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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 6PQJgki  
    c2\rjK   
    nzE,F\k  
                                                             {7Gx9(  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 +Sdx8 Z5  
                                                                 (4{ C7  
    建模任务                                                         pT ocqJ22  
    VNxpOoV=S  
     ;oY(I7  
    \Sq"3_m4T  
    光栅元件   @cS1w'=  
    Fyh?4!/.  
                                                             94'k 7_q  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 7S dV%"  
    • FMM/RCWA =ve*g&  
    • Diffractive Lens Component _8NEwwhc  
                                                                 n$OE~YwP{  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ]4 K1%ZV  
    N&x WHFn]C  
                                                         _,Rsl$Tk'  
    =mi:<q  
    正弦光栅-传输相位形态     S`W'G&bCj  
    VT5cxB<  
                                                         B.Zm$JZ:  
    iBtjd`V*  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         fOK+DT~  
    e$ XY\{  
     q2S!m6!  
    ,{uW8L  
    正弦光栅-衍射效率 "J8;4p  
    m<FWv2)^  
                                                                 =YXe1$ $  
    nI`f_sp  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       XoKO2<3  
    #LN5&i;s  
           Bg 7j5  
    $TD~k;   
    正弦光栅—选定周期的相位形态   AK@`'$  
                                           RVgPH<1X@e  
    LL= Z$U $  
                                                                 |P,zGy  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) B.}_],  
    kvW|=  
                                                               s FQ4O- SM  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         !cEbz b  
    H{\.g=01  
    ` j&0VIU>>  
     0kNe?Xi  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         Z>(r9 R3{  
    "EcX_>  
     *PSvHXNi  
                                                                 sJ))<,e5I  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         3d*&':  
    '%zN  
     AW,v  
                                                                 PGPISrf  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         H&w:`JYDL3  
    7BL |x  
     gk!E$NyE  
                                                                 g$*/ XSr(  
    VirtualLab Fusion技术   jOUK]>ox:  
    _BZ1Vnv  
               N$\ bg|v  
     
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