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摘要 VB6EM|bphl
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Z}bUvr XP 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 s+Qm/ h2 lK;/9 7Ze
建模任务 {SH +lX0]{
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 jR~2mf!h*e (ov=D7>t0 微结构 M7Ej#Y
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 2`4'Y.Qf & sbA:xZBA 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： cU}j
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0gY,[aQ2 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 i<<NKv8;
cJ9:XWW 微结构组件的配置 HfN-WYiR
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 bni :B?# Id8^6FLw - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 `_{'qqRhe - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 AHsp :0Ma# - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 F 7+Gt
Ed - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 ,aI 6P-
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*hDZ6t 总结-组件… 77/&M^0
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 cy=,Dr9O $-""=O|"  zRyZrt,%& 2YvhzL[um 监测器平面上的衍射图案 [~$Ji&Dd
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 2GRh8 G&5 rtcY(5Q 监测器平面上的衍射图案 }vBk ,ED
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 b{H&% Jx) k>#,1GbNZy 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 e"en
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Q7]:vs)% 高度缩放调制 !Dp4uE:Pq
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 cad 1eOT' V.J[Uwf 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 * bmdY=#7
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