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时间地点 "kt7m
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） NxH%%>o>
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 4 J9Y
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 T*k{^= 6"!
课程时长：2 天 (CA V Oed
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 =f=> buD
课程讲师：讯技光电工程团队 v*y,PY1*
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) M;g"rpM
课程简介： /.m x\_$
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 L$Xkx03lz>
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 Ng&K5 Z/
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 gT fA]
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 c[6<UkH7
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微
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观成像的一体化软件开发能力。 ?S)Pv53>}
课程大纲： n Fwg pT
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 ZjK'gu8*
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 'eQ*?a43
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A{R0@
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 ^6UE/4x!y
⚫ d<_IC7$u>
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 R -Tf9?)
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 Np
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⚫ xs)SKG*
基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 ]o9^?iU]
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 -<\hcV`&
⚫ Zh:@A Fz:R
用于光学表面测量的菲索干涉仪 KjV1->r#
⚫ cW{ Bsr
切尔尼-特纳光谱仪的仿真 [r1 \FF@v,
⚫ P1q nU
Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 #9(iu S+BU
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） {bNKyT
⚫ *]S&V'Di
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 B%co`0$
⚫ .A6Jj4`-
晶圆两侧光栅图案的成像 Wh?3vZ^
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 C oe%R(x5
⚫ t] G hONN
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 ]1bN cq2I
⚫ 0@ jhNtL
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 d r=h;[Q'
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 OLJ|gunA#
⚫ %\ !3tN
显微镜系统的设计 =W'{xG}
⚫ V(!-xu 1,
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 & ~N@M!`Dn
⚫ enQev?8%
荧光显微镜的彩色效应分析 ;0 9~#Wop
⚫ Tml>>O
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 JW=P} h
⚫ Z&Z= 24q_
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF X./7b{P ax
⚫ V%w]HIhq
显微镜系统中来自光圈的衍射 X|p Ow,"
5. 光学系统的公差分析 &Ht5!zuW,
⚫ U NescZ
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 ?wj1t!83
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 X=X
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 5cSqo{|En
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
