这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同,但代替周期性排列的线,现在使用单线。因此,二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件,而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 ]]Wa.P~]O
K(hqDif*6 =>4,/g3 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 GR/
p%Y( q$K^E S偏振光照明的近场强度
B&"fPi 
P偏振光照明的近场强度 lrK5q
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 xmbkn}@A
zg[ksny 在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 u" nyx0<
-v`;^X PostProcess { 41$7P[M; OpticalImaging { gJ :Z7b InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" D/rKqPp|! OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" st~f}w@ OpticalSystem { >!?u8^C SpotMagnification = 2.0 fZ$8PMZv } cSQvP. } flnoK%wi
ob-y {x,R 输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 6*Rz}RQ xrp%b1Sy 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
J1hc :I<; [.;VCk)0x 
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)