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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-13
    摘要 ChVur{jR  
    'ju  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 /K+GM8rtE  
    ZH o#2{F  
    e G8Zn<:s  
    ^Ob#B!=  
    系统内光栅建模 '3n?1x  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 ;{@jj0h;  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 .)eJL  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 6x6xv:\  
    ]m ED3#  
    j?eWh#[K"  
    CuS"Wj  
    附着光栅堆栈 hu=b ,  
    I\8f`l  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 49/j9#hr  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 R9dC$Y]\M  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。  G{4~{{tI  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 [1Os.G2  
    2!UNFv#=$  
    y2XeD=_'  
    *F ya qJ)  
    堆栈的方向 EUVB>%P  
    #zRT  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: tA,#!Z0  
    T(n<@Ac]V  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 WKHEU)'!  
    xt{f+c@P  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 d{~5tv- H  
    $ N7J:Q  
    'yrU_k,h  
    Dg:2*m_!j{  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ;p$KM-?2D  
    !a(#G7zA  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 T~*L [*F0  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 g%Yw Dr=0t  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 )isJ^ *6y  
    vai.w-}Z  
    ZO^Y9\L  
    uU7s4oJ|  
    高级选项和信息 4sj:%% UE  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 Wa/&H$d\u@  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 "q-,140_  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 %Pz'D6 /  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 aP%& -W$D|  
    ?O]iX;2vM  
    3]*_*<D  
    "cK@Yo  
    结构分解 y 093-  
    EPY64 {  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 8SG*7[T7  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 K >-)O=$s  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 3IrmDT  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 RsY7F;  
    |'C {nTX  
    Pf?*bI  
    %J_`-\)"{~  
    光栅级次通道选择 'dnTu@mUT  
    (l|:$%[0  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 .x 1&   
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 c[/h7!/aH  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 x B%Felz  
    n+C,v.X  
    JZCRu_M>|  
    eyx;8v cM  
    光栅的角度响应 xz @/^Cj  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 QasUgZ  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 aNqhxvwf  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 >bKN$,Qen  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 }~Am{Er <l  
    U[!x 0M  
    D@M ZTb  
    XT n`$}nz  
    例:谐振波导光栅的角响应 [Rqv49n*V  
    3#d5.Ut  
    z}Qt6na]-  
    ;NyX9&@  
    谐振波导光栅的角响应 MZpG1  
    `%8byy@$  
    =Ws-s f]  
    文件信息 +m> %(?=A  
    E(5'vr0  
    2>E.Q@c  
     
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