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摘要 ChVur{jR
'ju 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 /K+GM8rtE ZH
o#2{F
e G8Zn<:s ^Ob#B!= 系统内光栅建模 '3n?1x 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 ;{@jj0h; 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 .)eJL 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 6x6xv:\ ]m ED3#
j?eWh#[K" CuS"Wj 附着光栅堆栈 hu=b, I\8f`l 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 49/j9#hr 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 R9dC$Y]\M 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 G{4~{{tI 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 [1Os.G2 2!UNFv#=$ y2XeD=_' *F ya
qJ) 堆栈的方向 EUVB>%P #zRT 堆栈的方向可以用两种方式指定: tA,#!Z0 T(n<@Ac]V 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 WKHEU)'! xt{f+c@P 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 d{~5tv- H $
N7J:Q 'yrU_k,h Dg:2*m_!j{ 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ;p$KM-?2D !a(#G7zA 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 T~*L[*F0 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 g%Yw Dr=0t 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 )isJ^ *6y vai.w-}Z
ZO^Y9\L uU7s4oJ| 高级选项和信息 4sj:%%UE 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 Wa/&H$d\u@ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 "q-,140_ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 %Pz'D6
/ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 aP%&-W$D| ?O]iX;2vM
3]*_*<D "cK@Yo 结构分解 y093- EPY64{ 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 8SG*7[T7 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 K
>-)O=$s 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 3I rmDT 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 RsY7F; |'C{nTX
Pf?*bI %J_`-\)"{~ 光栅级次通道选择 'dnTu@mUT (l|:$%[0 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 .x
1& 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 c[/h7!/aH 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 xB%Felz n+C,v.X
JZCRu_M>| eyx;8v cM 光栅的角度响应 xz@/^Cj 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 QasUgZ 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 aNqhxvwf 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 >bKN$,Qen 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 }~Am{Er<l U[!x
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ZTb XT n`$}nz 例:谐振波导光栅的角响应 [Rqv49n*V 3#d5.Ut
z}Qt6na]- ;NyX9&@ 谐振波导光栅的角响应 MZpG1 `%8by y@$
=Ws-s f] 文件信息 +m> %(?=A E(5'vr0
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