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摘要 1cRF0MI 5tZ0zr
]\L+]+u~ se=^K#o 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 asLrXGGyT b7T;6\[m 建模任务 $%
gz ,{ PCV#O63[
Q1|zX@, .c__T{<)[ 光栅元件
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8Djki]
Wv;,@xTZ 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: KtH^k&z.f • FMM/RCWA Em5,Zr_ • Diffractive Lens Component L%QRWhB z5Tsu1c 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) b0f6p>~q^ :eJJL,v
X-,oL.:c i1m>|[@k 正弦光栅-传输相位形态 tns8B [^6z>
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kN8B, 正弦光栅-传输相位形态 [?O4l` 84WcaH
I.T?A9Z k.o8!aCm 正弦光栅-衍射效率 4 dLnX3 v *n7=m=%)
-zqpjxU: }HmkTk 正弦光栅-效率vs. 周期 G +41D jWi~Q o+
H-v[ShE <j,3Dn 正弦光栅—选定周期的相位形态 G e]NA]< 7Hgn/b[?b Qzo -Yw`= 1r}i[5 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) {f)aFGp l5&5VC)
:l!sKT?:d! 闪耀光栅-传输相位形态 K\XQE50 <jF&+[*iT CsycR @[ h9<PP2.( 闪耀光栅-衍射效率 &oB*gGRw=7 etiUt~W
FK~wr;[ e@0|fB%2 闪耀光栅-效率vs.周期 %aK[Yvo6 W,Q>3y*
[ij) k@. ^\Q,ACkZb 闪耀光栅-选定周期相位形态 QK0]9 %M'`K
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