶圆,约束树脂自由形变;
    2. AK7IPftlH  
      平衡固化产生的面内应力,大幅降低全域翘曲量;
    3. XAn{xN pz  
      切割工序再去除外围支架,保留中间有效光学芯片。
    /b44;U`v5-  
    目前国内大量树脂WLO厂商改良防翘曲方案,底层思路均借鉴该专利架构,也是现阶段专利规避重点方向。 xK8n~.T('  
    1XwW4cZ>:  
    3)配套工艺体系:Ni电铸模具+高折UV树脂 *{ =5AW}o  
    0n'~wz"wB  
    吉田邦夫体系完整工艺链条: 光学母模 → 镍电铸复制工作模具 → 上下模具对位合模 → 注入液态高折UV树脂 → 双面UV曝光固化 → 脱模形成整片WLO晶圆 → 划片分割 早期与昭和电工共同匹配专用光学树脂,兼顾折射率、低收缩、模具脱模性,适配手机摄像头、3D传感微透镜量产。 TA x9<'  
    y([""z3<w  
    三、AJI吉田树脂WLO路线 VS HOYA玻璃WLO路线对比 3!+N} [$iy  
    u:6PAVW?  
    对比维度
    $& 0hpg  
    吉田邦夫 AJI 树脂UV模压WLO
    13:yaRo  
    HOYA 玻璃高温模压WLO
    ,b&-o?.{  
    基材材料
    +IRr&J*P  
    UV固化有机杂化树脂
    eHjna\C  
    光学玻璃晶圆
    $>72 g.B  
    成型原理
    [(hB%x_"  
    常温/低温UV光固化纳米转印
    &~%( RO  
    高温高压热模压
    :9_N Y"P  
    核心优势
    86]})H  
    1.设备投入更低,量产成本优势明显 r`; "  
    2.适合大面积晶圆批量复制 j-?zB .jAh  
    3.双面一体成型,对位精度可控 l> Mth+ ,b  
    4.微透镜阵列结构易实现
    @,Re<%\  
    1.耐热性、温漂性能优异 T:/68b*H\:  
    2.透光波段更广,IR波段损耗更低 v(ATbY75  
    3.长期光学稳定性强,耐候性好 j:JM v  
    4.高功率光学场景耐受度更高
    yf KJpy  
    固有短板
    l7.W2mg  
    1.树脂存在温胀系数偏大问题 &#AK#`&)0i  
    2.耐温上限有限,不适合高温车载高阶场景 isdEs k#A.  
    3.长期抗老化、抗UV弱于玻璃
    bZ/4O*B  
    1.高温模压设备昂贵,产线投资巨大 RpAtd^I  
    2.难以一次性双面成型,工艺复杂度高 EB/.M+~a  
    3.单片制造成本高,大批量性价比不足
    f9Vxtd  
    主流应用
    z%F68 f73  
    消费手机摄像头、ToF、VR微透镜阵列、低端车载感知
    uSAb  
    高端车载镜头、AR光学元件、工业视觉、高可靠性光学模组
    q,<AW>  
    技术壁垒重心
    #rE#lHo  
    成型工艺、防翘结构、模具对位系统、树脂配方
    6X@]<R  
    特种光学玻璃基材、耐高温模具、高温模压设备
    +npcU:(Kg  
    四、工艺路线优势与现存瓶颈 r N"P IH  
    优势 Uf:G,%OYi  
    1. vPVA^UPNV  
      双面成型方案直击多层WLO最大痛点 多层堆叠晶圆镜头对偏心、面型一致性极其敏感,双面一体成型天然优于两次单面成型方案。
    2. WFOO6 kMz  
      支架围堰结构有效解决大尺寸晶圆翘曲 在树脂材料收缩缺陷无法彻底根除前提下,通过结构设计进行应力补偿,落地可行性强。
    3. # j=r  
      产业链门槛相对适中,便于国产化 不需要玻璃熔炼、高温模压整套重资产,国内近年多家企业沿着该技术路线进行开发。
    aCL_cVOMR  
    208dr*6U  
    瓶颈与挑战 :%#(<@{  
    1. .szs?  
      专利壁垒 JP2008-276724家族、支架构件专利形成基础专利墙;国内厂商需要做工艺结构规避或开展专利许可谈判。
    2. L4)@lmd3  
      材料物理上限 有机树脂CTE远高于玻璃,温度变化下焦距漂移问题限制高端车载、工业光学应用。
    3. 8?n6\cF  
      工艺控制门槛极高 想要发挥双面模压优势,对模具平行度、UV光照均匀性、树脂填充气泡控制、合模压力控制要求严苛;参数窗口窄,量产良率调试周期长。
    jslfq@5v  
    5`ma#_zk|f  
    五、产业现状与未来趋势 wU\3"!^h  
    1. [n53 eC  
      消费电子领域:树脂WLO持续渗透低端摄像、距离传感器;高端旗舰依旧偏好玻璃方案;
    2. aS7[s6  
      AR/MR光波导配套微透镜、LiDAR准直微阵列成为树脂模压路线新赛道;
    3. L @b8,  
      吉田邦夫在国内持续迭代新一代工艺,重点优化超薄晶圆成型、多片晶圆堆叠一体化制造;
    4. jh3LD6|s}  
      行业分化:一部分企业直接参考AJI工艺路线,另一部分投入资源研发替代成型方案,绕开双面模压与支架结构专利保护范围。
    `=]I -5#.W  
    结语 &"90pBGK  
    吉田邦夫算不上大众熟知的光学名人,但在晶圆级树脂模压细分赛道属于奠基级工程师。他开创的AJI双面UV模压+应力支撑结构,定义了树脂基WLO一条可规模化落地的技术范式。 WLO行业长期并存玻璃与树脂两条路线,不存在绝对优劣;厂商选型核心依据温度工况、成本预算、光学指标要求。随着微光学需求爆发,这条源自日本、正在国内持续演化的工艺路线,依旧会长期影响国内晶圆级光学产业链发展。 ?\HXYCi0r  
    [ 此帖被威武的兔子在2026-08-12 14:38重新编辑 ]
     
    分享到