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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 ^_BHgbS%;  
                                             STmn%&  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 (jv!q@@2C.  
    9t:P1  
    建模任务 iLiEh2%P  
    *vqlY[2Ax  
    系统构建块-扫描源                                                     F[uy'~;@  
    ,&[2z!  
    How to Set Up a Scanning Source SA@MJ>Z  
                                                                                   mVFz[xI  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 $ K1 /^  
    2gLa4B-  
    系统构建块-参数耦合 R r7r5  
       d1$3~Xl]  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion 7DaMuh~<  
                                                                                       <$!^LKKzA  
    系统构建块-失真分析仪 Mr'P0^^  
                                                                               0T-y]&uo  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 GjlA\R^e  
     HPJ\]HV(  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               3NRxf8  
    /c/t_xB  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         <8#Q5   
    JQ|qg\[  
    *c'nPa$+|S  
     wO:!B\e  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: <%WN<T{q|  
     Khd"  
    Universal Detector PAG.],"D  
                                                                                   v"'Co6fw  
    总结-组件… h&Thq52R  
    R'bmE:nL  
     bH+x `]{A  
    系统观感   =*EIe z*.x  
     Fr{u=0 X  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 ($a ?zJr  
    Pp-\#WJ  
     ~<b/%l>h1  
    性能评估-点位偏差 D4 {?f<G0F  
    Fe8JsB-  
                                       F\&Sn1>k  
    性能评估-光斑直径测量                                                       -<rQOPH%  
    >s#[dr\ww  
    VA4>!t)  
    2uonT,W  
    x:'M\c7  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 /7WN,a  
    s|iph~W!L  
    VirtualLab Fusion技术 .XPcH(q  
                                                                         yKE[,"  
     
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