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摘要 &MLhCekY
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 _Ws k3AP 8 r| 设计任务 @%8 5k/(
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 a9JJuSRC x(6.W"-S 光栅级次分析模块设置 Uy'ZL(2 XzFqQ- H 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 d#,V^
r<H^%##,w
 dOgM9P hU vH
t+d 将传输函数转换为结构 wm [d5A4
RwHXn]1 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 |L-juT X9 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 xH- k~# 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 6>7LFV1tvy 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 K4L#%KUPW
R.$Y1= U6
 9e *poG :iiTz$yk 衍射分束器表面 32' 9Ch.
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a m%{M7":7 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) E 1[%~Cpw*
".Z+bi 2l
 K`2DhJC }i~ j"m 光栅级次和可编程光栅分析仪 r/:'}os;
Efd[ZJxS6
 780MSFV8 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 Li$k<AM
ZWW}r~d{
r{;4(3E2
使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 skArocs
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 GUZi }a|= 设计与评估结果 ( ~o+pp! - 相位功能设计 (jMp`4P - 结构设计 c67!OHu mP - TEA评价 >u[ln@ l - FMM评估 JYU Ks~Qt - 高度标度（公差） ~kFRy { z
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ji 纯相位传输设计 "FD~XSRL
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 y[eNM6p YZD]<ptR 结构设计 `buTP?]4.
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 S jU6+|l l)bUHh5[ 进一步分析 I<#kw)W! •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 6P $q7G •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 S)h1e%f,
f •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ,^T2hY`
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 \hX^Cn=6 /iy/2x28> 使用TEA进行性能评估 Fv
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4QDzG~N4)|
 M?97F!\U :oQaN[3>_ 使用FMM进行性能评估 :W55JD' ]e9kf$'
 zE{zX@ KcE=m\ h 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 RUO6Co-
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 W[ DB !ue YN3uhd[2 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Yzz 8:n
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 kE}I b4]J xDS9gGr 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 4|UIyDt8
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 &aU+6'+QXB 7va%-&. &t VirtualLab Fusion技术 e V#H"fM
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文档信息 L gYzGlJp
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