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摘要 ZZ[5Z=te? OFQsfW3O 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 r[EN`AxDb m[ifcDZ(e
U~Uxs\0: <:q]t6]$ 设计任务 @ mtv2P` (a&.Ad0{ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 T(J&v|FK W5J"#^kdF8
Z~T- *1V w y:. 光栅级次分析模块设置 8$?a?7,>| li/IKS)e$ &EA4`p 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 }I05&/o.3p NFmB ^@k
ZLE4XB] i`Lt=)@& jUW{Z@{U 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 zcIZJVYA 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 5#QB&A> 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 -bZ^A~<O, 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 VNXB7#ry 8I@=?
|{t}ULc 衍射分束器表面 ZuBVq CFRo>G
O?8G |M9x&(H;Hw 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ?B@iBOcu[ MFE~bU(h
I#uJdV|x ``>WFLWTn
z'fGHiX7.0 W9a H]9b 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) (doFYF~w 3<'SnP3mY
//V?rs CO4*"~']t 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 "}Ya. 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 LR-op?W 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 P(A%z2Ql a/>={mbKi
-!wm]kx
f ")x9A&p 光栅级次和可编程光栅分析仪 '3%!Gi!g 3&x_%R
5hg>2?e9s? 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 Fv#ToT:QXe )0qXZgs QFDjsd4
使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 $n(@hT>? G}}oeS 7<-D_$SrU 设计与评估结果 l3l[jDa, 2 相位功能设计 6j_
A{*~Ng 结构设计 JGH9b!}-1 TEA评价 K _O3DcQ FMM评估 8.]dThaq 高度标度(公差) Ww)qBsi8 >UR-37g{p 通用设置 - DL/Hk_r -pa.-@ ) ,*&rd! 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 "6Ly?'HK 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 LDwu?"P! :q^g+Bu= Hdj0! bUx 纯相位传输设计 s^3t18m&1 qX-Jpi P
>/$Q:92T +>c)5Jih 结构设计 s~M!yuH Qzb8*;4?FF
UmInAH4 ?ew^%1!W. KC8A22 更深的分析 bF?EuL •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 r `28fC •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 4lvo9R •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 (VwS9:` .eq-i>
*R1x^t+) r")=Z1y 使用TEA进行性能评估 oBKZ$&_h EUUj-.dEN
q0DoR@ "wexG]R=5 使用FMM进行性能评估 <(#cPV@j >:Q:+R;3o
cnCUvD]' HmRwh 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ] p'+F 5
BcuLRId:
YM+}Mmu ~iF*+\ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 gh i!4 "LXLUa03
#BlH)Cv q)<5&|V 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 |FPx8b;# 3=sA]j-+(
XD%?'uUQ_ wyAqrf VirtualLab Fusion技术 Me5umA v+G}n\F
fbo64$!hZ owYfrf3ZLX 更多阅读 ot(|t4^ ?R"5 .3
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