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摘要 Ke\FzZ] JZ"XrS0? 组件内部光场分析器: FMM使用户能够研究微观和纳米结构内的电磁场分布。为此,通过应用傅里叶模态法/严格耦合波分析(FMM/RCWA)计算任意周期结构,包括透射和反射光栅、介电或金属光栅。也可以指定领域的哪一部分应该可视化:正向模式,反向模式,或两者结合。 tj" EUqKQ ) !l1
>6z7.d 9E 寻找组件内部光场分析器: FMM
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4+%9) JjBlje 组件内部光场分析器: FMM是光栅光学设置的专用功能,它提供了光栅结构内部电磁场的可视化。 ek0,@Vg9 F#l!LER^1g SrvC34<7 评估模式 f_r4*#&v X}]g;|~SN g;</ |Z &jF[f4:7 评估区域 ~qb-uT\(99 yJHFo[wGMJ ]Cc8[ZC TZE;$:1vx> 光栅类型 !;&{Q^} P<R'S E"t79dD R"{oj]d;$F 光栅表面的采样 9*xv
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4Oq pm'i4!mY<P 光栅表面的采样 x@,B))WlGr 1(m[L=H5> 2[Bw+<YA`
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