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摘要 Y2>0Y3yM Ot([5/K 生成一个自定义探测器来计算一维周期结构的衍射效率,这是一个用户定义范围内入射方向的函数。根据效率,可以在定义的视场内评估衍射效率的平均值和对比度,并且可以用于定义优化函数以便进行可能的参数优化。 H`EsFKw\% Eq6.
s)10 X\HP&;Wd k\A[p\ 建模任务 vR?E'K3 ew
4pAav RC+`sZE9 任务: O~&j}WN 1qd(3A41 生成探测器来评估给定视场(FOV)的波导耦合光栅的性能(平均效率,均匀性)。 WYY&MHp U~s-'-C/ 探测器可用于分析透射或反射模式下的指定衍射级。 r"W,G/;h JsV-:J 视场(FOV)的定义 &LDA=B &l
_NCo2 调用傅里叶模态法(FMM) yYn7y1B z%~rQa./$ 使用探测器帮助浏览输入参数 A_}6J,*u {LoNp0i1a x}X
hL 探测器结果的评估 -cL wjI X-}]?OOs 作为结果,探测器会根据对特定衍射级次m作为一组平面波入射方向的函数的效率,来计算平均效率和均匀对比度。 I.hy"y2& ql(~3/kA_ 均匀对比度(或误差)由下式计算 `&5_~4T7 KAR **M p+ JYO("f #[yZP9 计算值在VirtualLab Fusion的探测器结果中显示。 w*krPaT3 meArS*d 矩形光栅的波导耦合分析 'NSfGC%7R *(CV OY~
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