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摘要 ZC05^ "p<f#s} 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 c#_%|gg
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 Mv_4*xVc Te;`-E L 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 [qc90) ^Q, cdk;HK_Ve.  UJO+7h'
V /| @ 系统构建模块和光路 nfd^'}$] \;4RD$J  T. {P}#'| [mX\Q`)QP 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 i idK}<o 从光源到探测器有两条主要路径： ?=aQG0 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 pDW .Pav 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 VPK)HzPG, 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 /6g*WX2P1 %h^; "|Z 理想化和通道控制 /|Zk$q.\  p j'Yv 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 6ZX{K1_q I6\ l 6 o 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 " @.hz@> 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 }6`#u :OZ 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 IU&n!5d$)| 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 1_ %3cN. 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 RxcX \:
l{6fR(d ?
 PE-Vx RN) sOv:/' 半透明板（分束器）设置 fAXF_wj
Ymx/N+Jl
 [Qr#JJ rcAx3AK. 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 GkVV%0;&J1 h
~v8Q_6 系统构建模块 – 光路 #1 8H;yrNL
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 XXvM*"3D5 g\GuH?| 光穿过半透明板 Z+JPxe#7 • 测试表面位于物镜的焦点区域。 _>0 I9.[5 • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 =56O-l7T*w
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 x+47CD Du3 /a N lr>^ 系统构建模块 – 光路 #2 >E6w,Ab
??)IPRv?yF
 PIl:z?q({ [s"xOP9R 半透明板反射的光 &i $p5 • 对于分束器的反射光路， :.J Ad$>P +/- 通道必须被激活。 6;Wn s'
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 M:rE^El %xPJJ $P 系统构建模块 - 测试和参考表面 M*$# j|
V\vt!wBcB
 !o1+#DL)MU AhWc JD] • 在这个仿真中，参考和测试表面是 c<fl6o) 以理想镜子为模型。 \ 2#7B8 （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） 4zzJ5,S 1 9=TjSRS • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 jI[Y< (F ; "V'<dn • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 QbrR=[8b
+~Wg@ 仿真结果 - 干涉条纹 k n T CX
Tmjcc(
 fAYp\ k T uG%oV} • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 +6-_9qRq • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 =jz [}5
<5BNcl\ZL
 o+ *7Q! 4z6kFQgu 文件信息 @^R6}qJ S+2we
 _D.4=2@|l8
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