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摘要 6 `+dP"@
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Ao 69Qn 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 m?V4r#t NVAt-u0LB
建模任务 JUt
7
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 DKx8<yEky hjtk q .@ 微结构 T;IaVMFG|d
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 rzsb( bx_`S#*N 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： ?~Fk_#jz,@
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7c 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 imv [xBA(d
, `ST Va- 微结构组件的配置 U R>zL3
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 E LZCrh6* oi^2Pvauh - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 e
C?adCb - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 e )]9u$x - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 }(4 U7Ac - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 WwG78b-OA
jCa%(2~iQ7 总结-组件… /g BB
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 .'k]]2%ILp X`JWYb4  >RZ]t[) y =Yg36J4[ 监测器平面上的衍射图案 ]r8t^bqe
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zXv Cp` [0v~0 监测器平面上的衍射图案 ,5$V;|
=NMT H[
 N3n FE:`u] ,:Qy%k}f 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 |WqEJ*$,
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1 oP 高度缩放调制 6A&e2K> A
D/uGL
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 S{' /=Px+ Y /$`vgqs 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 <Z GE mQ
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Y2f +RW P;rk VirtualLab Fusion技术 o=@ 0Bd8
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 (7/fsfsF VO r*Y B& 文件信息 ~b;l08 <
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