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摘要 p&HkR^.S
d/E0opv F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 c43&[xPLz 7s;*vd> 建模任务 t<cWMx5ra
pzU:AUW 系统构建块-扫描源 z@2nre @! jpJ} How to Set Up a Scanning Source T=fVD8 B:)vPO+ d 系统构建块-透镜系统组件 H#QPcp@ [LS s|f 系统构建块-参数耦合 ;$UB@)7% {tnhP^C3> Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Ky{C;7X KzB9
mMrO 系统构建块-失真分析仪 yI's=Iu`
R#/0}+-M 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 'he&h4fm
83Fmu/( 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 7Y^2JlZu= I5g!c|#y
通用探测器和探测器附加组件 $oZV 54 i.+#a2
T7*p!0
Ft8ii|- Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ;zi4W1 S#|5&SR Universal Detector z!^3%kJJ> SuA`F|7?P 总结-组件… `e5f69"
?gS~9jgcd
1@`mpm#Y 系统观感 =7zvp,B o[nr) 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 *)i+ c{~ C6:;
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&p 性能评估-点位偏差 TzsNhrU{ xQ8?"K;iX
M\=/i\- 性能评估-光斑直径测量 YuzgR;Z 0,m@BsK )H<F([Jri &fwb?Vn4
-}Gk@=$G 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 9icy&' zA&]#mc VirtualLab Fusion技术 ](^BQc
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