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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 7g]mrI@  
                                             2Sa{=x N)  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 spm)X-[1  
    ?!jJxhK<h  
    建模任务 eGg6wd  
    p`A2^FS)  
    系统构建块-扫描源                                                     n.a2%,|v  
    %i/|}K  
    How to Set Up a Scanning Source ;` Xm?N  
                                                                                   jQ'g'c!  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 z8'zH>  
    m:`M&Xs&  
    系统构建块-参数耦合 =H23eOS_#  
       _eq$C=3Ta  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ^7? WR?!  
                                                                                       / [49iIzC  
    系统构建块-失真分析仪 `?R{sNr.  
                                                                               K-\wx5#l/  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 R_g(6l"3R^  
     5yK#;!:h  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               QN$s %&O  
    ;b=diZE  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         /bo=,%wJ[  
    F1_,V?  
    ;Wy03}K4J  
     "5k 6FV  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 3{~(_  
    <EgJm`V  
    Universal Detector #yR&|*@  
                                                                                   k Qr  
    总结-组件… |;~2y>E  
    Or?c21un  
     =`|BofR  
    系统观感   ZAy/u@qt  
     q'+ARW48  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 E:/!]sm!  
    L>1y[ Q  
     gI2'[OU  
    性能评估-点位偏差 -(WRhBpw  
    T}msF  
                                       L-}Uj^yF  
    性能评估-光斑直径测量                                                       :7.k E  
    ^&mrY[;S  
    fgj$ u  
    tw<Oy^ i  
    r^msJ|k8[  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 BH~zeJ*Pr  
    6S n&; ap  
    VirtualLab Fusion技术 sUc[!S:/  
                                                                         eHs38X  
     
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