[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 I/'jRM  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） Zo&U3b{Dy  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） ;>YJ}:r"\  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） 61wGIN2,  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 {cG&l:-r  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 8cW]jm  
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) w1iQ#.4K_  
`@Qq<T}V  
课程简介： >B3_P4pW9  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 aFl(K\  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 #%E~IA%  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 Q4Cw{2r  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 Pw+cpM8<  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 t4
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础即可参与学习。 7j@TW%FmV\  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 Qy9#(596  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， q`qbaX\J3  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 uS<&$J
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课程大纲：  okfhd{9  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 .Z9Bbab:  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 m@TU2  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 [dUW3}APV  
2. 衍射光学元件设计与优化 U${dWxC  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 1k;X*r#  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 t&-7AjS5  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 A2htD!3  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 _%.atW7  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 G0<m3 Up  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 cp]\<p('A  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 V<(cW'zA/  
3. 周期性微纳结构的优化设计 Z(CzU{7c  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 ?L7z\b"_~  
➢ 微透镜阵列仿真 bY]aADv\  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 KZ&8aulP  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 _W&.{ 7  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 d+z8^$z"  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 *y u|]T  
4. 超表面微纳结构 3rOv j&2  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 _>*TPlB  
➢ 超光栅的构建 UKn>.,  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 \iO ,y:  
➢ 设计和分析超透镜 VYik#n>|Gp  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 7)<&,BWc  
5. 微纳加工工艺方案 qJrK?:O;  
➢ 微纳加工完整流程概述 [&
"`2n  
➢ 灰度曝光/直写技术 >~2oQ[n  
➢ 刻蚀类工艺 T&cf6soo  
➢ 其他辅助工艺 C+jlIT+  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 _@SC R%  
6. 微纳结构的表征 PWmFY'=  
➢ 微纳结构面型检测 @2Z{en?  
8,=,'gFO  
第一天 -PoW56  
第二天 ~xkcQ{  
上午 r ",..{  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 D8G5,s-.  
2. 衍射光学元件设计与优化 RQ!kVM@  
3. 周期性微纳结构的优化设计 MBp%TX!  
4.超表面微纳结构 ;",W&HQbE  
下午 2w+w'Ag_R  
2. 衍射光学元件设计与优化 |!,;IoZ  
3. 周期性微纳结构的优化设计 h b_"E, `F  
5. 微纳加工工艺方案 k_/*>lIZY  
6. 微纳结构的表征 =YOq0  
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784