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摘要 @o60c l[Tt[n
.Nk}Z9L]k {x9j_/R 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 R qnWtE G LoiH#R 设计任务 S7Znz@ <c(&T<$
6N&|2: U :q(D(mK 光栅级次分析模块设置 6-ti Rk~ NtqFnxm/ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 \FVNXUMU *^uGvJXF
H<$pHyxU @K7ebYr? 将传输函数转换为结构 Etw~* El {r$-} 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 J}:&eS 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 D/e&7^iK 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 40R"^* 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 z}iSq$ (X*'y*:
UmYD] xC'mPcU8 衍射分束器表面 QjI#Cs}w AjG)1
5[nmP95YK pa>p% 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) J9NsHr:A[ J`4Z<b53
-!@H[" '^8g9E.4K 光栅级次和可编程光栅分析仪 dJloH)uJZ> Pb0)HlLq
tsck|;v 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 kea e.6[ K1/
U
(A I+*osk 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。 n'q
aR<bY 例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 $K`_
K#A 设计与评估结果 "tfn?n0 - 相位功能设计 _MGNKA6JI - 结构设计 t#a.}Jl - TEA评价 wj}=@HS,3! - FMM评估 [SK2 x4 - 高度标度(公差) 1aBD^^Y kZJt~} 纯相位传输设计 T@B"BoKU f;e_04K
rH[5~U u9esdOv 结构设计 65'`uuPx Lc58lV=
F(J\ctha :uOZjEZi 进一步分析 J>><o:~@ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 !>CE(;E>z •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 FX{~" •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
s.|!Ti!] C/SapX
UAnB=L,.\ ]\[m=0K 使用TEA进行性能评估 E~'q?LJOB 98X!uh'
!y.ei1diw _Ngx$ 使用FMM进行性能评估 += X).X0K 3Cq6h;!#
2 9&sydu =6.8bZT\ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 *>EI2HX lo\: ]/&6
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进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 N!tpzHXw |z.Gh1GCy
ck(CA(_ ;n%]*v 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ST[2]
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qFvg}}^y b=6MFPbg VirtualLab Fusion技术 LXBbz;vYl hB|H9+
\hjk$Gq \4[c}l 文档信息 #Tr;JAzVjG Xz;et>UD*B
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