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摘要 ['IH*gi _"1RidhH 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ^aSb~l ce VvyRZMR  kkq1:\pZ]a `j>5W<5q\ 设计任务 Y"mFUW4 e fX nF*Z  L]k BY2c k`:zQ d^T 光栅光学装置 m.K cTM%j ?P'$ Vxl  lp
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Lk( ESV;r  gQeQy 二维参数优化——设计#1 ? Lg(,-: *~^63Nx!  c~ R'`Q [M\ an6h6O 二维参数优化——设计#2 hN3FH# YO al2lC #Sy  & P-8_ I ;5tOQ&p%v 制造公差分析 i7#4&r 11oNlgY&  L8`v ,:t,$ A 变光栅周期三维参数优化 ^^b'tP1> ~Gfytn9x.;
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