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摘要 2H h5gD|> cph&\
V2jt 如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 GmjTxNU@
n9PCSl j
 u $vA9g4 J )*7JX 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 1FkS$ j8:
c. <bz  +2qCH^80
5{`a \;* 系统构建模块和光路 t08E
2sI >Y3ZK{b  dKG 2f bL6 , fUS 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 >EVY, 从光源到探测器有两条主要路径： O/N
Ed)H! 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 SU8vz/\%y 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 gwAZ 2w 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 eG\|E3 Cb9 5[qCH(6 理想化和通道控制 4^OPzg6Z%p  /x2M W5H 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 s)eU^4m Klv~#9Si 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 < ,X?+hr 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 f ^vz 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 0v "h / 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 pOmHxFOOK 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 _d J" 2rx
)W0zu\fL =
 vIK+18v7 p10i_<J]= 半透明板（分束器）设置 Wh7}G
/,`40^U}
 '|jN!y^ 2p BT3X7Cx 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 V']{n7a-
[<!4 a 系统构建模块 – 光路 #1 =eB^( !M
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 2 yY.rs ,|Xi bfw 光穿过半透明板 $,&3:ke1 • 测试表面位于物镜的焦点区域。 K[G =J • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 6+Bccqn|
,!{/Y7PmJ
 fd CN?p[_ '4 x uH3 系统构建模块 – 光路 #2 YH
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 "^3pP(8;~ *(pmFEc 半透明板反射的光 E#I^D/0 • 对于分束器的反射光路， Dg_ AoC +/- 通道必须被激活。 )c"m:3D@
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 aIsT"6A~{ { :~&#D 系统构建模块 - 测试和参考表面 h+<F,0
nsM :\t+
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 nYF;. k \as^z!< • 在这个仿真中，参考和测试表面是 fZ6"DJZ 以理想镜子为模型。 'K:zW>l （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） ,%uK^U.zk c|,6(4j>$ • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 iXJ 3B&x O 6}eV^y • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 ja_.{Zv
K>a+-QWK3 仿真结果 - 干涉条纹 }k K6"]Tj
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 zZ11J 0UI 6bXP{,}Gp • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 m\];.Da • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 c<c " n'
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 sPod)w?e jLy3c @Dp 文件信息 zK P{A Sk J_H=GHMp}
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