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摘要 &q1(v3cOO {@g3AG% 不同类型的波前像差对焦点上的特征有单独的影响。因此,能够详细研究这些影响是至关重要的,例如,评估成像系统的性能。在VirtualLab Fusion中,可以产生不同的波前像差,并方便地研究其对焦斑分布的影响。作为例子,我们选择了几个典型的像差(球面、彗差、像散、……),改变它们的数值,并计算相应的焦点分布。 UV)[a%/SB& U
jVo "K 设计和建模任务 tr7FV1p NFY,$
MUz.-YRt {.SN 导入现有结构文件 dW;{,Q JI )+ a}#[mw@m= 平面波 oe`oUnN 波长(486,587,656)nm eB/3MUz1 视场角(40°) s`Z(f:/6* x方向线偏振光 eJE?H] eOy{]<l3 8gJ"7,}-' 衍射透镜 kP%'{ 波前相位相应 )!3XM 真实衍射器件结构 bjPI:j*XU Kr=DoQ."d8
7u,56V?X ;z#D%#Ztq 离焦 xBG&ZM4"^f o; 6\
\% &QIe;:k $ePAsJ 球差 1>bkVA L|S#(0
{~16j" $q
DH 像散 "KOLRJ@ ,f$A5RN
J[L$8y: ~Ht[kO 彗差 6 )0$UW vkE6e6,Qc
^qiTO`lg dSsMa3X[n 二阶彗差 T9{94Ra vb9G_Pfz
#1z}~1- '68{dyFZL 三叶草像差 +
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V5K`TC^ mY(~94{d VirtualLab Fusion 技术 *`ji2+4Sjw (8@._
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