[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             `|
uwR5  
LI~ofCp  
U~CG(9  
Xmb001  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             vQH6CB"  
}R&5Ye  
仿真任务                                                                             %>io$o  
   !&(^R<-id  
2K:Rrn/cR  
W^e"()d/Z  
连接建模技术:倾斜光栅 [LF<aR5  
{)`tN&\  
                                                                     Uf,fd  
B+VD53 V  
可用的微结构建模技术: D`9a"o  
(J6>]MZ#)  
y1qJ  
                                                                                 ITssBB9  
光栅阶数分析仪 /gH[|d  
GbB:K2  
fW3awR{  
k>.n[`>$6|  
参数变化分析仪                                                                             E+"m@63  
   eAl;:0=%L  
                                                                             Bj`ZH~T  
zn)Kl%N^  
参数优化                                                                             huat,zLS  
WU+OS(  
                   y_:~  
6%A_PP3Z  
优化结果-平均效率 w
,x'FZD  
DG-XX.:z  
                                                   7=@3cw H  
~Gj%z+<  
优化结果-对比度 ^q}cy1"j"  
&_dM2lj{