时间地点 4eL54).1O
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：讯技光电 INFOTEK） PG[O?l
苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） A<X :K
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课程时间：2026/5/19（二）-5/20（三） dQ`ZrWd_U
课程地点：上海市嘉定区南翔银翔路 819 号中暨大厦 18 楼 1805 室 !_H8Q}a
课程讲师：讯技光电工程团队及资深顾问 NG!cEo:2aa
课程费用：4800RMB/1人次(包含课程材料费、开票税金、午餐费) r9a! ,^}F
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课程简介： _QUu'zJ
微结构元件作为现代光学系统的核心组成部分，应用广泛，其设计精度与加工质量直接 as |c`4r\O
影响器件性能。本课程借助光之数字模型平台 VirtualLab Fusion，结合多种仿真算法，开展 qs1 .@l("
各类微结构的仿真设计与性能优化教学。 bW .zxQ :
课程涵盖衍射光学元件、光栅、超表面等多种微结构类型，包括蛾眼减反射表面、偏振 To{G#QEgG
无关光栅、超构透镜等，涉及结构建模、参数优化、性能验证等核心环节，无需深厚软件基 "q>I?UcZ
础即可参与学习。 pMZf!&tM
本课程讲解 VirtualLab Fusion 在微结构仿真中的应用方法，为微结构加工提供可靠的仿 :Z]hI+7
真支撑与理论依据。加工方面主要介绍微纳加工工艺选型、加工参数把控及质量检测等内容， 3/IWO 4?_
呈现微结构从仿真设计到实际加工的完整技术思路。 h)l&K%4;
课程大纲： fQTA@WAr
1. VirtualLab Fusion 软件介绍 D)ne *},
➢ 光之数字模型平台原理介绍 xnuv4Z}]t
➢ VirtualLab Fusion 用户界面的基础操作 p2c=;5|/ Q
2. 衍射光学元件设计与优化 ecqz@*d&
➢ VirtualLab Fusion 自由空间传播方法 O-!fOdX8_k
➢ 迭代傅里叶变化及角谱方法 XvkI +c
➢ 将高斯光整形成矩形平顶光束的设计优化 ;n7|.O]*
➢ 衍射光学元件分束设计优化 q|$>H6H4b
➢ 生成图案的衍射扩散器设计 !0csNg !
➢ 基于薄元近似的实际结构与公差分析仿真 } .H Fm'p
➢ 衍射光学元件加工文件导出 $ X=D9h
3. 周期性微纳结构的优化设计 t6g)3F7 T
➢ 傅里叶模态法（Fourier Modal Method）仿真 CBno uKc:
➢ 微透镜阵列仿真 :n>ccZeMv
➢ 蛾眼减反射表面的建模和仿真优化 ,dj* p ,J
➢ 闪耀光栅与倾斜光栅的设计优化与公差分析 xAd>",=~
➢ 提高光栅衍射级次效率的光栅优化设计 P2Qyz}!wo
➢ 大角度分束衍射光学元件的设计优化 e(; `9T
4. 超表面微纳结构 V3A>Ag+^~
➢ 超构表面偏振/波长/角度响应分析 +x9"#0|k;
➢ 超光栅的构建 $sL|'ZMbS
➢ 基于神经网络的超构透镜设计 8K JQ(
➢ 设计和分析超透镜 [' OCw {<
➢ 基于超构透镜（PCA）实现聚焦与成像 @U
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5. 微纳加工工艺方案 Bpm5dT;
➢ 微纳加工完整流程概述 F`BgKH!
➢ 灰度曝光/直写技术 ]D) ' I`
➢ 刻蚀类工艺 Y9@dZw%2
➢ 其他辅助工艺 X !#i@V
➢ 典型微纳结构加工全流程实例 . xLF}{u
6. 微纳结构的表征 `k}l$ih`X
➢ 微纳结构面型检测
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第一天 I~]Q55
第二天 7tfivIj)e
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1. VirtualLab Fusion 软件介绍 BheEI;}
2. 衍射光学元件设计与优化 Zu0;/_rN
3. 周期性微纳结构的优化设计 `J=1&ae {
4.超表面微纳结构 |:e|~sism
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2. 衍射光学元件设计与优化 4$?w D <
3. 周期性微纳结构的优化设计 :B*vkwT
5. 微纳加工工艺方案 C7jc 6(> m
6. 微纳结构的表征 ;la#Vf:]
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有兴趣学习的朋友请联系工作号微信18019382784
