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摘要 @'`!2[2'?
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,-^Grmr4M $A\fm` 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 o@j]yA.5) ^l|{*oj2 建模任务
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x1y#Q 微结构 IMLk{y%6 ,2T&33m
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-C]RFlV 8 hx4N 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到:
|D<J9+ D+?/MrP 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 j:K>3?
uu L"o 微结构组件的配置 7K3S\oPej 4E]w4BG)
M72. X@KF}x's - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 8P5yaS_ - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 c?B@XIl - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 WrH7tz - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 `%}SK~<R rC.z772y% 总结-组件… KM$Lu2 yq+'O&+
a;JB8 p>Dv&fX _7r<RZ ;0DTf 监测器平面上的衍射图案 0dxEV] Q qGf*
a@:(L"Or ZHT_o\ 监测器平面上的衍射图案 -d]-R?mQ tE3#Uq
!h3$C\ <$bM*5sHF> 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 9jq}`$S{ &nkYJi(! 高度缩放调制 D^ZG-WR ;8\w$SPP
ssaEAm: u6^cLQO+ 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 _N!L?b83P J%ng8v5ex
-xs@rV` 91%QO?hz VirtualLab Fusion技术 ,aOi:aaZRT "ee:Z_Sz
"TW%-67 &Omo\Oq&W> 文件信息 3cfJ(%'X PyQt8Qlz
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