时间地点 0 +LloB
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） 0B/a$NC
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） cU|jT8Q4H
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） cyg>h X{U
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 )A=g# D#
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 +9CU nRv
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) q(^J7M)
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课程简介： qCN7i&k,
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 o #/iR]3
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 sb.SpF>
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 Dj"=kL0
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 : PkZ(WZ9
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 |3ETF|)?
础即可参与学习。 _B FX5 ifK
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 l&xD3u^G
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， k]pD3.QJ
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 x`i`] 6q
课程大纲： XtdLKYET
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 e8<nP t`C
➢ 光之数字模型平台原理介绍 #SNI
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➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 o1+]6s+j}
2. 衍射光学元件设计与优化 uiA:(2AQ
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 ',Pk>f]AB-
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 ^I?y\:.
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 Q}]kw} b
➢ 衍射光学元件分束设计优化 i]%"s_l
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 t'x:fO?cp
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 6qpV53H
➢ 衍射光学元件加工文件导出 tuV?: g?
3. 周期性微纳结构的优化设计 (`?
snMc
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 5zna?(#}
➢ 微透镜阵列仿真 l?_!eA
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化
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➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 b)^ZiRW``
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 {
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➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 n3j h\
4. 超表面微纳结构 } /3pC a
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 Q.dy
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➢ 超光栅的构建 >I~z7 JS
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 ^T6!z^g1h
➢ 设计和分析超透镜 8w?\_P7QA
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 i9U_r._qj;
5. 微纳加工工艺方案 wN hR(M7
➢ 微纳加工完整流程概述 8lSn*;S,
➢ 灰度曝光/直写技术 dU^<7 K:S
➢ 刻蚀类工艺 g_c)Ts(
➢ 其他辅助工艺 \&)W#8V
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 `h5eej&s(
6. 微纳结构的表征 ~U6YN_W
➢ 微纳结构面型检测 v/.h %6n?
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第一天 m>dcb
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第二天 05I39/T%
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1. VirtualLab Fusion 软件介绍 aW-o=l@;
2. 衍射光学元件设计与优化 AeCG2!8^0
3. 周期性微纳结构的优化设计 _D,f 4.R
4.超表面微纳结构 }Rxg E~ F
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2. 衍射光学元件设计与优化 @EOR] ^?!]
3. 周期性微纳结构的优化设计 e0WSHg=6@
5. 微纳加工工艺方案 6cT~irP
6. 微纳结构的表征 x$ J.SbW
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
