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摘要 7%F8 d^W1;0 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 =*Ru2 86HK4sES
dSq3V#Q pon0!\ZT= 设计任务 .!Qo+( :0'2m@x~ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 iciw 54;4 N&K`bmtD
Trz41g 4o``t] 光栅级次分析模块设置 MF]EX F!pgec%]' NpN-''B\ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 u>-pgu <V_P)b8$1
R!2oj_ &m8Z3+Ea j8|N;;MN 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 m\xlSNW'q 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Ir\f_>7 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 8 O% ?t 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 X^c2 1SO!a R#g
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衍射分束器表面 }V I}O{ O[RivHCY
`iT{H]po d@aPhzLu 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 "B"Yfg[ I?Fv!5p
%{*)-_M l:$i}.C
5?M d '#Pg:v_ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) &w"1VOV< $7
FT0?kG
i?0+f}5<p ;.EW7`)Z 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 66 @#V 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ).D+/D/"2 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ' En|-M5
roNRbA]
3d81]!n X+LG Z4]D 光栅级次和可编程光栅分析仪 Fh0cOp( e$=UA%
}X?M6;$) 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 |ryV7VJ8 @})]4H !eE;MaS> 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 W _JGJV.^f bjCO@t i$CN{c* 设计与评估结果 6G0Y,B7& 相位功能设计
XMpa87\ 结构设计 %TUvH>;0 TEA评价 r)xkpa5 FMM评估 O}w"@gO@. 高度标度(公差) mMSQW6~j
vv0+F6 @ 通用设置 Y5,[udF:O H.=S08c3kA |0N6]%r 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 AAW])c`. 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 'h.:-1# L h}$g}f%$+ =R6IW,* 纯相位传输设计 sDXD>upO '^10sf`"
Ql8s7 % kVeR{i<*( 结构设计 J<;@RK,c_ c+A$ [
kfj)`x uw>O|&! p'f8?jt 更深的分析 Vl\8*!OL% •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 u/_TR;u=q •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 {i#z<ttu •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 hteAuz4H !!:mjq<0
HzQY\Y6 0ub0[A 使用TEA进行性能评估 UI%Z`.& Qo$j'|lD
XDQ5qfE| ic;M=dsh: 使用FMM进行性能评估 Cno+rmsfT YMr2|VEU[
euiP<[|h= #T3dfVWv 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 6Q*Zy[= %iR"eEE
\`U=pZJ aDZ,9} 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 'B\7P*L"p SUC'o"
|5TzRz U-U"RC> 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 [JVEKc ym Ygq;jX
~J:]cy)Q cNl NJ VirtualLab Fusion技术 ?>/9ae^Bw %EH{p@nM&-
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