[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             h+5@I%WX  
,2
,W^HJ  
@\!ww/QT  
RU7!U mf  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             4'` C1a  
BK*z 4m  
仿真任务                                                                             Jb9F=s+  
   ?@>;/@  
p+vh[+yp  
6A.P6DW  
连接建模技术:倾斜光栅 t|<FA#  
2Sjt=LOc="  
                                                                     F'rt>YvF
 
0lBat_<8  
可用的微结构建模技术: M.S s:ttj  
ETe-  
tq0;^L  
                                                                                 O<>#>[  
光栅阶数分析仪 g1ytT%]  
QE3ryD  
Qne0kB5m  
(U_wp's  
参数变化分析仪                                                                             gd_^  
   4j{oaey  
                                                                             r,Ds[s)B  
%2}C'MqS  
参数优化                                                                             f0u56I9  
y~dB5/  
                   h07eEg  
5y040 N-  
优化结果-平均效率 /,LfA2^_j{  
ifvU"l  
                                                   .>wFztK  
Vha'e3o!  
优化结果-对比度 zA,/@/'(  
l=xt;c!