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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 b7Jxv7$e  
    !R"W2Z4h  
    $[A\i<#  
                                                             1^4:l!0D  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 D2?H"PH  
                                                                  @Fb1D"!  
    建模任务                                                         %'yrIR  
    .VCY|KZ  
     N+=|WeZ  
    ,|{`(y/v  
    光栅元件   MQQm3VaKS  
    b,E?{uG  
                                                             ;^5k_\  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: {aUnOyX_  
    • FMM/RCWA + cfEyiub  
    • Diffractive Lens Component `8ac;b  
                                                                 N)H "'#-  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       >ESVHPj]  
    gvA}s/   
                                                         rG}e\ziKuj  
    m$fEk,d  
    正弦光栅-传输相位形态     G}fB d  
    <w{?b'/q  
                                                         ?vFy3  
    6O As%QZ  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         }IyF |[  
    ->8Kd1^F  
     `m7<_#Y  
    u^~7[OkE  
    正弦光栅-衍射效率 q(?+01  
    `RL Wr,h  
                                                                 K*SgEkb'l  
    FH+X<  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Io1j%T#ZT  
    m2c'r3UEu  
           ~5f&<,p!  
    YYv0cV{E  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   7$'AH:K  
                                           % i4 5  
    %S`& R5  
                                                                 RdYmh>c  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ;xZ+1 zmL0  
    RbAl_xKI  
                                                               a!9'yc  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         fg^AEn1i  
    Alxf;[s  
    J~m$7T3Af  
     2n:<F9^"  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ?woL17Gt  
    S&_03  
     Vu:ZG*^  
                                                                 CS7b3p!I  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         *;fTiL  
    sbW+vc  
     r#sg5aS7O|  
                                                                 ^kKLi  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         ;@wa\H[3v2  
    WH:dcU   
     1 l,fK)z  
                                                                 rNP;53FtZl  
    VirtualLab Fusion技术   EYT^*1,E*  
    Kh]es,$D  
                                                             kE&R;T`Gb%  
    :Y99L)+=/  
     
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