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c-~i=C] 内容简介 6 X2w)cO Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 abe5 As r 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 D(_j;?i 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 c]ll89`|| mst;q@ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 x'i~o' 目录 J"eE9FLM Preface 1 UZJs!#P 内容简介 2 mg3YKHNG 目录 i @ uL4'@Ej 1 引言 1 nwJub$5 2 光学薄膜基础 2 IYr4 2.1 一般规则 2 lA,[& 2.2 正交入射规则 3 sEb*GF*.V 2.3 斜入射规则 6 ~!fOl)F 2.4 精确计算 7 c~Y g( 2.5 相干性 8 #%CB`l 2.6 参考文献 10 qpB8ujj<V 3 Essential Macleod的快速预览 10 ZB$,\|^6 4 Essential Macleod的特点 32 #FGj)pu 4.1 容量和局限性 33 2ak*aI 4.2 程序在哪里? 33 p?s[I)e 4.3 数据文件 35 %Bn n\{Az 4.4 设计规则 35 w`Cs, 4.5 材料数据库和资料库 37 ]D>\Z(b 4.5.1材料损失 38 Nk\/lK\ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 f2P2wt.$ 4.5.2 材料库 41 |dqAT . 4.5.3导出材料数据 43 8(@(G_skp 4.6 常用单位 43 &K"qnng/y 4.7 插值和外推法 46 (ap,3$hS 4.8 材料数据的平滑 50 l5Q-M{w0x 4.9 更多光学常数模型 54 7@!ne&8Z? 4.10 文档的一般编辑规则 55 ;3O=lo:$~ 4.11 撤销和重做 56 ?&XpwJw:~ 4.12 设计文档 57 r[&/*~xL 4.10.1 公式 58 >@|XY< 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 w2]]##J 4.10.3 沉积密度 59 h"$],= 4.10.4 平行和楔形介质 60 8{%[|Ye 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 `Yo!sgPO\ 4.10.4 性能 61 @3Mp>u/ 4.10.5 保存设计和性能 64 D14i] 4.10.6 默认设计 64 G8CM 4.11 图表 64 Q[% +y. 4.11.1 合并曲线图 67 FHyyZ{" 4.11.2 自适应绘制 68 m@c\<-P 4.11.3 动态绘图 68 Cbr>\;sc2Z 4.11.4 3D绘图 69 ,6T3:qkkvF 4.12 导入和导出 73 Ei\tn`I& 4.12.1 剪贴板 73 !-|{B3"6 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 >~* w 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ,uhOf! | 4.13 背景 77 -W"w 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 T oK'Pd 4.15 生成Rugate 84 OO?BN! 4.16 参考文献 91 ~&8bVA= . 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 a.G;s2> 5.1 Jobs 92 "D/\&1.& 5.2 创建一个新Job(工作) 93 y[~w2a&+ 5.3 输入材料 94 mRD '@n 5.4 设计数据文件夹 95 V%'+ ob6 5.5 默认设计 95 :J;*]o: 6 细化和合成 97 j?oh~7Ki 6.1 优化介绍 97 %b3s|o3An 6.2 细化 (Refinement) 98 L=-v>YL+ 6.3 合成 (Synthesis) 100 0r'<aA`=I 6.4 目标和评价函数 101 P4 dhP-t 6.4.1 目标输入 102 De:| T8& 6.4.2 目标 103 UNKr
FYl 6.4.3 特殊的评价函数 104 "midC(rTm 6.5 层锁定和连接 104 ZE0D= 6.6 细化技术 104 ;=E!xfp5U 6.6.1 单纯形 105 t8upS
u| 6.6.1.1 单纯形参数 106 -|3feYb' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 tFYod# 6.6.2.1 Optimac参数 108 xe!6Pgcb 6.6.3 模拟退火算法 109 C:@JLZB 6.6.3.1 模拟退火参数 109 `l`)Cs;a 6.6.4 共轭梯度 111 tU>?j1 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 {Z{!tR?+ 6.6.5 拟牛顿法 112 rIZ^ix-N 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 :]k`;;vh 6.6.6 针合成 113 $Z{Xt* 6.6.6.1 针合成参数 114 EnnE@BJ" 6.6.7 差分进化 114 ^+'\
u;\ 6.6.8非局部细化 115 L<MH: 6.6.8.1非局部细化参数 115 u:s[6T0 6.7 我应该使用哪种技术? 116 }2~$"L,_ 6.7.1 细化 116 <vUhJgN2/ 6.7.2 合成 117 zY&/^^y 6.8 参考文献 117 gj-MkeI) 7 导纳图及其他工具 118 uQ'Izdm 7.1 简介 118 YVS~|4hu?i 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Ym5ji$!2 7.2.1 四分之一波长规则 119 &5o ln@YL 7.2.2 导纳图 120 r*XEne 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 /#xx,?~xx0 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 y ZR\(\?< 7.5 斜入射导纳图 141 'n4$dv%q 7.6 对称周期 141 ;{hE]jReH 7.7 参考文献 142 $%BNoSK 8 典型的镀膜实例 143 kKEs >a 8.1 单层抗反射薄膜 145 KBkS>0;X 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ^4 ?LQ[t' 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Tkf
