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摘要 6elmLDMni\ ]<mXf~zg
如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。 \?-`?QPux
N5 SK_+
 5V\\w ~&/ 08&DP^NS 任务描述：Mirau 干涉仪示意图 i{w<4E3 yz!j9pJ  @cNX\$J
RS G\3( 系统构建模块和光路 ;"=a-$vm r{.DRbn  vW`{BWd m]J Z@ 普通 Mirau 干涉仪的基本组成部分是显微镜物镜、参考面（反射镜）、半透明光学元件（分束器）和实际测试对象。 _8 b)Xx@5 从光源到探测器有两条主要路径： lL~T@ +J~ 1. 一束光束通过分束器，然后被测试表面反射并一路返回探测器。 /"+ n{*9 2. 另一束光束被分束器反射，聚焦在参考表面上，在此被镜像，再次被分束器反射，然后通过显微镜物镜返回到探测器。 s4bLL 通过使用手动通道配置模式，无需依次设置这两个光路（这也可以在一个光学设置中实现）。 +5Yc/Qp .,[zI@9 理想化和通道控制 Sc;WraEn2  =CEQYk-y1 仿真的好处是可以专注于系统相关的部分并可以减少其他任意影响。 CF3Z`xD x|G# oG)_ 1. 显微镜物镜是用理想透镜仿真的。 -crKBy 2. 对于半透明板（分束器），是一个平面平行板由熔融石英在其第一表面上使用 15.5 nm 银涂层制作的。 j QOY \1SR 为了忽略第二个表面上的背反射，我们使用 VirtualLab的手动通道配置来关闭这些光部分。 这样就不需要对减反射 (AR) 涂层进行单独建模。 Af5O;v\ 3. 实际上，小参考面附在透明板上。 在这里，我们只需为“飘浮的”理想平面镜建模。 PA; RUe 4. 对于全部场追迹仿真，使用了Modeling Level 1，因此忽略了理想平面波截断的衍射效应。 /w{ DyHT
#*;(%\q}
 2/f:VB?<T ,JyE7h2%i 半透明板（分束器）设置 ?y!0QAIXK
J')Dt]/9
 pc<")9U%/ uBw1Xud[YI 通常，具有不同反射率值的部分透明板用于分束，因为能量分裂越平衡，干涉条纹的对比度就越好。 ?V% x94B \"c;MK{ 系统构建模块 – 光路 #1 Fku9hB
&*RJh'o|N(
 ,/{mRw% 2>0[^ .;" 光穿过半透明板 g4 _DEBh • 测试表面位于物镜的焦点区域。 N7k<q=r- • 通道+/+ 和-/- 对半透明板的两个表面都是开放的，以允许来自光源的光和从测试表面反射的光通过。 8SK}#44Xz
nY"9"R\.=
 fD#|C~:= "40Jxqt 系统构建模块 – 光路 #2 0l !%}E
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p ~aa`Y0Ws], 半透明板反射的光 f
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• 对于分束器的反射光路， -8; ,# +/- 通道必须被激活。 s2L|J[Y"s
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 4(Gs$QkSo| 1$e z}k, 系统构建模块 - 测试和参考表面 ]0.? 1s e
gP1~N^hke]
 'CsD [< DesvnV'{`
• 在这个仿真中，参考和测试表面是 6?Ul)' 以理想镜子为模型。 (nfra,' （这就是为什么半透明板的最佳分光比是 50:50，这在 15.5 nm 银涂层的情况下大约可以实现。） ivsp):W SC)4u l% • 将真实样品放置在测试表面上，通过沿轴向扫描 Mirau 干涉仪，可以使用不同的干涉图案来计算高度。 /\*,|y\ < c)gG • 参考表面的尺寸应该足够小以避免中心遮挡，但要大于焦点的尺寸。 I^ sWf3'db
ja*k\w{U' 仿真结果 - 干涉条纹 =wHHR1e
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 = cE:,z ;g Z {RRhJ • Mirau 干涉仪三个不同位置的边缘如下图所示。 p*)RP2 • 干涉条纹受测试表面离焦多远的影响。较大的散焦值会在测试路径中引入更强的球面相位变化，从而导致更密集的干涉条纹。 Gjq :-kX\
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