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    [技术]薄元近似(TEA)与傅里叶模态法(FMM)的光栅建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-22
    摘要 v@qU<\Y>  
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    m|/q o  
    薄元近似(TEA)是傅里叶光学中广泛应用的计算光栅衍射效率的方法。然而,我们也知道,对于较小的光栅周期,也就是当其更接近于光的波长时,近似变得不准确。在本例中,选择了两种类型的传输光栅来展示这种效果:正弦光栅和闪耀光栅。我们使用TEA和FMM(也称为RWCA,这是严格的)来分析这种具有不同周期的光栅,通过比较结果,我们研究了两种方法的表现 vV(?A  
                                                                 YA?46[:  
    建模任务                                                         ],?$&  
    _NwB7@ e  
    9/yE\p .  
    yJ0q)x sS  
    光栅元件   eH0^d5bH  
    "t ^yM`$5[  
                                                        
    o@5zf{-  
    通用光栅组件(General Grating Component)允许用户在模拟中选择不同的求解算法。用户可以在严格的傅里叶模态法(FMM)和近似,但更快的薄元近似(TEA)之间进行选择。关于解算器的更多信息可以在这里找到: 1:.I0x!  
    • FMM/RCWA m-wK8]t9  
    • Diffractive Lens Component u`ezQvrcy  
                                                                 D_)i%k\  
    正弦光栅-效率vs高度(只用TEA)       ]-2Q0wTj  
    .%x1%TN  
                                                    
    4?u<i=i  
    Q 1:7 9  
    正弦光栅-传输相位形态     ab@1JAgs  
    CRh.1-  
                                                    
    4.t72*ML  
    o<\u Hr3  
    正弦光栅-传输相位形态                                                         n2p(@  
    DwNEqHi  
    7_ G$&  
    dEvjB"x  
    正弦光栅-衍射效率 wG-lR,glb  
    0Mo?9??  
                                                            
    K}feS(Ji  
    #Rj&PzBe  
    正弦光栅-效率vs. 周期                                                       \'>ZU-V  
    |jhu  
      
    kc:>[{9  
    Lk>GEi|  
    正弦光栅—选定周期的相位形态   F, 39'<N[  
                                      
    7`pK=E}+  
    >u0B ~9_E  
                                                                 ; `Vbl_"L  
    闪耀光栅-效率vs.高度(只用TEA) ?]]7PEee*  
    voitdz  
                                                          
    OH_mZA  
    闪耀光栅-传输相位形态                                                         VZ1u/O?ub  
    T4e-QEH  
    1:j[p=Q&  
    ] v8.ym  
    闪耀光栅-衍射效率                                                         ZDl6 F`  
    ^!j,d_)b!  
    c*N>7IF,  
                                                                 _9 B ^@~  
    闪耀光栅-效率vs.周期                                                         5f- eWW]!  
    ;X}!;S%K  
    ;W2Rl%z88  
                                                                 |qq7vx  
    闪耀光栅-选定周期相位形态                                                         Ni Y.OwKr  
    $8;`6o`  
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    VirtualLab Fusion技术   av:9kPKm  
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