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摘要 j_*$Avy ~Q"3#4l 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 MTo<COp($ bh|M]*Pq
k`JP kcKcIn{ 系统内光栅建模 uc!j`G*] 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 k8H@0p 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 '?dO[iQ$: 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 :)VO,b~r W1'F)5(?7
&5puGnTZ 6yk=4l\ 附着光栅堆栈 52?zBl`| Ix@rn 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 4-;"w; 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 _+PiaJ&' 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 [ZC]O2' 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 't:$Lx _R&mN\ey5 rD=8O#m
g O O?e8OU 堆栈的方向 eKjmU | H 0/K?'&$yvb 堆栈的方向可以用两种方式指定: {$D[l
hj j8n_:;i* 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 0WT]fY?IS xIu# 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 K"u-nroHW !v/5G_pr 8G$ %DZ $ X[/>{rK 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 d: D`rpcC gGF]Dq 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 "fK`F/ 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 Xi$( U8J_ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 MMlryn||1 oSVo~F
9U[Gh97Sf rR`'l=,t 高级选项和信息 rEz-\jLD~ 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 ]0v;;PfVl6 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 :})(@.H 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 %Aaf86pkp 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 >[t0a"
9R_2>BDn
(NfP2E|B $!Z><&^/ 结构分解 0XouHU 1ocd$)B|} 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 fH#yJd2?f 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ;R[ xo! 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 3#GZ6:rVJ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 e7e6b-"_2 337y,;
n>Cl;cN= ,TeJx+z^ 光栅级次通道选择 $t*>A+J 6cR}Mm9Hx3 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 be&5vl 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 vTnrSNdSE 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 b#ga VnlgX\$}
rP4v_?Zg+ &O|!w& 光栅的角度响应 6 3TeTGp$ 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 0$=Uhi
对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 EQQ/E!N8l 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 2n]UNC 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 'I$-h<W ed3d 6/%HR
+_^Rxx!XA )m8ve)l 例:谐振波导光栅的角响应 5ggmS<= Q`?+w+y7
"ijpqI $;O-1# ] 谐振波导光栅的角响应 _N`'R.va 7
s+j)
3=[#(p: 文件信息 XKp$v']u 2!-?
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