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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 l$&~(YE f  
    v82wnP-~7  
    p=:Vpg<!  
                                                             !hq2AY&H)  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 *|S6iSn9R!  
                                                                 l L;5*@  
    建模任务                                                         |^l_F1+w  
    o,WjM[e  
     bVzi^R"  
    '?Dxe B  
    光栅元件   ;~<To9O  
    _e@8E6#ce  
                                                             >g<Y H'U{  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: B,\VLX  
    • FMM/RCWA x.-d)]a!  
    • Diffractive Lens Component Wa|V~PL+T  
                                                                 ~uc7R/3ss  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       d 5yEgc;z  
    ZMQ=D!kT  
                                                         l$/pp  
    2yK">xYY@  
    正弦光栅-传输相位形态     Y]SF0:v!n  
    'O(=Pz  
                                                         VVDN3  
    j"nOxs  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         ?:wb#k)Z/  
    ,*iA38d.!  
     KzVi:Hm  
    ;Xt <\^e  
    正弦光栅-衍射效率 8NHm#Z3Ol  
    0<%$lr  
                                                                  )bF l-  
    l?*DGW(t{  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       a%r!55.   
    >IIq_6Z#  
           gko=5|c,@  
    .j:,WF<"l5  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   +b-ON@9]J`  
                                           ]B3](TH"  
    [1vm~w'  
                                                                 !ekByD  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) 59oTU  
    7z$Z=cs  
                                                               R@K\   
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         6nk }k]Ji  
    SxY z)aF~  
    K+`GVmD  
     ? uYO]!VC  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         4 "2%mx:  
    sYS 8]JU  
     \( s `=(t  
                                                                 =c@hE'{  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                          Lw\u{E@  
    YcA. Bn|as  
     0ZjT.Ep  
                                                                 h*VDd3[#  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         &|XgWZS5  
    %<>:$4U@]  
     IMWt!#vuY  
                                                                 %"f85VfZ  
    VirtualLab Fusion技术   ]00s o`  
    #1%@R<`  
                                                             ,w~3K%B4  
    Z)|~  
     
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