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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 Fo3*PcUv  
    {\>4)TA  
    k8 #8)d  
                                                             q^[t</_ N  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 !*l/Pr^8  
                                                                 "dpjxH=xO  
    建模任务                                                         #IH9S5B [  
    e=LrgRy+  
     99OZK  
    9d1km~  
    光栅元件   Y1cL dQn  
    CVO_F=;  
                                                             |5flvkid  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 4Uny.C]  
    • FMM/RCWA CDJ@Tdp  
    • Diffractive Lens Component B~:yM1f@u4  
                                                                 7nPg2K&  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       hp -|a  
    2*snMA  
                                                         |?KYY0  
    +c8`N'~  
    正弦光栅-传输相位形态     '6zZ`Ll9  
    }hy4EJ  
                                                         :s_o'8z7L  
    :uYZ1O  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         co,0@.i  
    cK|Uwzif d  
     M2%@bETJ  
    TX5??o  
    正弦光栅-衍射效率 p7\LLJ y  
    <HnJD/g  
                                                                 @*rMMy 4  
    <^nS%hXEr  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       ]Q FI>  
    KY&Lv^1_|  
           ~Jf(M ^E  
    ^m7y=CJM  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ln_&Ux+l  
                                           aUL7 ]'q}  
    Qw_uwQZ)  
                                                                 >-c?+oy  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) <IWg]AJT :  
    YXo?(T..  
                                                               [%^0L~:  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         ((Av3{05H&  
    \asn^V@"zz  
    wHbmK  
     &wDZ@{h  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         6}Y==GP t  
    *& w/*h$!  
     V|A)f@ Fs  
                                                                 OM.-apzC  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         T}J)n5U}\  
    =m<b+@?T  
     , $!F,c  
                                                                 7x.j:{2  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         %V;* E]  
    4Kt0}W  
     V9/2y9u  
                                                                 T0A=vh;S  
    VirtualLab Fusion技术   mm_)=Ipj>  
    ;a|%W4"  
               K 91O$'J  
     
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