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摘要 AbOf6%Env 0<*<$U 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 tX~w{|k 0PCGDLk8
]eV8b*d6 NwfVL4Xg 设计任务 1{.9uw"2S DVeE1Q 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ksm~<;td iU:cW=W|M\
y|jq?M<A y>ktcuML 光栅级次分析模块设置 bW:!5"_{H ^=*;X;7 W}ofAkF 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 u$`a7Lp,n Ew$C
;&9
EiaW1Cs 6wg^FD_Q bhs
_9ivw 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 "uf%iJ:% 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 UGatWj 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 3iU=c&P 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 U%/+B]6jP ^kSqsT"
!TcJ)0
衍射分束器表面 MUwMb!Z.s |V7*l1
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+ fd9k?,zM 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 bs1Rvx1:J% q0\6F^;M
@KUWxFak ^/k*h J{
nT)vNWT= o<!?7g{ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) &>}5jC.I +W+|%qM,\
H%lVl8oQ =?`c=z3~i$ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 >KKMcTOYY 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 \.}c9*) 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ^dxTm1Z BD7Ni^qI$
Vf1^4t Q=dy<kg'] 光栅级次和可编程光栅分析仪 -D~%|).' ]J]h#ZHx
M"To&?OI 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 l9H!au= +qdEq_m Uoix 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 3irl
(;v )BfAw /2VJX@h 设计与评估结果 2I{"XB 相位功能设计 <QGXy= 结构设计 h!9ei6 TEA评价 S`Rs82> FMM评估 PeEj&4k 高度标度(公差) zp?`N; I1&aM}y{G 通用设置 IO:G1;[/2L q-d:TMkc ( &x['IR 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 6;5Ss?ep 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ht}wEvv Z;)%%V%o &PtJ$0%q 纯相位传输设计 ~4cC/"q$X S:ztXhif>
+X]vl=0 K\c#ig 结构设计 iO;
7t@]- Pj%|\kbNs
%ULr8)R;
9(wK@ 63 B?. 更深的分析
X)3!_ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Aq7osU1B •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ufT`"i •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 X!g#T9kG qJUK_6|3
` sU/& P S>1Iky|
使用TEA进行性能评估 jWfa;&Ra S|+o-[e8O
FaJ &GOM, 5l*&>C[(i 使用FMM进行性能评估 v/=}B(TDF hY8reQp1
=odFmF }RqK84K 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 $iz|\m H$4:lH&(
lnR{jtWP H<N,%G 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 "snw4if 1|wL\I
6!FQzFCZq pyvSwD5t 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 cExS7~* u;c?d!E
HHsmLo c4 d6 5L!4 VirtualLab Fusion技术 ekCC5P! MFk5K
R~$qo)v gB'6`' 更多阅读 [ibu/W$ |
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