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摘要 rQ snhv h
zn6kbv 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 {+ b7sA3 9-m=*|p pI<f) r _h1mF<\ X^ 设计任务 _u9Jxw?F@Y is@?VklnB |! "eWTJ 11;zNjD| 光栅光学装置 MnW+25=N FML(4BY, P0jtp7)7 8*a&Jl 偏振分析器 g<
.qUBPKX `5Zz5V uFga~g %vi83%$'4 优化 hehFEyx 18:%~>.! lU8Hd|@- 7"D.L-H 参数运行 cj5+NM" ;i+#fQO7Q
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m`r(p" t\ewHZG" 偏振相关衍射特性 wLr_-vJ N ZSSg2TX# du^J2m{f *c+ (- 固定周期二维参数优化 5/Uy{Xt !%0 *z ,zY$8y] 二维参数优化——设计#1 tIgN$BHR> W5MTD]J f&
' VP]% Hni] 二维参数优化——设计#2 %84rL?S uGlUc<B\* -3Vx76Y =rX>.P%Q 5 制造公差分析 XpJ7o=?W3 JaGtsi9%. &.?'i1! @<&m|qtMsz 变光栅周期三维参数优化 %bfQ$a: ~Jz6O U*z
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