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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 03-11
    摘要                                                                             `9~ %6N?7#  
    =6%oW2E\  
    超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 FcDS*ZEk!  
    fr@F7s5}  
     !gsvF\XDM  
    xUo6~9s7  
    超构光栅结构和建模 mDB  
    'Uok<;  
                                                                                 OmYVJt_  
    r~4uIUE{  
    VirtualLab Fusion提供： J$dwy$n  
     Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; P15 H[<:Fz  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 [M?2axOC  
    -fR :W{u  
    光栅周围介质   tXD$HeBB?  
    $XBK_ 5  
                                                                                 tK#R`AQ  
    XX6Z|Y5.  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 k+3qX'fd  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 ZCiCZ)oc  
    • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 A4K.,bZ   
    ^J!q>KJs  
    光栅堆栈内部材料 &p0e)o~Ux  
    UO/sv2CN  
                                                                                N;7/C  
    wp[Ug2;G  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 ,"(L2+Yp  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 @f!X%)\;x  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 KyvZ? R  
    ?$r`T]>`2  
    单柱几何配置 d0 cL9&~qW  
    NFK`,  
                                                                             U84W(X  
    @ZKf3,J0  
    柱子的分布                                                                           8)i""OD@I  
    f8 d 3ZK  
    1H)mJVIKkB  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 hsZ/Vnn`  
    • 有几种方法可以做到这一点: wT1s;2%  
    • 逐个柱子，手动; 8`Ya7c>  
    • 一次性定义在等距网格;  >@ t  
    • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 U$rMZk  
    • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 2ZH+fV?.  
    taQE r 2Zy  
    数值参数设置 2iAC_"n  
    DL]tg [w{  
                                                                               JTlk[ c  
    =W(*0"RM  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 <=uYfi3,  
    • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 ab0 Sx  
    • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 *6uccx7{  
    WzMYRKZ  
    例1:一维Blazed 超构光栅 FhE{khc#  
    &y[NC AeA  
    材料和介质的配置 _;<!8e$C  
    ==[,;g x  
                                                                             uOxHa>h  
    see the full Application Use Case 1GY2aZ@  
     {K(mfTqm  
    柱子几何及分布                                                                           `]Bb0h1![  
       s6H'}[E<  
    K %^n.  
                                                                                     (!j#u)O  
    空间频率数                                                                             ~j0rORy]  
                                                                               *bkb-n Kw  
    IThd\#=  
    @KG0QHyiU  
    :Pud%}'  
    例2:二维光束分离超构光栅 n ]ikc|  
    V"FQVtTx7  
    材料和介质的配置                                                                             >rnVT K  
    74s{b]jN'-  
     R1jl<=  
    8h )XULs2  
    柱子几何及分布                                                                           0=d2_YzSf  
    1Pf(.&/9_  
    Vej$|nF  
     Zg;$vIhn  
     
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