-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-10-23
- 在线时间1989小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
复杂光栅结构被广泛应用于光谱仪、近眼显示系统等领域。VirtualLab Fusion 软件用傅立叶模态法（FMM,或者RCWA）一种简易的仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面，可以设置堆栈的几何图形，从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型 U-^[lWn[@4 • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。 `4 y]Z) • 提示：在VirtualLab软件中的光栅结构中，表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的，层状光栅（一维周期性）被称作二维光栅。 $ F S_E Q_vW3xz 初始化光栅工具箱 !(t,FYeH • 初始化 4& cL[Ny − 开始菜单栏 (Start) H- p;6C< 光栅菜单栏(Grating) Ei2%DMN7) 通用光栅光路图（三维光栅） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings) [Ym • 提示：对于特殊类型的光栅，例如柱形光栅， u(!&:A9JFd 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路 :h1pBEiH 图（三维光栅）(Pillar Grating Light Eaqca{%/^ Path Diagram(3D Gratings)) o-cAG{.WC
]p!Gt,rYq
设置光栅结构 'r\ V. 4
178Mb\8
• 首先，需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。 {ccIxL
/~
• VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。 U'*t~x <
• 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。 e2-Dq]p
• 例如，图中在前表面添加了堆栈(stack)。 **>/}.%?K 基于材料定义光栅的类型（例程： 柱形光栅） \ sA*V%n 堆栈编辑器 dC<LDxlv
Em7 WDu0
CD0VfA>Z
在堆栈编辑器(Stack Editor)中，界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。 T%Pp*1/m7
• 为了用一种特殊的介质定义光栅，需要添加两个平面界面，作为介质的边界。 x|KWyfOS s9oO%e< 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。 :3$}^uzIq • 使用调制介质，就可以非常有效地描述复杂光栅结构，如柱形光栅。柱形光栅介质 rbZ[ !LA
*{o UWt
A%\tiZe
• 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。 PNeh#PI 6)
• 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。 \ x >65;
• 此例程中，矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。 nm jm<Bu
• 在堆栈编辑器的视图中，不同材料根据折射率的高低表示为不同深浅的颜色 2ij#
H
;
（颜色越深，折射率越高）。 ^ S#t|rN
• 注意：堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。 A-ZmG7xk UMN*]_'+;b • 请注意：界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。 H UWxPIu • 选中的界面会以红色突出显示。 =xianQ<lK • 此外，无法在此处定义光栅前面的介质（指 t_ur&.^SB 最后一个界面后的介质）。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。 5HS~op2n/ • 可以在光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。 @$eT~ C
9PUes3"v
• 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。 N]YtLa,t
• 对于二维周期性光栅，必须在x和y方向分别定义周期。 9F;S+)H4
• 该周期也是FMM算法的周期边界条件。 H0"= Vs,n
• 对于简单的光栅结构，建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项，并选择合适的周期性介质的序号。 $ex!!rqN|
|
