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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 )nxIxr0d-  
                                             H).5xx[`  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 eaP$/U D?  
    [4rMUS7-m"  
    建模任务 &'\+Z  
    b/Q"j3  
    系统构建块-扫描源                                                     e`1s[ ^B  
    !Qa7-  
    How to Set Up a Scanning Source yOzKux8kB  
                                                                                   'X<uG x  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 >*xzSd? \  
    J c^ozw  
    系统构建块-参数耦合 x99 Oq!  
       Vn;] ''_  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 0j MI)aY.  
                                                                                       h l'k_<a*  
    系统构建块-失真分析仪 XPTB,1g+f  
                                                                               7N=VVD~!b  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 j/|qge4  
     &\[J  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               o e"ShhT  
    @?? 6)C  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         Mg/2 w  
    1V?)zp  
    O#Hz5 A5  
     Y2&6xTh  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: V@-GQP1  
    L-gF$it\*b  
    Universal Detector )!72^rl  
                                                                                   Xrn~ ]P7  
    总结-组件… h1)\.F4G  
    OXV@LYP@  
     XX6)(  
    系统观感   OAOmd 4  
     H`@7o8oj1  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 $, 42h  
    t]%R4ymV  
     J<@]7)|U  
    性能评估-点位偏差 }C#d;JC  
    ohk =7d.'  
                                       &>+Z$ZD  
    性能评估-光斑直径测量                                                       O v6=|]cW  
    ^KR(p!%  
    xGL"N1  
    kk#d-! $[  
    bNgcZ V.  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 b1!%xdy_T  
    A79SAheX#  
    VirtualLab Fusion技术 2eYkWHi  
                                                                         )dcGV$4t[  
     
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