[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             /+x#V!zM  
~_l6dDJ  
j5,^
9'  
n,&/D  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             ?2?S[\@`0U  
T<TcV9vM  
仿真任务                                                                             x!"SD3r=4>  
   7|+|\7l#  
uXG`6|
?  
$KwI}>E4  
连接建模技术:倾斜光栅 jSwtf  
Xx3g3P  
                                                                     ( K6~Tj  
bVa+kYE  
可用的微结构建模技术: Z{,GZT  
gnQo1q{ 4  
nOA
J9  
                                                                                 S' (cqO}=F  
光栅阶数分析仪 Hhe{+W@~  
5|<yfk8*J  
QQg8+{>  
BR& Aq  
参数变化分析仪                                                                             ;~Q  
   V>b2b5QAH,  
                                                                             T3USNc51  
D00G1:Ft(T  
参数优化                                                                             JmU<y  
heE}_,$|  
                   qj~flw1:  
}}^,7npU  
优化结果-平均效率 GBH_r0  
uipq=Yp.  
                                                   ..t,LU@|  
csH2_+uG  
优化结果-对比度 Zg -]sp]  
b]!9eV$