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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-28
    摘要 F82_#|kpS  
     _e3kO6X  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 L0O},O  
     8P'zQ:#RV  
    ^}4=pkJ;s  
    _PeBV<  
    建模任务 5w+X   
    O0i[GCtP5  
    ]Kb3'je  
    Cp 2$I<T  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) }+8w  
    H,H=y},  
    系统建模块 Z@I.socA  
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    HXTZ`'Rv  
    特定位置的Talbot图案 ."m2/Ks7  
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    特定位置的Talbot图案 s5TPecd  
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    不同位置的Talbot图案 qh)o44/ $  
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    不同位置的Talbot图案 9_mys}+  
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    沿 Z 轴的强度 > T,^n {_v  
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     (@H'7,  
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    VirtualLab Fusion技术 mV0.9pxS  
    }l/ !thzC  
     0# D4;v  
       tU02t#8  
    文件信息 R30{/KK  
    U!L<v!$  
     # 4AyA$t  
     
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    离线gangzi0801
    技术专家
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 05-28
    学习一下。
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