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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 9小时前
    摘要 l!D}3jD  
    Cjn#00  
    wON!MhA;  
                                                        
    ` 'DmDg  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 KjD/o?JUr  
                                                                 }7b%HTF=  
    建模任务                                                         \"7*{L:  
    =Qy<GeY  
    j`{?OYD  
    ^um<bWNc  
    光栅元件   ik)|{%!K]H  
    sA+ }TNhq  
                                                        
    R)c?`:iUB  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: OAgniLv  
    • FMM/RCWA Cwv9 a^  
    • Diffractive Lens Component 'p^t^=dQ  
                                                                 y6g&Y.:o  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       g_;\iqxL  
    fBU`k_  
                                                    
    nGC/R&  
    7y.kQI?3  
    正弦光栅-传输相位形态     tm|ZBM  
    Sj3+l7S?  
                                                    
    z0 d.J1VW  
    =}~hWL  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         #$.;'#u'so  
    %Tfbsyf%f  
    J"0`%'*/  
    ?e%ZOI  
    正弦光栅-衍射效率 dn& s*  
    8'[~2/  
                                                            
    ]}V<*f  
    M`0V~P`^  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       4j-Xi  
    ?al'F  q  
      
    ko!)s  
    1a/++4O.|  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   QFA8N  
                                      
    v_yw@  
    %U/(|wodd  
                                                                 D ;RiGW4  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA)  \__i  
    {4l8}w  
                                                          
    +V2F#fI/  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         A@`}c,G  
    VMZMG$C  
    t^&Cxh  
    ::`HQ@^  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         82+r^t/.  
    M*0]ai|;  
    7 W5@TWM  
                                                                  -uS!\  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         Zj(AJ*r  
    x5pdS:  
    #`^}PuQ  
                                                                 ;[ZEDF5H  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         MxKS4k  
    "MeVE#O  
    `>o{P/HN  
                                                                 KR} ?H#%  
    VirtualLab Fusion技术   KS+'|q<?w  
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