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时间地点 &RP}w%I1
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） Ft)Z'&L
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） pt!Q%rXm
授课时间：2026 年 5 月 21 日（四）-5 月 22 日（五）AM 9:00-PM 16:00 t9 Nu4yl
课程时长：2 天 k-LT'>CWl
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 %V CfcM}5I
课程讲师：讯技光电工程团队 0y3< Ho,+$
课程费用：4800RMB/1人次(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) <XHS@ |
课程简介： d$G<g78D
本课程聚焦于利用 VirtualLab Fusion 先进的光之数字模型平台，解决光学检测与精密成像 gAY%VFBP0
系统的核心设计挑战。课程将系统进解如何对干涉仪、光谱仪等光学检测系统进行高精度建 8zRb )B+
模与性能评估:深入探讨精密成像系统(如晶圆检测、高 NA 镜头)的像质优化;并专门涵盖显微 ]%y~cq
镜系统(包括荧光、共聚焦及超分辨显微技术)的完整物理光学仿真，以研究行射极限、三维成 yT>t[t60/S
像特性及荧光处理等关键问题。通过结合理论讲解与软件实战，学员将掌握从宏观检测到微 s\`Vr;R:|
观成像的一体化软件开发能力。 Uq,M\V \
课程大纲： _uO#0
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1. VirtualLab Fusion 光之数字模型平台 ; YaR|)B
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光之数字模型平台在精密系统检测方面的工作原理 x,Cc$C~YP
⚫ Ohm>^N;
VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 I@=h|GM
⚫ k "P2J}4eO
VirtualLab Fusion 中非序列追迹的通道配置 bw7!MAXd
2. 典型光学检测系统建模与性能验证 T$]2U>=<J
⚫ ?CS
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基础迈克尔逊干涉仪建模仿真 6Upg\(
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OCT 系统仿真-光学相干层析扫描干涉仪 /S;o2\
⚫ NEO~|B*oDU
用于光学表面测量的菲索干涉仪 g[;iVX^1&
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切尔尼-特纳光谱仪的仿真 J1<fE(X
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Mirau 干涉仪系统分析-显微干涉检测 h6x+.}}
3. 高端精密成像系统（半导体 / 工业检测方向） bE>3D#V<
⚫ B>?Y(" E
半导体晶圆微结构缺陷检测光学系统 U!a"r8u|8q
⚫ v%< _Mh
晶圆两侧光栅图案的成像 >* } qGk
⚫ ~~1~ _0?e
激光共聚焦扫描显微镜成像分析 LbR/it'}
⚫ 8"LaP3U
大数值孔径聚焦中的粒子散射与反射 +$>ut
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⚫ nu0bJ:0aLd
晶圆多层膜厚非接触式光学测量仿真 F'CUkVC0~P
4. 先进显微镜系统的物理光学级仿真 ,P" R.A
⚫ *gz {:}NX
显微镜系统的设计 xdo{4XY^*W
⚫ 0acY@_
通过瑞利判据对显微镜物镜进行分辨率研究 QrA8 KSLC
⚫ h.=B!wKK
荧光显微镜的彩色效应分析 G0s:Dum
⚫ Br~%S?4"o
高 NA 傅里叶显微镜单分子成像 gy =`c MS@
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高 NA 显微镜系统分析偶极子源的 PSF r3j8[&B"
⚫ j [U0,]
显微镜系统中来自光圈的衍射 8e\v5K9
5. 光学系统的公差分析 J#x91Jh
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考虑加工公差下的倾斜光栅鲁棒性优化 {hg$?4IyQ
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镜头粗糙度对 PSF 的影响 x b0+4w|
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衍射光学元件的加工圆角和高度公差分析 zBs7]z!eP
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
