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摘要 mS~3 QV !xo@i XL 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 b&~uK"O'7d jZv8X5i 设计和建模任务 >K\ 79<x| d;#9xD'
8gC(N3/E" QHs=Zh;" 导入现有结构文件 GWE`'V oU~V0{7g NkO$
M 平面波 ^ioTd 波长(486,587,656)nm \yG_wZs 视场角(40°) =r0!-[XCa x方向线偏振光 flLmZ1" zm8m J2s ?7&VT1 衍射透镜 '&<-,1^L 波前相位相应 Wq{' ZN 真实衍射器件结构 McsqMI6 ]Vwky]d
/v!H{Zw=c KktTR`W 离焦 !Rb7q{@>
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T3 彗差 t#pY2!/T3 3:;%@4f
'6WDs]\ Mvcl9 二阶彗差 HdnSs0/ }bnkTC
mMjVbeh[ }E1Eq 三叶草像差 33;|52$ EEo+#
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