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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-08
    摘要 Li4zTR|U  
                                        
    uxr #QA  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 V2wb%;q  
    rX2.i7i,  
    建模任务 VY7[)  
    +V{kb<P  
    系统构建块-扫描源                                                
    0AL=S$B)  
    *RJG!t*t  
    How to Set Up a Scanning Source k_rt&}e+Gi  
                                                                                   g}1B;zGf  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 L>Fa^jq5  
    nFHUy9q  
    系统构建块-参数耦合 8e1UmM[  
       X^wt3<Kbf  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion V ]lLw)  
                                                                                  
    ?BeiY zg  
    系统构建块-失真分析仪 $9_xGfx}  
                                                                          
    bN1|q| 9  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 B" 1c  
    Z&+ g;(g  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               ) j#`r/  
    2lH&  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    Fo5FNNiID  
    ]8_NZHld  
    a/4T> eC  
    'uS n}hm  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: %S960  
    & p  
    Universal Detector g[' ^L +hd  
                                                                                   AUG#_HE]k  
    总结-组件 %HhnSi1K  
    cJ= 6r :  
    MS~(D.@ZS  
    系统观感   *SJ_z(CZm  
    {L{o]Ii?g  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 mp1@|*Sn  
    XJ;57n-?  
    S6DKREO  
    性能评估-点位偏差 b|:YIXml  
    .5_2zat0H  
                                  
    I{ C SH  
    性能评估-光斑直径测量                                                       N)X3XTY  
    g wRZ%.Cn  
    UcHJR"M~c  
    6xx ?A>:  
    y'q$ |  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 !c Hum  
    z2~ til  
    VirtualLab Fusion技术 7&)bJ@1U  
                                                                    
    tXs\R(?T  
     
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