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时间地点 cP/( h
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） +W>tdxOh
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） QQHC
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授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 ~c1~) QzZ
课程时长：2 天 :i ?c
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室
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课程讲师：讯技光电工程团队 _["97 >q
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) g5Hsz,x
课程简介： z9#jXC#OdN
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 P#A|Pn<p
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 Eh_[8:dK
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 ";0-9*I
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 E\}Q9, Z$
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 WWTJ%Rd|
观成像的一体化软件开发能力。 S Ld9-N}T
课程大纲： A@ k=Mk
1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 I#p-P)Q%S
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 L?y,xA_
⚫ v#IZSBvuQK
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 Ug O \+cI
⚫ B T{({ 3
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 v:j4#pEWD
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 \}qv}hU
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 ]Ot l(\v(h
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 }S&SL)
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用于光学表面测量的菲索干涉仪 XlNB9\"5
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 l}c<eEfOy"
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） & l|B>{4v
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半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 |b7>kM}"
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晶圆两侧光栅图案的成像 <~8W>Y\m
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激光共聚焦扫描显微镜成像分析 L,X6L @ Q
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大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 pK1 (AV'L
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晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 CGg6n CB
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 eaiz
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显微镜系统的设计 cRfX
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通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 y.oJzU[p%
⚫ Y2D ) $
荧光显微镜的彩色效应分析 C,z]q$4
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高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 F RF}V@~
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF Vis?cuU/
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显微镜系统中来自光圈的衍射 0UB'6wRVo
5. 光学系统的公差分析 Tp6ysjao
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 ^
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 u1kbWbHu(
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 hg>YOf&RG
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
