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摘要 CI{x/ e^( N<99K! 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 {+Yo&F}n z, [+
>B7OTGw ;zDc0qpw 寻找组件内部光场分析器: FMM [_n|n"M zhE7+``g
5Y^YKV{ W( YJz#]6_ 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 .~J^`/o \.]
U 6bba}P 评估模式 l1WVt} cDg27xOUi Hr$5B2' *en{pR' 评估区域 :cTi$n x]Ef}g t
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SX"A 光栅类型 ZV;yXLx| "Q1hP9xV z/b*]"g, =xoTH3/,> 光栅表面的采样 14RL++ Za w+ =%LS9e^7D D$HxPfDZ 光栅表面的采样 kWFR(J&R STe;Sr&p wal }[F#
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