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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 8,kbGlSD  
    iZ_R oJ  
    %Yd}},X_E  
                                                             K90Zf  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 *FG@Dts^&  
                                                                 2d1'!B zDA  
    建模任务                                                         zlFl{t  
    OWq~BZ{  
     jq =-Y  
    cwpDad[Kx  
    光栅元件   D=dY4WwG  
    Ke 'bH  
                                                             Wm3H6o*  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: d[S C1J  
    • FMM/RCWA %FF  S&vd  
    • Diffractive Lens Component \sRRLDj%  
                                                                 /!%P7F  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ~:+g+Mf~[  
    c\;} ov+  
                                                         4AF" +L  
    h+*  
    正弦光栅-传输相位形态     ?94da4p  
    =#+Z KD  
                                                         b]Z@zS<8  
    F48`1+  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         JBWiTUk  
    @cjhri|vH  
     ]j{S' cz  
    s;5PHweWf  
    正弦光栅-衍射效率 8^4X/n  
    ;UWdT]>!?  
                                                                 YJ75dXc&&  
    -rH3rKtf~  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       {yG)Ii  
    U7ajDw  
           *#2`b%qh\M  
    WVo%'DtF`  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   r!x^P=f,MJ  
                                           4&$G;?#W2  
    U9N}6a=  
                                                                 'Y&yt"cs  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) FlkAo]  
    o oS4F1ta  
                                                               L g%cVSz/C  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         +T4<}+n  
    <R !qOQI  
    b(XhwkGVq  
     gK%&VzG4  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Ak9W8Z}  
    x?j&Jn_@w  
     3PJ  
                                                                 h+Z|s  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         e3Lf'+G\  
    goHr# @  
     >2v_fw  
                                                                 6%yr>BFtVV  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         JT:9"lmJz,  
    WQ*$y3%  
     UPgZj\t%{  
                                                                 r^\^*FD |  
    VirtualLab Fusion技术   <4! w2vxG  
    GUcuD^Fe  
                                                             IC{>q3  
    (JM4W "7'  
     
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