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摘要 D56<fg$ 3z =^(Y 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 eny/
fm E#%}ZY
k[|~NLB8 {,$rkwW 本用例展示了...... @r7:NU} •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: epD?K - 矩形光栅界面 wTq{ sW& - 过渡点列表界面 }^ FulsC - 锯齿光栅界面 PD[z#T!' - 正弦光栅界面 ~qVz)< •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 7{kP}? j6:7AH|!)2 光栅工具箱初始化 h) (*q+a •初始化 *A}WP_ZQ - 开始 A$/\1282 光栅 $hrIO+ 通用光栅光路图 ub:ly0;t •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, </zXA$m 可直接选择特定的光路图。 <O~WB ,I.WX,OR
yJx?M F3U` ueP 光栅结构设置 `{K_/Cit •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 fRZ KEIyk
Qt>>$3]!! •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 |+,[``d>" •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 c "=N afEF]i
g(x9S'H3l n]Li->1 •例如,选择第一个界面上的堆栈。 `RRE(SiKU 62'1X" 堆栈编辑器 s 0u{dqP •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 cQj-+Tmu •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 e(
X|3h| !BIOY!M
!c#]?b% x *XH]&V 矩形光栅界面 ,zTb<g KDP H6 •一种可能的界面是矩形光栅界面。 Ddju~510 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 "`Ge~N[$A •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 ,,L2(N •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 K*-@Q0"KM{ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 #uCB)n&. E-5_{sc
lK7m=[j sJx+8
- 矩形光栅界面 ,3i,P(?( •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 RJeDEYXeg •所选界面在视图中以红色突出显示。 6.1)IQkO
E.bi05l •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 g| <wyt[ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 nz.{P@[Qk Y/ot3[ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 n.oUVr=nX •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 `6Qdfmk= •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 sZgRt IeX^4rc( VhGs/5 ![6EUMx
"t=hzn"~% U5HKRO 矩形光栅界面参数 LjFqZrH •矩形光栅界面由以下参数定义 C#V ~Y - 狭缝宽度(绝对或相对) h0vob_Fdl - 光栅周期 RC#C\S6 - 调制深度 BKa-
k! •可以选择设置横向移位和旋转。 #:x4DvDkR V
D?*h
?|{XZQ~ J
T#d(Y 高级选项和信息 2Se?J)MN •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 H5cV5E0 •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 o KD/rI •可以设置总级次数或衰逝波级次数 abNV4 ,M (evanescent orders)。 &ZHC-qMRK •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 ''OfS D_g •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 _96~rel_P ,tH5e&=U01 X@)z80 `i
+g{kE2M •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 5qUTMT['T •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 )+")Sz3zx •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 ?Ucu#UO •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 iTh:N2/-vc }ov&.,vQ q_W0/Ki8 U_l'3oPJw 过渡点列表界面 F(#rQ_z] •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 ow=UtA-^O •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 H=g.34 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 ; |/leu8 `cQo0{xK s#Jh -+lM 过渡点列表参数 w6dFb6~R •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 -F"QEL# •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 ;;$# )b /y7M lU9 Z}A%=Z\/3 kPBV6+d~ •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 p,pR!qC> •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 )? M9|u •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 g[>\4B9t [OTJV pC
o`zr> depYqYK7G 高级选项及信息 ]9=h%5Ji> •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 l&VjUPz_ x6afI<dm
'$As<LOEd/ ;g_>
;tR/ 正弦光栅界面 1pv}]&X •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 %u^JpC{E •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 { wF&+kH3 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 6<,dRn - 脊的材料:基板的材料 n26Y]7N - 凹槽材料:光栅前面的材料 -"Y{$/B w:Jrmx 22<0DhJ m+{K^kr[ 正弦光栅界面参数 cWGDee( - 正弦光栅界面也由以下参数定义: b5IA"w •光栅周期 H_!4>G@ •调制深度 {u!)y?}I- - 可以选择设置横向移位和旋转。 kY,U8a3! - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 TvNY:m6.%
o47r<>t f"7M^1)h2% N$Y " c* 高级选项和信息 P X;Ed*y •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 =Cv/Y%DN ri C[lB
;U:
{/ 4ww]9J 高级选项及信息 0w'j+ •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 k+V6,V)my -16K7yk 04J}UE]Ww 锯齿光栅界面 =.|J!x •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 2M)]!lYy •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 s%iOUL2/ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: .yT8NTu~0j - 脊的材料:基板的材料 )CI1; - 凹槽材料:光栅前面的材料 KtS)'jf UgB'[@McS
o }Tz"bN <J(sR 锯齿光栅界面参数 q;5i4| •锯齿光栅界面也由以下参数定义: jUj<~:Q}3o - 光栅周期 V~GWl1#7 - 调制深度 =k3!RW' •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 FZd.L6q •可以选择设置横向移位和旋转。 $(s\{(Wn •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 sDgXU@ d;Hn#2C lcON+j MyJ4><oG 高级选项和信息 K.C>
a:J •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 cN! uV-e E'1+ Yq 探测器位置的注释 DPrBFmHF 关于探测器位置的注释 TUL_TR •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 bG&"9b_c •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 QQk{\PV •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 :J}t&t •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 r8xyd"Axy •可以避免这些干涉效应的不良影响。 h:XzUxL\ gw+9x<e
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