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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 GZxglU,3T  
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    e);bF>.~  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 B]&Lh~Im  
                                                                  O6M}W_  
    建模任务                                                         wghFGHgw  
    > #Grf)@"6  
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    GGFar\ EzW  
    光栅元件   b'1/cY/!  
    IMl9\U  
                                                        
    xCDA1y;j  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: >cvE_g"?C  
    • FMM/RCWA @5<]W+jk4  
    • Diffractive Lens Component SSSDl$}'t  
                                                                 ~(w=U *  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       Hsd|ka$x>  
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    正弦光栅-传输相位形态     CuV=C Ay>  
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    正弦光栅-传输相位形态                                                         o O{|C&A  
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    1FXzAc(c!  
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    正弦光栅-衍射效率 dQWA"6 ?i  
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    Y_|K,T6Zj@  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       T_YMM'`  
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    ?,+C!R?  
    (e bBH  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   )Rm 'YmO  
                                      
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    ctwhfS|Y0  
                                                                 Qw{\sCH>  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) @+T{M:&l  
    P?3YHa^up  
                                                          
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    闪耀光栅-传输相位形态                                                         7E\K!v_  
    UG^?a  
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    f)ucC$1=  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         !4b; >y=m  
    l/y Kc8^<  
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                                                                 5,=B1  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         !X v2PdP  
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    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Wj f>:\ w  
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    VirtualLab Fusion技术   J!TK*\a2  
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