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摘要 F"~uu9u P**h\+M>{ 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 A]Qg X5\sa \za 0?b  wxN'Lv=R 3~%9;.I3! 设计任务 K+2<{qwh e G =Hyc  w%KU@ $ p^MV< }kk 光栅光学装置 e@w-4G(; !S$LRm\ '  hZ[ ,. aF]4%E 偏振分析器 +?DP r j/ow8Jmc*  OXT 5
y) #2^eGhwnI 优化 3E)
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 Eg$ I MZZEqsD5 [ 关于光栅周期选择的考虑 x2%xrlv<J/ a9}7K/Y=d
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 Fa b gJ u 二维参数优化——设计#1 PuO5@SP~ V7DMn@Ckw  &UrPb%=2H 2 z E gAc 二维参数优化——设计#2 5! -+5TJI FWC\(f  %'o'Kh''= y Ny,$1 制造公差分析 &;3iHY; ? $$Xg3w_#  q8 &\;GK| qL2!\zt>g 变光栅周期三维参数优化 -< 0xS.^ D*0[7:NSO
 U\y:\+e l zy'e|92aO 制造公差分析 3R>"X c Z X0 #I W  WQiIS0BJ * :;Xh`br VirtualLab Fusion 技术 h[ cqa ~v>3lEGn*  mE"(d*fe' 4++
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