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摘要 G~Q*:m 3"2<T^H] 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 t6! p\Y}} (9'G
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. 超构光栅结构和建模 59"Nn\}3gE .j+2x[`l
^"6D0!'N jSOa VirtualLab Fusion提供: qW` XA Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; -Lz1#S k]A Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 .3g\[p ZipK;!9by 光栅周围介质 umHs " d ~I8"l@H>
j|VlHDqR l72ie • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 _z_3%N
• 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 ]ZU:%Qhu • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 qAuUe=w%p hz>yv@1 光栅堆栈内部材料 0N}
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3qV>TE]6, eW }jS/g` • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 A<*tn?M] • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 iX9[Q0g=oQ • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 =c5 /cpZ^ F~uA-g 单柱几何配置 d/-]y:`f` g en3"\Og{
j_YZ(: = J?HZ,7X: 柱子的分布 gC,0+Y~ 6lH>600]u a_#eGe> • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 jW+VUF-t • 有几种方法可以做到这一点: v'2OHb# • 逐个柱子,手动; CH R?i1e • 一次性定义在等距网格; $4ZDT]n • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 ]aMa*fF • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 *z;N ,a?\i
JNb 数值参数设置 (^@;`8Dy8 nbkky.e
/v5g;x_T y0mg}N1 • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 R;,u >P " • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 %onAlf<$:^ • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 6[Pr<4J 1wH/ #K 例1:一维Blazed 超构光栅 Ul~}@^m]4} "=5vgg3 材料和介质的配置
"lnk P A+e= %
cK} see the full Application Use Case rQQPs\o b<8J ;u< 柱子几何及分布 HI`A;G] 9QM"JEu@ #p9z#kin :R?| 2l 空间频率数 }mS0{rxD4 5<GRi"7A@ >A@D;vx 0 Ukl#6 b+#~N>| 例2:二维光束分离超构光栅 #,9TJ:~N a_fW{;}[ 材料和介质的配置 R8W44I*R: {,mRMDEy
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On 柱子几何及分布 CzsY=DBH= 1R~WY'Ed OU3+SYM r`"#c7)
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