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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 (z#qkKL{^  
    4Z,MqG>  
    Bi9 S1 p  
                                                             lo Oh }y+  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 uD_iyK0,  
                                                                 ;mu^WIj  
    建模任务                                                         voEg[Gg4%I  
    :>]= YE  
     CtfI&rb[  
    %N04k8z  
    光栅元件   g?qm >X  
    !ffdeWHR  
                                                             f.4r'^  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: (w}iEm\b  
    • FMM/RCWA u,I_p[`E  
    • Diffractive Lens Component J4&d6[40  
                                                                 ( $A0b  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       1:(qoA:  
    !`JaYUL[e  
                                                         ,3=|a|p  
    %We~k'2f  
    正弦光栅-传输相位形态     x\T 9V~8a  
    W1fEUVj  
                                                         V4PI~"4q#1  
    Dk[m)]w\  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         kr[p4X4  
    ihS;q6ln  
     ;EDc1:  
    ..'k+0u^  
    正弦光栅-衍射效率 ge %ytrst  
    -PPH]?],  
                                                                 >MwjUq  
    aNs~Uad1U  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       p=sL KnLmZ  
    ~gg(i"V  
           l];w,(u{  
    N8S !&*m  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   bis}zv^%v  
                                           Er509zZ,[  
    o_R<7o/d|  
                                                                 2[-@ .gH  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) o}O"  
    <+o*"z\mI  
                                                               n@>h"(@i  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         $=3&qg"!  
    ;r'y/ Y'?  
    b|jdYJbol&  
     ,41Z_h  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         TkHyXOk"Ky  
    0se0AcrW  
     #y;TSHx/  
                                                                 j=c=Pe"?u  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ,t?c=u\5  
    }(tuBJ9  
     4u0\|e@a  
                                                                 /6S% h-#\  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         G4O $gg  
    CWKN0HB  
     yR}PC/>  
                                                                 9)2 kjBeb  
    VirtualLab Fusion技术   wMc/O g  
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