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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 7egE."  
                                             pH&*5=t}  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 :j(e+A1@  
    <PLQY  
    建模任务 o;'E("!<Z  
    MoAie|MKe  
    系统构建块-扫描源                                                      NOY`1i  
    TF]bmM})0  
    How to Set Up a Scanning Source y;Ez|MS   
                                                                                   ~6{iQZa1Y  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 U ?iw  
    Vn&{yCm3  
    系统构建块-参数耦合 BF^dNgn+%K  
       o<h2]TN  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion zM+4<k_dH]  
                                                                                       ^}SP,lg'  
    系统构建块-失真分析仪 5Zf^cou  
                                                                               j1zrjhXI  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 _V2^0CZ  
     ^bM\:z"M  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               oW}nr<G{<  
    m}UcF oaO  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         zH"a>+st=  
    ./ ]xn  
    6ZO6 O=KD  
     1JQ5bB"  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: mpr_AL!ZO~  
    [}Q_T.4)E  
    Universal Detector D\:dn  
                                                                                   R$XHjb)  
    总结-组件… }VU^ 8D  
    7xF)\um  
     "D\>oFu  
    系统观感   jgvzp  
     awXK9}.  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ol0i^d*9F  
    e{EC# %x_  
     A%[e<vj9  
    性能评估-点位偏差 {EfA#{x  
    #fYRsVQ  
                                       eA{ nwtN  
    性能评估-光斑直径测量                                                       -Oi8]Xw^@y  
    {MRXK nm;e  
    Z~0TO-Q  
    ^h$^j  
    '[Sm w'n6-  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 LR "=(  
    lw]uH<v  
    VirtualLab Fusion技术 57fl<IM  
                                                                         kYhV1I  
     
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