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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 yR(x+ Gs{]  
     -B86U6^s  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 g=I8@m  
     ZXm/A0)S  
    (}}S9 K  
    ^Q+g({  
    建模任务 Yw#2uh  
    y+7w,m2  
    U8 nH;}i  
    j~*L~7  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 2RSt)3!},  
    zc[Si bT  
    系统建模块 Ja9e^`i;  
    \L"kV!>  
    ;Iq/l%vX  
    KEWTBBg  
    特定位置的Talbot图案 BCA&mi3q  
    &RfC"lc  
     W*2U="t  
    =ZqT3_  
    特定位置的Talbot图案 VNY%R,6  
    D-c`FG'  
    i-6 Z"b{  
    不同位置的Talbot图案 qT+%;(  
    vh$%9ed  
     p|!  
    L*:jXmUM_~  
    不同位置的Talbot图案 rW=Z>1  
    lv04g} W  
     |j7,Mu+  
    13>0OKg`#  
    沿 Z 轴的强度 =uS9JU^E  
    ^0 -:G6H  
     Ftr5k^!  
    9E6_]8rl  
    VirtualLab Fusion技术 i*Z" Me  
    % yw?s0  
     76`8=!]R  
       w 47tgPPk  
    文件信息 adR)Uq9  
    ?U2<  
     sc}~8T  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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