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摘要 s?}qia\~m 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ivgX o'= XA#qBxp/h 设计任务 . 5;
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Z~Q5<A9Jz
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 2?%*UxcO e=VSO!(rY 光栅级次分析模块设置 y`zdI_!7
>bV3~m$a+
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ]\fHc"/ o(e(| k
{
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 (Z>?\iNJ
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 1R @G7m
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 VgXT4g O!
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 E|;>!MMA; 衍射分束器表面 Jf2JGTcm
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 3\Xk)a_
(.N n|lY<i 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) h<?Px"& J
7fypUQ:y
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 9<rs3 84
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 v+x<X5u
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 T^^7@\vDI Rp2h[_> 光栅级次和可编程光栅分析仪 G_=i#Tu [
q'S[TFMNE jX4$PfOhR
设计与评估结果 O8#]7 \)
相位功能设计 :7X4VHw/
结构设计 oX^ N>w0F
TEA评价 ILDO/>n
FMM评估 vWmt<E|e
C"n!mr{srt 通用设置 <[ dt2)%L>
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 fP TLP cPP
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 wclj9&k 2|?U%YrHWs 纯相位传输设计 On
O_7'4 t
uG'S&8i_ pFd{Tdh 结构设计 j9c:SP5
Y*9vR~#H Fp ?M@ 更深的分析 sQ\ HIU%]
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 =W')jKe0
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 }#.O Jub
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 K U "+i8"
 XC<'m{^(m
使用TEA进行性能评估 :KC]1_zqR mW)kWuOO
? .B t. 使用FMM进行性能评估 @P0rNO %y
SD~4CtlfI ghW`xm87 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 r-S%gG}~E
~a
V5 ]Rf$&7`g{ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 tol-PJS}
HrLws95' Q & d;UVp 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 g'k m*EV
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