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摘要 Q%O9DCi
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|6d:k~p 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 @ fMlbJq 0c>>:w20D
建模任务 Lx- %y'P
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 q5g_5^csM{ VQ!4(
<XD 微结构 @Xoh@:j\
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 5tv*uz|fv 8T Yh&n=r 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： HV!P]8 2Pa
6No.2Oo 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 ub 2'|CYw
wSjy31 微结构组件的配置 Rb<|
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 cY} jPDH jEKa9rt - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 M(8xwo- W - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 4oF,;o+v\4 - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 `*CoVx~fk - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 }c/#W A|b
])pX)(a 总结-组件… lU |ltnU
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 ,=!s;+lu{ R GV{KL  VII`qbxT )FB<gCh7X 监测器平面上的衍射图案 PvUY
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监测器平面上的衍射图案 @W+8z#xr'
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 JK md'ZGw rGH7S!\AM 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 6:r1^q6A9L
z"5e3w 高度缩放调制 o\j<EQb.
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 7({.kD6 5}N O~Xd< 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 \l6mX In=>
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