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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-13
    摘要 nsM :\t+ p  
    bf2B  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Ce%fz~*b  
    'GJ'Vli  
    4#c-?mh_  
    *>%tx k:)  
    系统内光栅建模 S.$/uDwo  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 #rs]5tx([  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 = "N?v-  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 <Jwx|  
    `r$c53|<u  
    o[ua$+67E  
    {;T7Kg.C  
    附着光栅堆栈 /ivA[LSS  
    ja_.{Zv  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 L=1~)>mP  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 JPq2C\Ka  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 q0a8=o"|  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 $QB~ x{v@n  
    o8A1cb4<T  
    :Q@qR((&o  
    &P,z$H{o@  
    堆栈的方向 5 ?{ytNCY  
    =OUms@xcE  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: m\];.Da  
    dhAkD-Lh  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 8M DX()Bm  
    9BA*e-[  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 1m5 =Nu  
    c%bGVRhE  
    GqT 0SP  
    Oz: J8l%  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 +"HLx%k  
    s?g`ufF.t  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 )PNeJf|@  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 `BA,_N|6  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 Q-qM"8I  
    n=+K$R  
    k ='c*`IE  
    (r]3tGp  
    高级选项和信息 !B#Lea  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 {}W9m)I  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 X^!1MpEQ  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 I5$@1+B  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 -x)zyq6  
    ;<9dND  
    c2aW4 TX2  
    9t1aR*b&@  
    结构分解 06dk K )`  
    _?+gfi+  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 zxV,v*L)  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 =mq02C~y  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 Cqy)+x_OQ,  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 4.^1D';(  
    JQp::,g  
    ju AUeGT  
    <A_LZi  
    光栅级次通道选择 EC]b]'._  
    j1yW{  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 )U~,q>H+ %  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 O'OVj  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 *_aeK~du.  
    Eed5sm$H  
    g20,et  
    9AxeA2/X  
    光栅的角度响应 /;[Zw8K7  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 [ ; $(;  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 k!^Au8Up?  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 0rjH`H]M  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 6;:s N8M+1  
    $GR 3tLzK:  
    (eOzntp8  
    vwlPFr Ll  
    例:谐振波导光栅的角响应 G/w&yd4  
    POl[]ni=>  
    QNk\y@yKw  
    8l, R|$RKP  
    谐振波导光栅的角响应 mo$`a6[h<  
    }qa8o  
    RO]Vn]qb  
    文件信息 "'@iDq%y  
    O!3MXmaO  
    K_fQFuj+  
     
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