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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-13
    摘要 j_*$ Avy  
    ~Q"3#4l  
    光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 MTo<COp($  
    bh|M]*Pq  
    k `JP  
    kcKcIn{  
    系统内光栅建模 uc!j`G*]  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 k8H@0p  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 '?dO[iQ$:  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 :)VO,b~r  
    W1'F)5(?7  
    &5puGnTZ  
    6yk=4l\  
    附着光栅堆栈 52?zBl`|  
    Ix@rn  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 4-;"w;  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 _+PiaJ&'  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 [ZC]O2'  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 't:$Lx  
    _R&mN\ey5  
    rD=8O#m g  
    O O?e8OU  
    堆栈的方向 eKjmU| H  
    0/K?'&$yvb  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: {$D[l hj  
    j8n_:;i*  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 0WT]fY?IS  
    xIu #  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 K"u-nroHW  
    !v/5 G_pr  
    8G$ %DZ $  
    X[/>{rK  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 d: D`rpcC  
     gGF]Dq  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 "fK`F/  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 Xi$( U8J_  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 MMlryn||1  
    oSVo~F  
    9U[Gh97Sf  
    rR`'l=,t  
    高级选项和信息 rEz-\jLD~  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 ]0v;;PfVl6  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 :})(@.H  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 %Aaf86pkp  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 >[t0a"  
    9R_2>BDn  
    (NfP2E|B  
      $!Z><&^/  
    结构分解 0XouHU  
    1ocd$)B|}  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 fH#yJd2?f  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ;R[  xo!  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 3 #GZ6:rVJ  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 e7e6b-"_2  
    337y,;  
    n>Cl;cN=  
    ,TeJx+z^  
    光栅级次通道选择 $t*>A+J  
    6cR}Mm9Hx3  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 be&5vl  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 vTnrSNdSE  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 b#ga  
    VnlgX\$}  
    rP4v_?Zg+  
    &O|!w&  
    光栅的角度响应 6 3TeTGp$  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 0$=Uhi  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 EQQ/E!N8l  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 2n]UNC  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 'I$-h<W  
    ed3d 6/%HR  
    +_^Rxx!XA  
    )m8ve)l  
    例:谐振波导光栅的角响应 5ggmS<=  
    Q` ?+w+y7  
    "i jpqI  
    $;O-1# ]  
    谐振波导光栅的角响应 _N`'R.va  
    7  s+j)  
    3=[#(p:  
    文件信息 XKp$v']u  
    2!-?  
    )-qWcf?   
     
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