切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 376阅读
    • 0回复

    [技术]衍射光学元件（DOE）和微结构元件 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-18
    摘要 Kn3Xn`P?  
     >o13?-S%e  
    衍射光学元件(DOEs)和微结构表面实现了各种各样的光学功能，如分束器，光束整形器和扩散器。由于衍射方法，这些元件通常比大多数折射元件更薄和更轻，同时为光学中的许多应用提供了独特和强大的选择。在这个用例中，我们演示了如何在VirtualLab Fusion中使用微结构和衍射光学元件(DOE)元件定义这样的元件。 I*j~5fsS'  
    YJ6:O{AL1  
    在哪里可以找到元件 Y5 ;a  
     )?OdD7gd  
    衍射光学元件(DOE)和微结构元件可以在元件 >单一表面 &堆栈中找到。 @r[SqGa:  
     :~R a}  
    这两个元件使用相同的内部求解器，只是为了便于识别和应用而有不同的名称。在这个用例中，我们将展示微结构元件，但一切都可以类似地应用到衍射光学元件(DOE)。 ,<!*@xy7v  
     lO|LvJyx  
    微结构元件的功能 "6IZf>N@#  
    _\yR/W~  
    y|+5R5}K  
    对于光通过期望的微结构的传播，微结构元件应用了一一个复数面响应，这意味着元件对所有场入射光的振幅和相位的响应函数。该响应函数既可以直接定义为传输函数，也可以通过应用薄元件近似TEA)对给定的高度剖面进行计算。
     g||EjCsp  
    o "0 ~  
    基底界面 F,)+9/S&  
    F5+F O^3E  
    在固体选项卡上，定义一般参数，比如特定表面后面的介质，也就是预期结构所在的地方。用户可以利用不同材料的扩展库来选择，或使用色散公式如赛米尔方程定义自己的材料。 ^w%%$9=:r  
    ,_H H8[&  
    定义为复数表面响应 %m/lPL  
    Rs{8vV  
    在通道操作员选项卡上，可以通过设置复数传输函数来定义所需DOE的复杂表面响应...     {S+?n[1r\  
    #b&tNZ4!_  
    定义为堆栈——真实高度剖面 ;X]B0KFe7  
     bBc<p{  
    SJX9oVJeZ  
    微结构的方向 ceJ#>Rj  
    <K&A/Ue  
    应用解算器 )TVd4s(e  
     W tw,YFT  
    Q|+ a   
    精度系数 ChUE,)  
     V:j^!*  
    OA6i/3 #8  
    添加背面 k7@QFw4 j  
     ha;fxM]  
    由于微结构元件只定义了微结构所在的表面，因此为了在基板上配置元件，背面是必要的。这可以通过在元件 > 单一表面&薄膜下添加平面来实现，并配置适当的距离(基板厚度)和材料。 zJ(DO>,p&  
     At<MY`ka  
    文件信息 :4 z\Q]  
    ,J+L_S+B~  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表