JC|6 8.4 W-膜层 148 97SOa.@ 8.5 V-膜层 149 ym.:I@b?6 8.6 V-膜层高折射基底 150 ( ,!G$~Sy 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 #Qnl,lf 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 >* >}d% 8.9 四层抗反射薄膜 153 }hyl)?*~ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 <9jN4hV 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 N#zh$0!8bJ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 GFppcL@a 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 o+I'nFtnI 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Qvl3=[S 8.15十五层宽带抗反射膜 159 =#|K-X0d= 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 a1yGgT a?D 8.17 1/4波长堆栈 162 .`Rju|l 8.18 陷波滤波器 163 P!K;`4Ika 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 %1^E;n 8.20 褶皱 165 tEE4"OAy 8.21 消偏振分光器1 169 4%9
+=" 8.22 消偏振分光器2 171 >0Gdxj]\ 8.23 消偏振立体分光器 172 ;'~GuZ#I 8.24 消偏振截止滤光片 173 ?KMGk]_< 8.25 立体偏振分束器1 174 [+4/M3J% 8.26 立方偏振分束器2 177 QdtGFY4f, 8.27 相位延迟器 178 [)S&PK 8.28 红外截止器 179 Gbrc!3K2 8.29 21层长波带通滤波器 180 FhVoN} 8.30 49层长波带通滤波器 181 ?|,-Bft3 8.31 55层短波带通滤波器 182 I' TprT 8.32 47 红外截止器 183 ;N;['xcx; 8.33 宽带通滤波器 184 LOX} 8.34 诱导透射滤波器 186 3;Ztm$8 8.35 诱导透射滤波器2 188 `D~wY^q{ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
I("lGY 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 0AWOdd>. 8.35 增益平坦滤波器 193 Kp)H>~cL 8.38 啁啾反射镜 1 196 .Qz412
8.39 啁啾反射镜2 198 *p Q'w 8.40 啁啾反射镜3 199 M'-Z" 8.41 带保护层的铝膜层 200 3:~ *cU 8.42 增加铝反射率膜 201 bj$VYS"kY 8.43 参考文献 202 DL]\dD 9 多层膜 204 lz>>{ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ~H1ZQ[ 9.2 内部透过率 204 hF;TX.Y6 9.3 内部透射率数据 205 \~~y1.,U. 9.4 实例 206 {sb2r%U!+ 9.5 实例2 210 ngI3.v/R 9.6 圆锥和带宽计算 212 +\/1V` 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 `y0u(m5 10 光学薄膜的颜色 216 n1J;)VyR 10.1 导言 216 TQ&1!~L* 10.2 色彩 216 Gw1Rp 10.3 主波长和纯度 220 $3c9iVK~_ 10.4 色相和纯度 221 q\]"}M8 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 S<nf"oy_K 10.6 色差 226 ` 5lW 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 o<Y[GW1pg 10.8 颜色渲染指数 234 K2
b\9} 10.9 色差计算 235 R+b~m!58 10.10 参考文献 236 &8xwR 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Um2RLM% 11.1 短脉冲 238 T;`2t; 11.2 群速度 239 Kd;Iu\4hv 11.3 群速度色散 241 yhG%@vSq 11.4 啁啾(chirped) 245 ]21`x 11.5 光学薄膜—相变 245 lV
M)'m 11.6 群延迟和延迟色散 246 V AnP3: 11.7 色度色散 246 ^sqTgrG 11.8 色散补偿 249 hy|Yy&- 11.9 空间光线偏移 256 s9aa _Th 11.10 参考文献 258 vp|'Yy(9z 12 公差与误差 260 EV.F/Wh 12.1 蒙特卡罗模型 260 -Wm'@4bH 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 d$qi.%<kh 12.2.1 误差工具 267 /C\tJs 12.2.2 灵敏度工具 271 E -+t[W 12.2.2.1 独立灵敏度 271 -|g9__|@ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 k;V (rf` 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ?ytY8`PC 12.3 参考文献 276 H9%[!
