这是一个一维孤立线光栅的简单案例。设置与周期线光栅的案例相同，但代替周期性排列的线，现在使用单线。因此，二维计算域不再采用水平方向上的周期性边界条件，而是采用水平和垂直方向上的透明边界。 x(/@Pt2B
skC|io-Zv EZwdx 光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 vwqN;|F HHu7{, S偏振光照明的近场强度
ma]F%E+$ 
P偏振光照明的近场强度 _w5~/PbWt
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。 EV ?47\ ~
VM V]TPks> 在实验中，远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。 N|Cy!E=d
>fZ/09&3 PostProcess { 5?~[|iPv
OpticalImaging { / Vm}+"BCS InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" % Dr4~7=7a OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" :C:N]6_{SZ OpticalSystem { QSs$ SpotMagnification = 2.0
UA!Gr3 } (HrkUkw } Wru
Fp
V.gY1
输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置)，用于S偏振照明。 h@m n
GE p,AD!~n` 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
z)Q^j>% M6hvi(!X2 
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)
