时间地点 du_4eB
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） '#.# $8l
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） d| lpe c
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） 3TS_-l
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 g9 ~]s 9
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 cj$d=k~
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) Dvc&RG
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课程简介： r@kP*
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 l1'6cLT `
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 sOpep
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 S\=1_LDx"
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 AXPMnbUS
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 Ln!A:dP}c-
础即可参与学习。 \)/yC74r7(
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 cBXWfv4
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， M{mSd2
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 oM1Qh?
课程大纲： NxA)@ 9Q
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 Iz@)!3h
➢ 光之数字模型平台原理介绍 mJ}opy!{;
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 >V$ Gx>I
2. 衍射光学元件设计与优化 Qk9 76
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 !mM pb/&&S
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 \ck+GW4&
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 g(|{')8?d
➢ 衍射光学元件分束设计优化 6"f}O<M 5H
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 yuhnYR\`m
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 &l dBv_
➢ 衍射光学元件加工文件导出 ye}p ~ &
3. 周期性微纳结构的优化设计 0#*Lw }qi
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 -E4XIn
➢ 微透镜阵列仿真 r^,<(pbd
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 jMNU ?m:
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 DA&?e~L&H
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 XB59Vm0E=
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 p< "3&HA
4. 超表面微纳结构 "vZ!vt#'Y
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 $~;D9
➢ 超光栅的构建 OTDg5:>
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 ^Yj xeNY
➢ 设计和分析超透镜 \QE)m<GUe
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 \>QF(J [8
5. 微纳加工工艺方案 Xx:F)A8 O
➢ 微纳加工完整流程概述 .iX# A<E}
➢ 灰度曝光/直写技术 }a
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➢ 刻蚀类工艺 d5 7i)=
➢ 其他辅助工艺 *3/T;x.
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 e [_ m< e
6. 微纳结构的表征 sZGj"_-Hzu
➢ 微纳结构面型检测 PjA6Ji ;Hu
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第一天 >K9#3
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第二天 b` Hz$8
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1. VirtualLab Fusion 软件介绍 a ]
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2. 衍射光学元件设计与优化 OyV<u@[i
3. 周期性微纳结构的优化设计 0sca4G0{
4.超表面微纳结构 :0 & X^]\
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2. 衍射光学元件设计与优化 YQJ==C1
3. 周期性微纳结构的优化设计 h\v'9
5. 微纳加工工艺方案 ;2' q_Btk4
6. 微纳结构的表征 .
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
