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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 p&HkR^.S  
                                        
    d/E0opv  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 c43&[xP Lz  
    7s;*vd>  
    建模任务 t<cWMx5ra  
    pzU:AUW  
    系统构建块-扫描源                                                
    z@2nre  
    @! jpJ}  
    How to Set Up a Scanning Source T=fVD8  
                                                                                   B:)vPO+ d  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 H#QPcp@  
    [LSs|f  
    系统构建块-参数耦合 ; $UB@)7%  
       {tnhP^C3>  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Ky{C;7X  
                                                                                  
    KzB9 mMrO  
    系统构建块-失真分析仪 yI's=Iu`  
                                                                          
    R#/0}+-M  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 'he&h4fm  
    83Fmu/(  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               7Y^2JlZu=  
    I5g!c|#y  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    $oZV 54  
    i.+#a2   
    T7*p! 0  
    Ft8ii|-  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: ;zi4W1  
    S#|5&SR  
    Universal Detector z!^3%kJJ>  
                                                                                   SuA`F|7?P  
    总结-组件 `e5f69"  
    ?gS~9jgcd  
    1@`mpm#Y  
    系统观感   =7zvp,B  
    o [nr)  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 *)i+c{~  
    C6:; T%  
    Y^ ,G} &p  
    性能评估-点位偏差 TzsNhrU{  
    xQ8?"K;iX  
                                  
    M\=/i\-  
    性能评估-光斑直径测量                                                       YuzgR;Z  
    0,m@BsK  
    )H<F([Jri  
    &fwb?Vn4  
    -}Gk@=$G  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 9 icy&'  
    zA&]#mc  
    VirtualLab Fusion技术 ](^BQc  
                                                                    
    /Y*6mQ:  
     
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