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摘要 ]E.\ |I( XqGa]/;} 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 ?69E_E E5?$=cL?
XP[~ :+ 2UopGxrPKw 系统内光栅建模 )Fw#]~Z 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 r)B55;*Fh 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 7[0<,O6Q 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 9VMk? <E:_9#Z0sc
%jJIR88 _C=01 %/ 附着光栅堆栈 Nxt`5kSx= fymmAfaR 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ps^["3e 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 >%5GMx>m 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 l3+G ]C&< 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 T+PERz( vsPIvW!V %_G '#Bn< 8K@e8p( y 堆栈的方向 <?:h(IZe[ Zq'FOzs 堆栈的方向可以用两种方式指定: E
B!
,t (w`_{%T 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 R2Lq??XA= 1d$wP$ 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 "([lkn KO/#t~ *,)1Dcv( P
F);KQ 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 IpM"k)HR )(rr1^Xer 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 : rudo[L 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 %TO& 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 <<V"4 C2 NZlCn:"
\9~Q+~@{G o?+?@Xb' 高级选项和信息 YDZB$?&a 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 aiZZz1C 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 n'?]_z< 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 WEoD?GLS8 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 =iB$4d2 6W~JM^F
2@Q5Ta#h C>F5=& 结构分解 6G(K8Q{> F6\4[B 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 i2-]Xl 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ^E)8Sb9t 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 ` +)Bl%* 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 /7ShE-.5# ;iQw2XhT
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q19$ 4q?R 3\e; 光栅级次通道选择 >>M7#hmt D( y
c 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 LoSrXK~0~J 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 \^!<Y\\ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 7UqDPEXU]` zm_8{Rta}
A<(Fn_&W `uqe[u;`6 光栅的角度响应 I|2dV9y 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 J3/e;5w2Z 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 iG"1~/U 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 x7i,jMR 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 hpq\ A;e"_$yt8
b(adM3MP PG@C5Rnu 例:谐振波导光栅的角响应 2Ky|+s[`[ vg1E@rH|}
&'/bnN +R ]vw%J ^7:a 谐振波导光栅的角响应 _bv9/# tR %`s1
Ocvp
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gU 文件信息 3ly]DTbz \5a;_N[Ed
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