这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 lMFo)4&P
U,WMP<5& l6bY!I> 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 _]zX W @4y?XL(n S偏振光照明的近场强度
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P偏振光照明的近场强度 ?xqS#^Z
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 ``CM7|)>`
u:APGR^ 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 n$C-^3c
&9flNoNR9 PostProcess { 6B8!}6Ojc OpticalImaging { a(vt"MQ_ InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" S'!&,Dxq^ OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm"
oT\K P OpticalSystem { 71@eJQ SpotMagnification = 2.0 
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)