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时间地点 % scQP{%aD
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） >Ms_bfSK
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） /3Cd P'c
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 t[b@P< F
课程时长：2 天 eLN[`h J
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 n_46;lD
课程讲师：讯技光电工程团队 A7s va@}W
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) Rln@9muXA
课程简介： s, ;L6nX"
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 PZ O8< d
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 6gJc ?+
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 &cB +la\_
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成
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像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 CeW}z kcT
观成像的一体化软件开发能力。
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课程大纲： EMMp4KKOx+
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 ?4MZT5 .
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 LFPYnK
⚫ =1Tn~)^O
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 jin XK
⚫ m15> ^i^W
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 #EX NS r
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 k2Z MDU
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 n% ={!WD
⚫ T{mIk p<
OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 VfJdCg_
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 5WU ? Km
⚫ yh"48@L'D
切尔尼-特纳光谱仪的仿真 uE:`Fo=y
⚫ jK-usn
Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 : tcqb2p
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） QN OA66
⚫ :ej`]yK |
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 ,ku3;58O<
⚫ $%0A#&DVh
晶圆两侧光栅图案的成像 ^D O Q+
⚫ C &-]RffA
激光共聚焦扫描显微镜成像分析 8c0ugM
⚫ <;':'sW
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 X CQPVSh
⚫ gaxxB]8
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 <Z\j#p:
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 a&s&6Q|Y
⚫ 5R /k8UZ
显微镜系统的设计 /F7X"_(H
⚫ X UcM~U-
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 W" l dQ
⚫ hxx` f-# =
荧光显微镜的彩色效应分析 HC/?o0
⚫ 25/OV"Z
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 i $;y
⚫ j<C p&}X
高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF =>,X)+O
⚫ *-.,QpgTX
显微镜系统中来自光圈的衍射 d2[R{eNX=
5. 光学系统的公差分析 >*S ;z+!&
⚫ u[?M{E/HU
考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 f T
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 n>i}O!agg
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 L#9g ~>~
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
