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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 ~Hv>^u Mh  
    JZ*.;}"  
    HRjbGc|[  
                                                             ?G!~&  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 z}.6yHS  
                                                                 a j$& 9][  
    建模任务                                                         7:Rt) EE2  
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    光栅元件   *RVCz|0%w  
    Lj#xZ!mQS  
                                                             ' (XB|5  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: #"?pY5 ("  
    • FMM/RCWA HS ]c~  
    • Diffractive Lens Component E i>GhvRM  
                                                                 X%&7-PO  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       #gT"G18/!  
    x- ue1  
                                                         -K(d]-yv  
    kaiK1/W0;  
    正弦光栅-传输相位形态     #Ha"rr46p  
    ={ -kQq  
                                                         x{zZ%_F  
    $F9w0kz:,*  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         v_pe=LC{-e  
    /]j{P4  
     }$L1A   
    8 l)K3;q_  
    正弦光栅-衍射效率 IGVq`Mxj  
    C4`&_yoP4-  
                                                                 Lk@+iHf  
    g\8B;  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       `w`N5 !  
    ~<O.Gu&"R  
           TOKt{`2}  
    mAGD qz>f  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   Mp!1xx  
                                           rw3tU0j  
    EW vhT]<0  
                                                                 #a~BigZ[G  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA)  [ OUV!o  
    W2h4ej\s  
                                                               ; S$  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         qC"`i}7  
    K@%T5M4j  
    m9sck:g#L1  
     1@ &J"*  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         -!qjBK,`X  
    u9~Ncz  
     s_RK x)w@  
                                                                 C;/ONF   
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Qbjm,>H/^  
    | Z2_W/  
     -AD` (b7q  
                                                                 zjcSn7iu  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         `MCtm(<  
    YcwDNsk  
     2dKt}o>   
                                                                 .o]I^3tf c  
    VirtualLab Fusion技术   Q(aNa!  
    n{L^W5B  
                                                             7A'E+>1d  
    L'`Au/%S}  
     
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