切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 514阅读
    • 1回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 }Y9= 3X  
     l|{q8i#4V  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 FglW|Hwy  
     (+aU,EQ  
    we?# Dui  
    VCf/EkC  
    建模任务 [0>I6Jl  
    m!#'4  
    ykMdH:  
    ;8Qx~:c  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) }%) ]b*3  
    mZ_643|  
    系统建模块 \k 9EimT}  
    dBRK6hFC  
    ?2q4dx 0  
    dQ#$(<v[  
    特定位置的Talbot图案 hlKM4JT\  
    r{mj[N'@  
      :d) y  
    N1!O8"Q|*3  
    特定位置的Talbot图案 nY M2Vxi0+  
    ka=EOiX.  
    ;]vJ[mi~  
    不同位置的Talbot图案 SB x<-^  
    b%wm-p  
     @h=r;N#/`P  
    2r^G;,{  
    不同位置的Talbot图案 AJYZ`  
    fug F k  
     8.WZC1N  
    .QVN&UyZ  
    沿 Z 轴的强度 r}nz )=\Cj  
    Ci9]#)"c  
     8{4SaT.-Rm  
    }kZ)|/]kn  
    VirtualLab Fusion技术 C.`!?CW  
    ihp>cl?  
     {ovW6#  
       G0h/]%I  
    文件信息 2'U+QK@  
    Q ym=L(X  
     Xte"tf9(C  
     
    回复
    举报
    分享到
    离线gangzi0801
    技术专家
    发帖
    1171
    光币
    15437
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表