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摘要 5 H#W[^s" %0? M?Jf
]xguBh ] `R"I;qV 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 1 sPdz
L 8k(P,o 设计任务 "5eNLqt^q 0i8LWX_M
XUuu-wm:} v)2M1 光栅级次分析模块设置 %cE2s` C&++VRnm 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 -=.V
' 6sa"O89
N)&4Hy 3Vp#a: 将传输函数转换为结构 ;<0LXYL; QdLYCR4f 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 4A9{=~nwT 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Mwgu93? 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 G;f/Tch 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 :>itXD! tK
k#LWB
;/j= Ny{9 t%530EB3 衍射分束器表面 "_2Ng<2 lY*[tmz)
M)sZSH.<O #z1H8CFL" 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) U35AX9/ 0@2mXO9f"
e[Abp~@M1 5wUUx# 光栅级次和可编程光栅分析仪 JoSJH35=: n ]dL?BJ
,RN:^5 p 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 QJ|a p4r 9}z0J !ZU2{ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 7bDHXn 例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 fvb=#58N_ 设计与评估结果 ]tY
^0a - 相位功能设计 qH['09/F6 - 结构设计 OM{WI27 - TEA评价 ;;A2!w{}[i - FMM评估 s|y:UgD - 高度标度(公差) XNgDf3T (MHAJ]Rx 纯相位传输设计 f-nz{U }-~T<egF
h=_mNG>R) :a:l
j 结构设计 $`Ix:gi J~(Wf%jM~
zS]8V?` 67y Tvr@a 进一步分析 fb da •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 `yF`x8 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 5[n(7;+gw •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 U.{l;EL:T {)AMw q
^9-&o =vT<EW}[ 使用TEA进行性能评估 mXUYQ82 q64k7<C,
)J?{+3 -+t]15 使用FMM进行性能评估 X\}Y s}onsC
TE )gVE] Y
wkyq>Rv 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 gT/@dVV ud fe
u{z``] !gnj]k&/c 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 eiJ2NwR\w pWu LfX
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F+c 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 Nm):9YQ/ [31p&FxM
) _ I,KEe e?bYjJq VirtualLab Fusion技术 5<L_|d)0" 7=]i~7uy
4.RG4Jq Q%aU42?_1 文档信息 E+C5 h
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