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摘要 W1=H8O v-_e)m^
=zKM=qba ?m?::R H 薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 DZPPJ2 } 8eHyL 建模任务 3x'|]Ns X*@dj_,
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# cGop] 4u5-7[TZ 光栅元件 g~A`N=r;h P! #[mio
BeoDKdAwY 通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: l&Q`wR5e • FMM/RCWA -0x
# • Diffractive Lens Component l3I:Q^x@ 4
VW[E1< 正弦光栅-效率vs高度(只用TEA) }oGA-Qc}B 2)HuZda
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DwE[D]7o 正弦光栅-传输相位形态 S2GxV/E F%D.zvKN
^N{h3b8 ~;{;,8!) 正弦光栅-传输相位形态 %.-4!vj iN8zo:&Z
nwRc%C``UK qm8B8&- 正弦光栅-衍射效率 7/@TF/V /zVOK4BqN+
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qwgPk9l 正弦光栅-效率vs. 周期 YvyNHW& co|aC!7
T{ XS")Vw k],Q9 正弦光栅—选定周期的相位形态 HjD8u`qQ _
y8Wn}19f Z!zF\<r BdblLUGK# 闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) $OkBg0 RF4vtQC=
.P%bkD6M 闪耀光栅-传输相位形态 jrr*!^4|
mt p+rr [<6^qla }1i`6`y1 闪耀光栅-衍射效率 ^{;oM^Q' {|_M
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?2{Gn-{ <~'"<HwtK 闪耀光栅-效率vs.周期 qqr?!vem6 Pz |>"'
/dQl)tL QIvVcfM^ 闪耀光栅-选定周期相位形态 {19PL8B~} )SRefW.v
bj0G5dc= m6&~HfwN VirtualLab Fusion技术 \[_t]'p +LZLy9iKt
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