[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 EV@xUq!x.  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 cvbv\G'aT  
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任务 hIw<gb4J%  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 pbivddi2  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 6|05-x|  
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Xv'M\T}6C+  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 `n7z+  
连接建模技术：衍射光束分束器 M[0@3"}}  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 Gt[!q\^?  
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将传输函数转化为结构 DY6wp@A  
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衍射光束分束器表面 W:P4XwR{  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM S >uzW #  
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4.7ePbk[E  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 NrTQ}_3)  
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设计与评估结果： iwL\Ha  
• 相位函数设计 z
48,{H6h  
• 结构设计 Xi5ZQo!t  
• TEA 评估 . #;ZM[v  
• FMM 评估 0?ZJJdI3  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） qU#
Gz7/  
$CO^dFf  
仅相位传输设计 ;*+jCL2F  
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结构设计 u|=_!$8  
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使用TEA进行性能评估 ow ~(k5k:  
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使用FMM进行性能评估 R1X9  
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进一步的分析（优化后，容差分析） X#-U  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 9rtcI[&?0  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 29pIO]8;  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 RT8xU;