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摘要 -`Z !p 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 e}{#VB< NGi)Lh | 设计任务 |H5GWZ
O{^
M1/(Xla3
/8]K}yvR
使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 ?QK D YH( O{ 3X`xAf 光栅级次分析模块设置 6FUcg40Y
r$4d4xtK
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 5V (#nz PJm@fK(j
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 j<
h1s%
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 |PYyhY
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 W Pr :d
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 #w5%^ HwO 衍射分束器表面 sb VEA
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 pLF,rOb
/0k'w%V{n 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) _VgFuU$h
=pmG.>Si
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 !.# g
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 U9PI#TX
&O
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 nnBS;5 `x?_yogPM 光栅级次和可编程光栅分析仪 /#{~aCOi)
Q~f]?a` POl-S<QV
设计与评估结果 /oEDA^qx
相位功能设计 $; _{|{Yj
结构设计 ZR=i*y
TEA评价 %}N01P|X>
FMM评估 a(fiW%eFb
dzbbFvG 通用设置 c^H#[<6p
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 gGCr~ .5
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 b(U5 n"cdA R(_WTs9x4 纯相位传输设计 .#tA .%
p; , V 9i_@3OVl 结构设计 >\'}&oi
u&= {hJ&7 L f a&JKd 更深的分析 tr0kTW$Ad
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 +6+1N)L
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 [-W~ o.`
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 J<"Z6 '0v
 e$ QMR.'
使用TEA进行性能评估 @HI@ PZ> ~3Qa-s;g
G] xN #O; 使用FMM进行性能评估 K0'p*[yO/j
OD pAMt"
JB5%\ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 )2d1@]6#
)9/iH( Oel%l Y}m3 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 " \~>[on
fCs{%-6cP c?c"|.-<p 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 F|VHr@%
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