[培训]基于 VirtualLab Fusion 的微结构仿真设计与加工技术（光栅、超表面、 蛾眼结构的仿真与加工技术） [复制链接]

时间地点 xa+=9=<AQ  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） :o$k(X7a  
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） pR6mSfer  
课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） !d Ns3d  
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 'p3JYRT$  
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 m
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课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) _;baZ-  
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课程简介： r;}%} /IX  
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 =6FA(R|QU  
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 .U.Knn  
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 WGwpryaya  
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 eUP.:(E  
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 Fc{M N"  
础即可参与学习。 wc?`QX}I  
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 64]_o/u5W4  
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， W
k1o H  
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 1?:/8l%V  
课程大纲： d/I,`  
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 W"j&':xD  
➢ 光之数字模型平台原理介绍 gaFOm9y.e  
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 >bQ'*!  
2. 衍射光学元件设计与优化 `[) awP  
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 3 !W M'i  
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 ZDHm@,d  
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 +<#0V
!DM  
➢ 衍射光学元件分束设计优化 }HdibCAOf  
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 }>`rf{T  
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 "^/3?W>  
➢ 衍射光学元件加工文件导出 )fPN6x/e  
3. 周期性微纳结构的优化设计 }N@8zB~X  
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 XMt)\r.  
➢ 微透镜阵列仿真 4:1URhE  
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 ?T.'  q  
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 sa8Q1i&%  
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 IRWVoCc9/\  
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化
?@n, 9!  
4. 超表面微纳结构 B?bdHO:E~  
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 D==C"}J  
➢ 超光栅的构建 lX g.`  
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 -8Z;s8ACo  
➢ 设计和分析超透镜 >;wh0dBe  
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 bF_SD\/  
5. 微纳加工工艺方案 "{TVd>9_  
➢ 微纳加工完整流程概述 @\ udaZc  
➢ 灰度曝光/直写技术 ~w Ekbq=  
➢ 刻蚀类工艺 4MM
/i}  
➢ 其他辅助工艺 CEQs}bz  
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 b!lS=zIN  
6. 微纳结构的表征 '!\t!@I$  
➢ 微纳结构面型检测 sVT:1 kI  
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第一天 =}F}XSvXH  
第二天 c&>S  
上午 _
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1. VirtualLab Fusion 软件介绍 eMHBY6<~=  
2. 衍射光学元件设计与优化 T?lp:~d  
3. 周期性微纳结构的优化设计 msf%i!  
4.超表面微纳结构 _bsAF^ ;  
下午 7{W#i<W  
2. 衍射光学元件设计与优化 Bp:PAy  
3. 周期性微纳结构的优化设计 g \;,NW^  
5. 微纳加工工艺方案 Fy#y.jK9v  
6. 微纳结构的表征 ~<.%sVwE  
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784