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摘要 eUYZxe :6 T&]Na
O97VdNT8 9p5= _ 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 I[@ts!YD VXiui'/( 建模任务 { AFf:[G Umij!=GPG^
1bd$XnU 2v4W6R 光栅元件 wXz\NGW TFo}\B7
cbfDB^_ 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: >#INEO • FMM/RCWA l/[pEUYU • Diffractive Lens Component &0s*PG / HL_$g< 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) su}&".e^ f#1/}Hq/I
}*h47t} oI*d/* 正弦光栅-传输相位形态 $_wo6/J5+D 0fA=_=A,
B4IBuS v_.HGGS 正弦光栅-传输相位形态 +N7"EROc ?HV }mS[t
oooS s&t dIvy!d2l 正弦光栅-衍射效率 p=H3Q?HJ} ~JLYhA^'+<
@cPflb 7 I@";d8~ 正弦光栅-效率vs. 周期 Yc|uD-y 0 k9<&
EsTB(9c? pcnl0o~ 正弦光栅—选定周期的相位形态 /22nLc;/Cx 7LfcF Z&-tMai; VtWT{y5Ec 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) `UQEXoB) WtVf wC_
zSKKr?{ 闪耀光栅-传输相位形态 O:._W< Ev{MCu1!6 L:pUvcAc? *,&S' ,S- 闪耀光栅-衍射效率 O5M2`6|As F 5U|9<
I>aGp|4 6A?8tm/0 闪耀光栅-效率vs.周期 Z%OW5]q e^8BV;+c
r%|A$=[Q t!:)L+$3 闪耀光栅-选定周期相位形态 lH6fvz cJ2PI
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