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摘要 Z^i=51 x!klnpGp
gxEa?QH 1eC1Cyw 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 k!e \O> + s#,~Zb= 建模任务 7 jq?zS| BU[.P]
V[f-Nj Kf $x,?+N 微结构 *')g}2iB i6R2R8
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mQmn &:R J /3qJst 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: D}|PBR
zzsQfI# 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 FLI\SF< >
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<in/ 微结构组件的配置 "(y",!U@ >C"f'!oM,j
3F' {JP <vx/pH)f - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 M17oAVN7D - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 9-;ujl?{ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 V5y8VT=I
- 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 iOpMU W:q79u yX 总结-组件… J&4QI( b. *"V5j#F_
Ov1$7 r@ ]>fAV(ix Ju3-ZFUS4 h^klP: Q 监测器平面上的衍射图案 {UpHHH:X# (vm&&a@
Js7(TFQE !'>(r K$ 监测器平面上的衍射图案 *<k8H5z8] dR"H,$UH
E~?0Yrm F o -tc}Aa 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 z -|gw.y &6fNPD(| 高度缩放调制 OE87&Cl"{t :0,q>w
jf0D CZB!vh0 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 (Fq|hgOA>M 6@pPaq6
O9OD[VZk 9{{QdN8 VirtualLab Fusion技术 0yW#).D^b w~J 7|8Y
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fR ^Gv 文件信息 V@gweci ,"?h_NbF
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