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摘要 o{:xp r=( G6 0S|d 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 == 'Td[
J ju#iwb
 (N-RIk73/O pKUP2m`MW 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 n/d`qS 2B0W~x2=  YY((#"o;l
- YqY cer 系统构建模块和光路 N "tFP9;K F9"w6;hh  $ ,Ck 70_ 4*n#yVb/ 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 !|hoYU>@2L 从光源到探测器有两条主要路径： g mKGy@] 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 =ac_,]z 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 d[^KL;b?6 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 Jz ji&A~ MM_k
]-7 理想化和通道控制 2j JmE&)7,  4S "\~>< 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 CvSIV 7zYo E51 dV:l 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 .T<= z 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 >eQr<-8 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 $,=6[T!z+e 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 v4,h&JLt 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 2,2Z`X
!) "%),>}o
 1/ 1Xk,E 8
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b 半透明板（分束器）设置 Ix@&$!'k
=uk0@hy9b
 T3UMCqc= |:[tNs*,O 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 EC2+`HJ" n9w9JXp;! 系统构建模块 – 光路 #1 ,u }XW V
$n^ MD_1!
 o./.Q9e 7 y.5/?{GL 光穿过半透明板 <U5wB]] • 测试表面位于物镜的焦点区域。 yzw mT • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 KH)D 08
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 cMyiW$; 1wzqGmjmt 系统构建模块 – 光路 #2 7Dzuii?1
P./V6i<:
 #/"8F O%~p WARb"8Kg 半透明板反射的光 +a& p $\ • 对于分束器的反射光路， ]-oJ[5cQ0v +/- 通道必须被激活。 />¬$>
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 p.ANVA@: GoA4f 3 系统构建模块 - 测试和参考表面 =PRx?q`d
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 /27JevE Vd".u'r • 在这个仿真中，参考和测试表面是 l zw3= H 以理想镜子为模型。 'O5'i\uz （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） Y2xL>F .Ha'p. • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 0TfS =scT IG(?xf\C • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 t+5E#!y
o7mZ zzP 仿真结果 - 干涉条纹 6x "Q
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 $0bjKy ^TMJ8` e • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 hN['7:bQ • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 F+ E|r6 'i
KIR'$ 6pn~
 .sQ=;w/ZA xs\!$*R 文件信息 OB[o2G <0 |
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