RF 13 Runsheet 与Simulator 277 g)L<xN8 13.1 原理介绍 277 T]UrKj/iF 13.2 截止滤光片设计 277 _MLbJ 14 光学常数提取 289 Ls6C*<8 14.1 介绍 289 tTE]j-uT 14.2 电介质薄膜 289 M'|?*aNK 14.3 n 和k 的提取工具 295 T-a[ 14.4 基底的参数提取 302 x^~@`]TV^ 14.5 金属的参数提取 306 GFTOP%Tgl 14.6 不正确的模型 306 ^d@ME<mb 14.7 参考文献 311 }Yargj_Gn 15 反演工程 313 <i~=-Z( 15.1 随机性和系统性 313 ^/ZNdwx 15.2 常见的系统性问题 314
-^ R?O 15.3 单层膜 314 T%]@R4z#q 15.4 多层膜 314 Zdy{e|-Zn 15.5 含义 319 l8 H8c & 15.6 反演工程实例 319 ?M BOd9 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 y&L Lx[8^ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 XImX1GH 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 V>(>wSR 16.1 光学性质的热致偏移 329 SQT]' 16.2 应力工具 335 eZ8DW6 l*
16.3 均匀性误差 339 au#/Q 16.3.1 圆锥工具 339 /*e6('9s 16.3.2 波前问题 341 PS$g*x 16.4 参考文献 343 utU;M* 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 !QlCt>{ 17.1 引言 345 Xmw%f[Xl 17.2 操作数 345 aNUMF 18 如何在Function中编写脚本 351 q+ 2v9K@ 18.1 简介 351 I(uM`g 18.2 什么是脚本? 351 hdDL92JVg 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 kgP6'`}E[ 18.4 基础 352 d]vom@iI 18.4.1 Classes(类别) 352 )nlFyWXh. 18.4.2 对象 352 %m##i 18.4.3 信息(Messages) 352 "EBCf.3- 18.4.4 属性 352 snP]&l+ 18.4.5 方法 353 @k9n 0Qe|F 18.4.6 变量声明 353 4}-G<7* 18.5 创建对象 354 2$Umqt 18.5.1 创建对象函数 355 <9]J/w+ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 zNM*xPgS 18.5.3 丢弃对象 356 d)kOW!5\ 18.5.4 总结 356 cb }OjM F 18.6 脚本中的表格 357 nCDG PzJ 18.6.1 方法1 357 a
y$CUw 18.6.2 方法2 357 ?OFfU 4 18.7 2D Plots in Scripts 358 4mvnFY} 18.8 3D Plots in Scripts 359 -oi@1g@ 18.9 注释 360 y*!8[wASHq 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 *^:s!F 18.11 一个更高级的脚本 362 S2
MJb 18.12 <esc>键 364 Ctbc!<@o 18.13 包含文件 365 rP IAu[],g 18.14 脚本被优化调用 366 WsW] 1p 18.15 脚本中的对话框 368 {7Hc00FM 18.15.1 介绍 368 nd"$gi 18.15.2 消息框-MsgBox 368 " ~q~)T1Z 18.15.3 输入框函数 370
@<koL 18.15.4 自定义对话框 371 |3BxNFe`% 18.15.5 对话框编辑器 371
0:$pJtx" 18.15.6 控制对话框 377 e4FR)d0x 18.15.7 更高级的对话框 380 <B!DwMk;. 18.16 Types语句 384 K"zRj L+ 18.17 打开文件 385 ;Kh?iqn^ 18.18 Bags 387 0nZQ"{x 18.13 进一步研究 388 <Qt9MO`a 19 vStack 389 AWg'J 19.1 vStack基本原理 389 6Zx5^f(qd 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 9W&nAr 19.3 五棱镜 393 9\uBX.]x 19.4 光束距离 396 h-\Ov{~ 19.5 误差 399 a7aj:.wi 19.6 二向分色棱镜 399 3`;1;T2$B 19.7 偏振泄漏 404 T(Ji%S> 19.8 波前误差—相位 405 6?a z 19.9 其它计算参数 405 S
R s 20 报表生成器 406 )hC3'B/[Y 20.1 入门 406 3R%yKa# 20.2 指令(Instructions) 406 na@Go@q 20.3 页面布局指令 406 v8zO Y#? 20.4 常见的参数图和三维图 407 :3{n(~ 20.5 表格中的常见参数 408 HX ,\a` 20.6 迭代指令 408 }*S`1IWMj 20.7 报表模版 408 In8{7&iVO 20.8 开始设计一个报表模版 409 |l@z7R+4* 21 一个新的project 413 ;*hVAxs1 21.1 创建一个新Job 414 0"Zxbgu) 21.2 默认设计 415 X^rFRk 21.3 薄膜设计 416 YF>15{H 21.4 误差的灵敏度计算 420 (\nEU! Y 21.5 显色指数计算 422 K+~1z>& 21.6 电场分布 424 DVf}='en8 后记 426 /qFY$vj 对书籍感兴趣可以加工作号微信18019382784
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