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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 k(EMp1[:nN  
    A)Qh  
    1OJ*wI*  
                                                             JoCA{Fa}  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而，我们也知道，对于较小的光栅周期，也就是当其更接近于光的波长时，近似变得不准确。在本例中，选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA，这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅，通过比较结果，我们研究了两种方法的表现 /2e%s:")h  
                                                                 {pDTy7!Hs  
    建模任务                                                         *KK[(o}^J-  
    7]|zkjgI  
     >?5xDbRj  
    j1YH9T#|D  
    光栅元件   lwOf)jK:J  
    VLsh=v   
                                                             5VR.o!h3I  
    通用光栅组件（General Grating Component）允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似，但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: ptpW41t}^  
    • FMM/RCWA 4\N_ G @  
    • Diffractive Lens Component ;1W6"3t-Y  
                                                                 j z~[5m}J  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       F7{R~mS;  
    fcRj  
                                                         '{[!j6wt\  
    lC#RNjDp/~  
    正弦光栅-传输相位形态     MO[kr2T  
    }:`5,b%Y_  
                                                         TbLe6x  
    qy_%~c87  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         NZLXN  
    6b?`:$Cw3)  
     AnNP Ti  
    :l+_ja&o  
    正弦光栅-衍射效率 ]gu1#  
    #{!O,`qD  
                                                                 !?nu?  
    BhKO_wQ?:J  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       +YTx   
    2;G98H  
           mD7}t  
    (w+%=z"M  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   ,"Tjpdf  
                                           TPHYz>D]  
    8xgJSk  
                                                                 v ~"Ef_`  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) IX9K.f  
    4O!E|/`wO  
                                                               =7 VCtd/  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         3gpo %  
    0q{[\51*  
    3DW3LYo{  
     6lsL^]7  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         b,dr+RB  
    6xarYh(  
     W,3zL.qH"  
                                                                 d$K=c1  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         wcZbmJ:  
    I}+;ME|<2  
     p1D()-  
                                                                 ==N` !+  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         !h CS#'  
    lkA^\ +Ct  
     _gW{gLYyJ  
                                                                 K\P!a@>1  
    VirtualLab Fusion技术   vZ@g@zB4o0  
    aG! *WHt  
               R& #tSL  
     
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