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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 5x";}Vp>P  
                                             }lZfZ?oAz  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。  f,utA3[  
    VFLxxFJ  
    建模任务 RGrra<  
    l_ /q/8-l  
    系统构建块-扫描源                                                     MpZ #  
    ]=T`8)_r)  
    How to Set Up a Scanning Source <1~5l ~  
                                                                                   MH;5gC@ `  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                  +z/_'DE  
    RLkP)+t  
    系统构建块-参数耦合 "p<B|  
       "PO>@tY  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion oZ% rzLH  
                                                                                       +AVYypql8K  
    系统构建块-失真分析仪 {ir8n731p  
                                                                               8sm8L\-  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 W10=SM}  
     )%D2JC  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               @"[xX}xK;  
    $ekJs/I&  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         7`,A]":;  
    %W!C  
    4c"x&x|  
     ~@8r-[  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: 35 /)S@  
    C^sHj5\(  
    Universal Detector ZMs$C3  
                                                                                   ,dhSc<:LT  
    总结-组件… )%e`SGmp  
    l#!p?l  
     p-d2HXo  
    系统观感   7v9l+OX,6  
     [d+f#\ut  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 )m . KV5K!  
    q'u^v PO  
     0<3)K[m~H  
    性能评估-点位偏差 &%."$rC/0b  
    5&}~W)"9  
                                       3N8RZt1.b  
    性能评估-光斑直径测量                                                       UA@(D  
    [kfLT::mT  
    7g'jg7  
    }A@op+0E  
    O>P792)  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 )HPt(Ck  
    Y*!J +A#  
    VirtualLab Fusion技术 obYXDj2  
                                                                         <=m@Sg{o  
     
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