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摘要 ]F-{)j
Cgt{5
st pa2z ]{dg"J
直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 mw.9cDf L7 qim.J 设计任务 M7En%sBp
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 =`g+3
O;< "M2HiV 光栅级次分析模块设置 {ImZ><xe/ ~g)gXPjke 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 *y7^4I -J
N-;e"
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 J,k9?nkY / a&|aK+^8; 将传输函数转换为结构 8{@#N:SY
p.&FK'&[0 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 :rw F5 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 ->:G+< 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 f5^[`b3H 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 l3-;z)SgH
{B uh5U,
 Fn$EP:> P)ZGNtO9fG 衍射分束器表面 $Y 7q2
HLa|yc B%
 #~ UG9@a
7zT]\AnO 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Kp8!^os
&`GQS|
 or>5a9pj O0c#-K.f 光栅级次和可编程光栅分析仪 %YA=W=Yd
~ 8RN
 A)&OR]0[ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 Tw);`&Ulo
C4]v q+
QVm3(;&'
使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 j;)U5X
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 b\ F(.8 设计与评估结果 D ?;$:D" - 相位功能设计 _6(QbY'JV` - 结构设计 O \=3{ - TEA评价 RL
SP?o2J - FMM评估 NAlYfbp - 高度标度（公差） l+Uy
;}ileL Tl 纯相位传输设计 ?(n|ykXwc
]8<;,} #
 m:.ywiw= c4 k3|=f 结构设计 Z>{3 t/`
-P ^ 6b(
 |ffM6W1: U8PS J0ny 进一步分析 4&2aJ_ 2 y •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 2r^| •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 E ?m(&O
j •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 wWQv]c%
0j F~cV
 _jQ"_Ff M8oI8\6[ 使用TEA进行性能评估 eR4%4gW)
m(L]R(t
 51u8.%{4 h S/oOeG<Y 使用FMM进行性能评估 M1^,g~e al.~[T-O+
 FY|.eY_7 { lED-Jo2 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 xv4_q-r[
y2bL!Y<s9
 Q-k{Lqa- >gtKyn] 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ? 6P
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 :UGc6 ' 5\7>2fI 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 NpG5$?
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