[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             [e>2HIS,  
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由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             s<;{q+1#  
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仿真任务                                                                             `#:(F z  
   Wr@q+Whq  
0v#p4@Z  
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连接建模技术:倾斜光栅 ;{Yr|  
MP
_/eC ;  
                                                                     Wj8WT)cB  
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可用的微结构建模技术: cT@H49#uB  
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                                                                                 8@ S@^C*F  
光栅阶数分析仪 G.r=fNP  
ZFtJoGaR  
'!`| H 3  
7X8*7'.2  
参数变化分析仪                                                                             Q9c*I,Oj  
   kkJ8xyO  
                                                                             :;;k+Sw3  
A@;{#.O  
参数优化                                                                             1+[,eq  
K+d{R=s^  
                   ~>Y^?l  
2*V

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优化结果-平均效率 sX]gL  
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优化结果-对比度 VtMnLFMw  
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