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摘要 NbtNu$%t F7zBm53 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 N\OeWjA F p%v+\T2r
U^$o<2 %2)'dtPD~ 寻找组件内部光场分析器: FMM *?Sp9PixP Jm+;A^;
kK[m=rTx1$ ?lYi![.o 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 hw [G x!o>zT\ `|i[*+WC 评估模式 E|jbbCZy2 ;nbUbRb *VFUC: i|5 K4Puu 评估区域 > ^b6\ qUY QN2wG $(ugnnJ* ytX XZ` 光栅类型 od\Q<Jm} PKhH0O\_U ]_yk,}88d eVZ/3o 光栅表面的采样 TrHz(no n3t0Qc i(XcNnn6 0N~AQu 光栅表面的采样 ~97T0{E3 `eat7O DV(^h$1_
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