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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 :rSCoi>K  
    :CGh$d] +  
    CfEACH4_  
                                                             a/TeBx#yG  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 ^*'fDP*  
                                                                 cceh`s=cU  
    建模任务                                                         Ctx{rf_~  
    0S#T}ITm4Z  
     }9~U5UXWU  
    Kr%w"$<  
    光栅元件   CZDWEM}   
    qZYh^\  
                                                             =^mBj?(V7  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 8;$zD]{D1  
    • FMM/RCWA 1 Sz v4  
    • Diffractive Lens Component @n^2UJ  
                                                                 :vJ1Fo!  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ZZrv l4h  
    Q?V'3ZZF!  
                                                         F*p@hl  
    UTVqoCHA  
    正弦光栅-传输相位形态     Kb~i9x&  
    <2t%<<%  
                                                         M a^}7D /  
    Jvr`9<`  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         TT^L) d  
    &0RKNpw g  
     ypWhH  
    8fA8@O}  
    正弦光栅-衍射效率 ?/}-&A"  
    85vyt/.,k  
                                                                 ?X@uR5?{  
    mbXW$E-&R2  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       !@[@&.  
    R c  
           $_O;yz  
    jIjW +D`  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   sI`oz|$  
                                           51 "v`O+  
    q.ZkQN+  
                                                                 q0KGI/5s4+  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) g 9AA)Ykp  
    8iC9xSH[%  
                                                               >6gduD!6I  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         6ag0c&k  
    tZygTvK/S  
    / >O.U?  
     SI/3Dz[  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         WO=P~F<  
    ]%Lk#BA@A  
     ]F sr k  
                                                                 KJW^pAj$B  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         ^zKP5nzL  
    z-m:l;  
     =\g K<Xh  
                                                                 8Ud.}< Zi  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                          t: 03  
    @=qWwt4~  
     2#@-t{\3-p  
                                                                 G \|P3j  
    VirtualLab Fusion技术   ~;@\9oPpz%  
    @5{h+^  
               :?:R5_Nd=  
     
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