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摘要 [eTEK W] 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 H_Sv,lwz;c FYe fn3b 设计任务 +>[zn
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 D(dV{^} 9 mL'A$BR` 光栅级次分析模块设置 d/$e#8
v@s"*E/PF7
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 -HuIz6 T-kHk(
1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 %]tW2s"
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 p<l+js(5|
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 2 .v `J=R
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 0QrRG$<4X 衍射分束器表面 UCFFF%
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ,+gtr.
bu \(KR$s 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) J#iuF'%Ds
* 0JF|'
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 6Iz!_
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 X(DP=C}v9
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 QqBQ [<_ |q\i, } 光栅级次和可编程光栅分析仪 dWwb }r(ky
k][{4~z
ZGCp[ 2$
设计与评估结果 l-h[I>TW
相位功能设计 <+b~E,
结构设计 9Q\B1Q
TEA评价 =>A}eR1Y
FMM评估 t 0p
C R#-!_=4 通用设置 H&k&mRi
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 d+ $:u
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 ,,)'YhG( Ualw K 纯相位传输设计 M D,BGO?C
HFz;"s3lWM b0se- #+
结构设计 ?"?AH/E D
E b29tq X;vU z 更深的分析 Lc-Wf zT
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 S'@Ok=FSy
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 jgkY ^l
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 X"HVK+
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使用TEA进行性能评估 | &bucG= eU]I ! pI<
mOLz(0 使用FMM进行性能评估 {sq:vu@NC
7v.O Lp x&EMg! 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 b 1."mT!p
o{mVX idE c N\_1 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 #}tdA(
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{5+6 9&:G. ;oVOq$ql 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ^R7X!tOq4
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