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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 })8D3kzX)  
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    KBi(Ns#+  
                                                             Q7`)&^ Hx  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 <:(;#&<  
                                                                 &B :L9^  
    建模任务                                                         3 P75:v  
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     V*?QZ;hCP  
    'G[G;?F  
    光栅元件   Dg~m}La  
    6ym$8^  
                                                             +MYrNR.p  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: Qru&lAYc<  
    • FMM/RCWA EBWM8~Nm#  
    • Diffractive Lens Component MowAM+?^}  
                                                                 zNGUll$  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       v:!TqfI  
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    正弦光栅-传输相位形态     }/tf^@  
    #CJ ET  
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    F&CvqPI  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         S+Ia2O)BA  
    : maBec)  
     Nv0a]Am  
    DIP%*b#l$\  
    正弦光栅-衍射效率 fwx^?/5j  
    W}7Uh b  
                                                                 U7fNA7#x"  
    ~Sf'bj;(  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       [".94(qs  
    7[L%j;)bw  
           f;+.j/ +  
    3ohHBo  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   7c%dSs6  
                                           M/xm6  
    gs.+|4dv  
                                                                 1NTx?JJfW  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) PxWH)4  
    l  ~xXy<  
                                                               G&Yo2aADR  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         3*{l^<`:gA  
    x~IrqdmW  
    .;U?%t_7  
     S,,Wb &A$  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         cN2Pl%7  
    F }F{/  
     ;$]a.9 -  
                                                                 Mu.oqT  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Q?>*h xzoP  
    o8A8fHl  
     )-iUUak  
                                                                 FyXO @yF  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         AjO{c=d  
    ht+wi5b  
     8MU7|9 Q  
                                                                 "*c&[ALw  
    VirtualLab Fusion技术   <)J@7@!P  
    XfEp_.~JM  
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