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摘要 Li4zTR|U
uxr #QA F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 V2wb%;q rX2.i7i, 建模任务 V Y7[)
+V{kb<P 系统构建块-扫描源 0AL=S$B) *RJG!t*t How to Set Up a Scanning Source k_rt&}e+Gi g}1B;zGf 系统构建块-透镜系统组件 L>Fa^jq5 n FHUy9q 系统构建块-参数耦合 8e1UmM[ X^wt3<Kbf Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion V]lLw) ?BeiY zg 系统构建块-失真分析仪 $9_xGfx}
bN1|q|9 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 B"1c
Z&+ g;(g 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 ) j#`r/ 2lH& 通用探测器和探测器附加组件 Fo5FNNiID ]8_NZHld
a/4T>eC
'uSn}hm Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: %S960 &
p Universal Detector g[' ^L+hd AUG#_HE]k 总结-组件… %HhnSi1K
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MS~(D.@ZS 系统观感 *SJ_z(CZm {L{o]Ii?g 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 mp1@|*Sn XJ;57n-?
S6DKREO 性能评估-点位偏差 b|:YIXml .5_2zat0H
I{C
SH 性能评估-光斑直径测量 N)X3XTY g
wRZ%.Cn UcHJR"M~c 6xx ?A>:
y'q$| 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 !c
Hum z2~til VirtualLab Fusion技术 7&)bJ@1U
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