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摘要 yN0Vr \r2
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直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 #Pau\|e_ atH*5X6d 设计任务 Q} JOU
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 2"Q|+-Io h&iC;yj= 光栅级次分析模块设置 Ny 7 S /HEw-M9z 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 UgRiIQMq.
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 Paq 4 M?49TOQA 将传输函数转换为结构 .LZ?S"z$ w
r6Dz;uz 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 bs&43Ae 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 h4}84}5d 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 'BxX0 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ]q[D >6_
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 aKDKmHd B@))8.h] 衍射分束器表面 Po0A#Z l
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c#]4awHU 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) lFj]4
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 Q\vpqE! 9 B mb0cF Q 光栅级次和可编程光栅分析仪 Zl!kJ:0
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i.& e 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 Lb-OsKU
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。 $wa{~'
例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 {Mk6T1Bkq 设计与评估结果 Sul Y1, - 相位功能设计 6|=f$a - 结构设计 QIEJ6` - TEA评价 Ne!lH@ql - FMM评估 RP|`HkP-2 - 高度标度（公差） ue"~9JK.
3,w_ ".m`# 纯相位传输设计 IP pN@
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 M3y NAN >Tx?%nQ 结构设计 .Hm>i
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 y^ *~B(T{ r5/0u(\LB 进一步分析 29b9`NXt •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 9FR5Jw>t •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 gJ{)-\ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 6MW{,N
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 kTB 0b*V i]4I [! 使用TEA进行性能评估 UkC!1Jy
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 >=>2m2z= }.(B}/$u 使用FMM进行性能评估 (t|Zn@uY "sCRdx]_
 5qm`J,~ k <lPG=Xt 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 _VN?#J)o
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 @. l@\4m "S]TP$O D 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化
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 BU_nh+dF T^KKy0ZGM 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 p6@)-2^
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