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摘要 n,V[eW#m'L 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 Fa Qe_; HJLG=mU 设计任务 +_?hK{Ib"
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 7u S~MW U9:zVy 光栅级次分析模块设置 tqvN 0vY5
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使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 :0j?oY~e iwZPpl ";
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 +,T RfP
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2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
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3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
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4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 G_3O]BMKd) 衍射分束器表面 */)c?)"
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 3nIU 1e
eueH)Xkf 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) \ =?a/
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 7 S#J>*
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 *v
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傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 BOb">6C B 4c]}r+ 光栅级次和可编程光栅分析仪 N=T< _`$5
rxgbV. tx ;v)JnbsH}
设计与评估结果 (^8Y|:Tz
相位功能设计 _wbF>z
结构设计 u<7/0;D#+
TEA评价 \%JgH=@
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FMM评估 =V, mtT
U2 tV4_ e 通用设置 1y4|{ 7bb
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 )0. kv2o.
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 U8s2|G;K 7{e
4c 纯相位传输设计 [i21FX
{nBhdM :i 9|^2",V 结构设计 <.x{|p
h0*!;Z7 $u$!t j 更深的分析 )al]*[lY
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 f
O}pj:
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 -/wtI
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 [N-Di"
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使用TEA进行性能评估 ?h ZAxR\ |IeTqEu9
\#2Z)Kz 使用FMM进行性能评估 <,3a3
1*P~!2h 'C b6Y#6 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 j nkR}wAA
I13y6= d MD}w Y><C 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 e@L=L W>
A9KET$i@v DzAg"6=CS 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 fbyd"(V 8r
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