切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 355阅读
    • 1回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    7133
    光币
    29806
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 Gv)*[7  
     *yI( (G/  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ZyC[w 7$I2  
     iuEe#B;!  
    C\C*@9=&x  
    'SG<F,[3  
    建模任务 6S%KUFB+e  
    65 &+Fv  
    p'/%"  
    }/NL"0j+4  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) :]\-GJV5  
    0_>1CW+X  
    系统建模块 V^G+_#@,,  
    2+(SR.oGq  
    K)`l > o1  
    %tkL<e  
    特定位置的Talbot图案 :Z;kMrU  
    "[L+LPET  
     ]Ah<kq2sk  
    i"!j:YEo  
    特定位置的Talbot图案  ,8p-EH  
    .0y .0=l  
    BXl Y V"  
    不同位置的Talbot图案 ir )~T0  
    rJd-e96  
     n)]u|qq  
    b Oh[(O!  
    不同位置的Talbot图案 U3>ES"N  
    '! ;Xxe5  
     ;2eZa|M*q  
    8`w#)6(V  
    沿 Z 轴的强度 HFj@NRE6  
     #|l#  
     60 p*4>^v  
    98l-  
    VirtualLab Fusion技术 ^zS|O]Tx  
    XlxB%  
     r$d'[ZcX  
       c$%I^f}'  
    文件信息 2 mvp|< "  
    H]f8W]"c[  
     euh rEjwkH  
     
    回复
    举报
    分享到
    离线gangzi0801
    技术专家
    发帖
    1169
    光币
    15369
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表