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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 )!N2'Ld  
                                             EW ~*@H  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 !O~}, pp  
    4Sg<r,G  
    建模任务 ;>inT7?3|  
    #D/$6ah~m  
    系统构建块-扫描源                                                     jA A'h A  
    2~#ZO?jE6  
    How to Set Up a Scanning Source nsZDZ/jx  
                                                                                   9+]ZH.(YE  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 _u#/u2<  
    Tf9&,!>V  
    系统构建块-参数耦合 PXOrOK  
       h |s*i  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion aw %>YrJ  
                                                                                       5JQd)[Im  
    系统构建块-失真分析仪 3Qqnw{*  
                                                                               HT{F$27W  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ' %bj9{(0  
     d 8xk&za  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               +<'uw  
    g|tNa/  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         !JT< (I2  
    )fxo)GS  
    p6<E=5RRd1  
     &i4 (s%z#  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 6&g!ZE'G  
    WpZy](,  
    Universal Detector Q'FX:[@x-S  
                                                                                   M3hy5 j(b  
    总结-组件… sL!;hKK  
    h-z%C6  
     ^AovkK(p  
    系统观感   ;yRwoTc)Y  
     $-C6pZN(X  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 (1j(* ?2  
    ;s}-X_O<  
     d/0/$Bz}P  
    性能评估-点位偏差 &M!4]p ow  
    yC9:sQ'k  
                                       MuCQxzvkhf  
    性能评估-光斑直径测量                                                       R*JOiVAC  
    2jI4V;H8g  
    p[ks} mca@  
    jK ?  
    0hH Iz4(  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 }0k"Sw X  
    pHI%jHHJ  
    VirtualLab Fusion技术 "2y7&#l   
                                                                         v :'P"uU;4  
     
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