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时间地点 kOuQR$9s
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） > 'K QL?!F
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） q&wXs /$a
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 Ti9cN)lq&
课程时长：2 天 0<S(zva7([
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 U_,K_6vj
课程讲师：讯技光电工程团队 C(*)7|
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课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) r\66]u[
课程简介： (gv
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本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 zuZlP
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 QWGFXy,=1
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 P%Ux-0&
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 >(HUW^T/9z
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 $pGk %8l%
观成像的一体化软件开发能力。 L:F:ZOM6`
课程大纲： =<[ZFO~v
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 SB[,}h<u1
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 Gu _Rf&:
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VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 8Lpy `He
⚫ Z vO:!u0+"
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 9? W38EF
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 a[8_ O-
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 ptuW}"F
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 O_PC/=m1@
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 v u.f B4
⚫ ~ +$l9~`{
切尔尼-特纳光谱仪的仿真 /(nA)V( :
⚫ |E]YP~h
Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 n{Mj<\kL
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） &,&oTd .
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 i,,>@R
⚫ 4p~:(U[q
晶圆两侧光栅图案的成像
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⚫ %] Nz54!
激光共聚焦扫描显微镜成像分析 8 LwbOR"
⚫ s}9aZ
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 _bks*.9}3b
⚫ Phgn|
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 uYMW5k_,>
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 F M 7N|]
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显微镜系统的设计 n5]<|>U vx
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 5#f&WL*U@
⚫ \aUbBa%!
荧光显微镜的彩色效应分析 IW1]H~1w
⚫ +-~;?wA
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 (lPNMS|V
⚫ 1= (i{D~
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF ?\#4`9
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显微镜系统中来自光圈的衍射 Il; 's
5. 光学系统的公差分析 c*1x*'j.
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 ^L C5 orO
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 \K? ./*
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 cW GU?cv}
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
