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摘要 T=}(S4n#BX oBr/CW 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 (b Q1,y "#2z
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zg&<HJO b w!;ZRK 设计任务 sB
]~=vUP 1vBR\!d?7 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 xR2E? 0T t5#IiPp
U7.3`qd" bo rt2k 光栅级次分析模块设置 l [?o du4 OWFLw M"2Tuwz 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 KFdTw{GlJ7 C)`k{(-{
c4oQ4 gmy$_4+6o *,~d!Fc 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 v'7,(.E 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 (,`ypD +3q 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
2&O!<C j 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 s_-G`xT>{ <<gk<_7`
WF<`CQ g[ 衍射分束器表面 ^$SI5WK&) M ()&GlNs
yf+M *SQ hXTn 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 )f9f_^; tgH@|Kg
9S@PY_ms ulV)X/]1
x):cirwkl jKZJ0`06q 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 5\}A8Ng 9nlfb~F~P
-;cZW.< qz"di~ 7 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 *Hy-D</w% 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 [ ps5; 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ]7n+|@3x , j^ /~
@6 uB78U4O vO!p8r
F 光栅级次和可编程光栅分析仪 ZIQy}b' L5!aLv#
ik)T>rYg0 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 MW8GM }Ho[ 9 o6ig>C nS)U+q-x&o 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 JsI`# 6/Y3#d L\}o(P( 设计与评估结果 -iWt~ 相位功能设计 Ac}+Uq 结构设计 p'fq&a+ TEA评价 Y3+DTR0|' FMM评估 +<7~yZ[Z8 高度标度(公差) u8L%R[#o m`gH5vQa 通用设置 w%R(*,r6 A@xa$!4} L,c@Z@ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 S0\QZ/je 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 "s[wLclfG lJ;7sgQ# p;cNmMm 纯相位传输设计 O4J <u-E$ (CFm6p'RZ
>Q#h,x~vu 7p*PDoM6` 结构设计 low
0@+Q 3*x_S"h
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Os91+.% 2#LTd{ dPZrX{ c 更深的分析 r:0F("},
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 /ap3>xkt •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 3y?I^ .B •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 =REMSej ))m\d *
y(/"DUx v&Xsyb0CaM 使用TEA进行性能评估 T1AD(r\W5 0N.B=j|
L!G]i;=: ?e( y/ 使用FMM进行性能评估 [w*YH5kX mU@pRjq=
dC+WII`V }2c)UQD8 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化
+l'l*< Kv(2x3("
7[=*#7}. ]e`&py E 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Kz>bfq7 <% #Dwo}
A$d)xq-]K ZYRZ$87jZ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ZcJa: b>g&Pf#N!
t<=Ru*p ws}cMX]* VirtualLab Fusion技术 *i LlBE 2kukQj(n
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