时间地点 # d<|_
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） 3Agyp89}Q
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） z;?j+ZsdH
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） [c lwmx
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 ]T&d_~l
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 kwqY ~@W
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) hg:$H9\%
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课程简介： VXlAK(
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 ?Bl/bY$*h
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 NZ0 ?0*
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 ywk RH
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 ;< ;~;od*/
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 wf1p/bp f
础即可参与学习。 w
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本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 + A^|aQ
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， {IvA 5^
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 F |R7hqf
课程大纲： ,c0LRO
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 uFb
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➢ 光之数字模型平台原理介绍 U 8p %MFD
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 ]h&1|j1
2. 衍射光学元件设计与优化 jN 'h/\
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 Bd)Cijr
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 Lfdg5D5.P
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 ;"ESN)*|i
➢ 衍射光学元件分束设计优化 km][QEXs%
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 H~m p*S
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 Ctn? O~u
➢ 衍射光学元件加工文件导出 e= s85!
3. 周期性微纳结构的优化设计 m[iQ7/
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 ;UUgqX#
➢ 微透镜阵列仿真 HRjbGc|[
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 A+frKoi
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 HB$?}V
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 l?rLadvc
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 Rm79mh9
4. 超表面微纳结构 vdQ#C G$/
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 >SL mlK
➢ 超光栅的构建 ^,t@HN;gA
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 &Td)2Wt
➢ 设计和分析超透镜 sf[|8}(
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 )8eb(!}7
5. 微纳加工工艺方案 HwZl"!;Mry
➢ 微纳加工完整流程概述 W[qy4\.B
➢ 灰度曝光/直写技术 r}^1dO
➢ 刻蚀类工艺 b S gbvnJ
➢ 其他辅助工艺 SdYb T)y
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 oWLP|c~ Ap
6. 微纳结构的表征 QxxPImubB
➢ 微纳结构面型检测 nnN$?'%~6
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第一天 ]jn1T^D'
第二天 /\uopa
上午 ^G o,HiB
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 @9n|5.i
2. 衍射光学元件设计与优化 $F9w0kz:,*
3. 周期性微纳结构的优化设计 v_pe=LC{-e
4.超表面微纳结构 /]j{P4
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2. 衍射光学元件设计与优化 8 l)K3;q_
3. 周期性微纳结构的优化设计 <uJ
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5. 微纳加工工艺方案 C4`&_yoP4-
6. 微纳结构的表征 $d]) >4eQ
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
