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摘要 v"Ax'() 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 [[zNAq)" ^$sqU 设计任务
qLP/z R&a$w8 XM,slQ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 \"Y,1in# W5=)B`v 光栅级次分析模块设置 4+s6cQ]S` x!\q69nd v 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 Qh(X7B \C h01LR" 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 |ns?c0rM 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 n|LpM . 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 ]bY]YNt{7] 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 7.6L1srV 衍射分束器表面 BP0:<vK{ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 b*M?\ aA Dfa3#{ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 7t:tS7{} UL{J%Ze=~ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 RZ xwr 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 5<R m{ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 T9H*]LxK dK4rrO 光栅级次和可编程光栅分析仪 ~IS8DW$; Np/\}J&IF <.B+&3') 设计与评估结果 W>)0=8#\ 相位功能设计 hW<v5!, 结构设计 Zrr)<'!i TEA评价 ]p3f54! FMM评估 C?T\5}h #c>GjUJ.w 通用设置 $?G@ijk, 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 4n@lrcq( 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ,7]hjf_h f,KB BBbG 纯相位传输设计 dkZe.pv$j Kbf(P95+uL UI+6\ 3 结构设计 <78|~SKAV *}d N.IL, r~j
[Qm"CJ 更深的分析 <ak[`] •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 zqo0P~ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 jk03 Hd •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 89g
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VNHceH 使用TEA进行性能评估 nQjpJ
/= Y \-W` \}s/<Q 使用FMM进行性能评估 %+N]$Q ,=P&{38\q SG&,o=I$ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ApXf<MAy v$|~
g'6 ?K>)bA&l' 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 alaL/p{O K)7T]z` fY[Fwjj3 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 Z~~6y6p
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