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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 lyOrM7Gs  
                                             `0n 7Cyed  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 #C=L^cSx(  
    E:dT_x<Y  
    建模任务 !)51v {  
    <Vr] 2mw  
    系统构建块-扫描源                                                     qI4R`P"  
    '%eaK_+7  
    How to Set Up a Scanning Source iBPdCp%]`  
                                                                                   Q%AS ;(d  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 F_M~!]<na  
     HPd+Bd  
    系统构建块-参数耦合 =w;xaxjL  
       wZ\e3H z  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion }~Kyw7?  
                                                                                       q9a wzj  
    系统构建块-失真分析仪 dTU.XgX)1^  
                                                                               4o)\DB?!  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ek0;8Ds9  
     Jb)eC?6O  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               yW6[Fpw  
    Lu#@~  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         m;tY(kO  
    9{]r+z:  
    2}xFv2X  
     [y&h_w.  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: V"Y Fu^L  
    gp|7{}Q{  
    Universal Detector 'mY,>#sT  
                                                                                   @u'27c_<d3  
    总结-组件… GO:1 Z?^  
    #9W5  
     KSpC%_LC  
    系统观感   2YP"nj#  
     ?` ZGM  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 Y$`hudJ&  
    {/|8g(  
     S;AnpiBM8  
    性能评估-点位偏差 ^2?O+ =,F  
    /xm} ?t0U  
                                       %N_S/V0`  
    性能评估-光斑直径测量                                                       }RP9%n^  
    5\*wX.wp  
    1-Wnc'(OK  
    :Ro" 0/d  
    RxDxLU2kt  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 (Ss77~W7  
    .]P;fCQmM  
    VirtualLab Fusion技术 }zfLm` vJ  
                                                                         t%YX-@  
     
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