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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 y QGd<(  
    ?0lz!Nq'S  
    | S'mF6Y  
                                                             1*trtb4F  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 4"\%/kG  
                                                                 9d!mGnl  
    建模任务                                                         -_Kw3x  
    *0<)PJ T  
     Fj"/jdM  
    y43ha  
    光栅元件   c Ze59  
    f5/s+H!  
                                                             M6].V*k'2  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 'p[B`Ft3F  
    • FMM/RCWA f|~X}R  
    • Diffractive Lens Component a TPq1u  
                                                                 j@{dsS: 6  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Wmx3@]<  
    s3 VD6xi7  
                                                         buhbUmQ2  
    K'f2 S  
    正弦光栅-传输相位形态     rU 1Ri  
    DZ9^>`*  
                                                          , YlS  
    ,,lR\!>8  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         {$ v^2K'C  
    2HF`}H)H  
     ?F*I2rt#  
    [.&n,.k  
    正弦光栅-衍射效率 XC O8A\  
    u^W!$OfZpp  
                                                                 ]0W64cuT  
    v7%}ey[  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       '~1Zr uO  
    *eI{g  
           OU!."r`9  
    E0+~c1P-  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   0?O_]SD  
                                           ]EG8+K6  
    7OS i2  
                                                                 po.QM/b \  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) kO$n0y5e  
    @#;*e] 1a  
                                                               @jrxbo;5  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         D|^N9lDaQ  
    >7~,w1t  
    W_,7hvE?"H  
     ^66OzT8A  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         )g }G{9M^  
    `,4@;j<^@  
     E[4 vUnm-  
                                                                 $RUK<JN$6  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         }>V=J aG  
    Gl[1K/,*  
     UT[{NltH  
                                                                 15yiDI o  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         .tQ(q=#  
    -= izu]Fb,  
     <FI*A+I4\  
                                                                 +;M 5Sp  
    VirtualLab Fusion技术   LXPO@2QF  
    0j 8`M"6  
                                                             # s7e/GdKb  
    v>N*f~n  
     
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