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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 T\~x.aH`^  
     :Gm/  
    ][}0#'/mV  
                                                             X7k.zlH7T  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 gbVdOm  
                                                                 __mF ?m  
    建模任务                                                         *m?/O} R  
    {(r6e  
     7{&|;U  
    cGjPxG;  
    光栅元件   eX@L3BKp  
    N F)~W#  
                                                              H"A7Zo  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: H":oNpfb  
    • FMM/RCWA (#+^&1  
    • Diffractive Lens Component boDt`2=  
                                                                 8M!:N(a  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       *_>Lmm.yh  
    vWAL^?HUP  
                                                         D3|I:Xm  
    <&C]s b  
    正弦光栅-传输相位形态     N-lkYL-%\j  
    ZP{*.]Qu  
                                                         /?SLdW  
    H;RwO@v  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         @S|XGf  
    wI(M^8F_Mf  
     t.mVO]dsj  
    T=ev[ mS  
    正弦光栅-衍射效率 H%D$(W  
    eM8}X[  
                                                                 #U14-^7  
    X&kp;W  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       Bve.C  
    .V,@k7U,V  
           :OuA)f  
    d3xmtG {i  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   #\=FO>  
                                           M3.do^ss  
    \-g)T}g,I  
                                                                 VVlr*`  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) wpN=,&!  
    PUUwv_  
                                                               'dn]rV0(C  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                          094o'k  
    W)bLSL]`E  
    gw!vlwC&T  
     7<*yS310  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ^~etm  
    j:v@pzTD  
     +L;e^#>d  
                                                                 |!4K!_y  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         +{oG|r3L  
    z:wutqru  
     wfH^<jY)E  
                                                                 a^I\ /&aw'  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         #"G]ke1l$  
    NPp;78O0[  
     *_d7E   
                                                                 9P+-#B  
    VirtualLab Fusion技术   9w7n1k.  
    n"c[,k+R`U  
               H*PSR  
     
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