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7wB*@a- ;VW->i a6 元件内部场分析器：FMM允许用户可视化和研究微
结构和
纳米结构内部的电磁场分布。为此，使用傅立叶模态法/严格耦合波分析（FMM/RCWA）计算周期性结构（透射或反射、电介质或金属）内部的场。还可以指定场的哪一部分应该可视化：正向模式、反向模式或两者同时显示。
ayK?\srw S<nf"oy_K 元件内部场分析仪：FMM 5[5| _H+0 WkUV)/j rGIf/=G^r 元件内部场分析器：FMM是
光栅光学装置的独有功能，可提供光栅结构内部电磁场的可视化。
_6!@>`u~ u|{(m_ "H 评估模式的选择 J@l QzRqRb 6i`Y]\X~# :pXY/Pa 为了更容易地区分入射场、反射场和透射场，可以仅评估正向或反向传播模式，或者评估两者的总和。
,:=g}i EV .F/W h 评价区域的选择 ]T X"BH"2 e~P4>3 
k;V (rf ` qLWM, [ Og 元件内部场分析器：FMM可以输出整个元件（包括基板）内部的场，或者只输出一个堆栈或基块（基板）中的场。
P1qQ )-J ?mn&b G 不同光栅结构的场分布 cyTBp58
p G(F w > 任意形状的光栅结构可以通过元件内部场分析仪进行分析。以下是几个例子：
&qyXi [vw Ou7nk:I@ 9!?Ywc>0# 光栅结构的采样 \]|(w*C D5"Xjo* 虽然分析仪为输出数据提供了一些采样选项，但
系统中定义的光栅表面必须正确采样（例如，分解点和过渡点的层数足够）。
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S4 
tUT:v K` X 4CiVV 分解预览展示了如何根据当前采样因子对光栅结构进行采样。
p1!-|Sqq MGLcM&oR 光栅结构的充分采样意味着已经实现了收敛，即进一步增加采样不会显著影响产生的场。例如，如果层分解过于粗糙，则可能会由于纵断面中的大台阶而产生其他影响。
o3cE.YUF g&r3 ; >XPR)&t 输出数据的采样：一维周期光栅（Lamellar） Go)}%[@w 45Lzq6 ]]9 VI0
对于1D周期性（片状）光栅，分析仪使用对话框“采样”部分中指定的
参数生成2D横截面
图像。
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s l {sW>J0 输出数据的采样：二维周期光栅 %m##i &mkL4 jXG 当分析的光栅设置为2D Periodic时，Field Inside Component Analyzer：FMM将通过结构生成一系列二元截面，z方向的采样参数决定执行的切割次数。
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