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摘要 uB35CRd ~
*P9_< 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 [E/8E
h< xiQ;lE
b=Y3O ^v@&
q 本用例展示了...... `d:cq.OO •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: NGb\e5? - 矩形光栅界面 a5%IjgQ&z - 过渡点列表界面 Di #E m[ - 锯齿光栅界面 *5;#+%A - 正弦光栅界面 >]WQ1E[= •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 MIwkFI8 >"+bL6# 光栅工具箱初始化 Le}-F{~`^ •初始化 04R-} - 开始 \+sP<'~M 光栅 k%lz%r 通用光栅光路图 GG[$- •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, '}
LAZQ" 可直接选择特定的光路图。
8Wyv!tL OPVcT
/h73'"SpDy @60/IE{-v 光栅结构设置 VcR(9~ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 ;yg9{"O
Po82nKAh •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 `1"Xj ^
YM •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 4';(\42 o9uir"=
[\e2 ID; `=cOTn52 •例如,选择第一个界面上的堆栈。 ;]Bkw6o 4PAuEM/z 堆栈编辑器 En/EQ\T@F •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 Og~3eL[1%C •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 6,;7iA] >0qe*4n|M
:0RfA% DG"Z: ^`* 矩形光栅界面 O<?z\yBtS^ lGtTZcg •一种可能的界面是矩形光栅界面。 u|]`gsFZ\ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 o2M4?}TpIV •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 p/!P kKJ •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 o>Jr6:D( •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 7cJh^M <:UP
-Lbi eS% gT~Yn~~b 矩形光栅界面 T.p:`}Ma •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 N61\]BN< •所选界面在视图中以红色突出显示。 s>^$: wzu
==pGRauq •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 A[O' e •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 jh&WL Zl+Ba •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 B`SHr"k!V[ •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 KcQe1mT!+ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 ]DO"2r qKd&d ,HLgb}~ IDpW5Dc
78W& m@){@i2. 矩形光栅界面参数
<c&6M •矩形光栅界面由以下参数定义 CsND:m - 狭缝宽度(绝对或相对) `<:D.9vO " - 光栅周期 *N#{~ - 调制深度 #U j~F •可以选择设置横向移位和旋转。 0'9zXJ" +(|6Wv
APA:K9jD ]TmxCTVL 高级选项和信息 h!L6NS_Q, •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 %IbG@}54 •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 (\M&Q-xZ •可以设置总级次数或衰逝波级次数 ,[{)4J$MV (evanescent orders)。 psZAO,p •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 9cm9; •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 "2'pS<| !w9w{dtW= (;@\gRL BcvCm+.S: •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 'sCj|=y2Qc •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 TE.O@:7Z •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 (wRJ"Nwu •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 CF:s@Z+ tM$w0Cj )Q%hd |R 71# ipZ 过渡点列表界面 DVWqrK}q •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 _V`Gmy[]p •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ?Gq|OT8 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 I;<aJo6Yl LT3ViCZ-n 1[;~>t@C 过渡点列表参数 :sY pZX1 •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 dk^Uf84.Gr •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 hZobFf 5k^UZw L/VlmN_v>s o=1M<dL •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 0;kp`hB •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 }smPP* •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 1 %nE )lo;y~ o
d/k70Ybk |aT&rpt 高级选项及信息 .cV<(J 5o •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 cq=ker zQ Jmp%%^
v{Rj,Ou x dT1jI 正弦光栅界面 ;ss,x
•另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 :|\{mo1NB •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 U '#Xwax •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: &C.{7ZNt - 脊的材料:基板的材料 />Z`? - 凹槽材料:光栅前面的材料 z|o7k;raH 5VU
5kiCt Ltx eT. $X9`~Sv _ 正弦光栅界面参数 t@`w}o[# - 正弦光栅界面也由以下参数定义: DRn]>IFU •光栅周期 MrW#~S|ED •调制深度 oM&}akPE - 可以选择设置横向移位和旋转。 5p. vo"7 - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 %V +hm5Q pE<@ vCf{k =peodj^ 高级选项和信息 O]>FNsh ! •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 UkE fuH w$X"E*~>8
0~(K@U># eCDwY:t` 高级选项及信息 wN|;_~h2 •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 yl>V' +ld]P} , :I:F 锯齿光栅界面 F ka^0 •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 k//l~A9m •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 HinPO •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: aDV~T24 - 脊的材料:基板的材料 +:a#+]g - 凹槽材料:光栅前面的材料 \; 9log<Z Y+,ii$Ce~
)(?,1>k`Z V__|NVoOm 锯齿光栅界面参数 Y
,Iv<Hg •锯齿光栅界面也由以下参数定义: m#\I&(l+ - 光栅周期 v0D~zV"<y - 调制深度 kq{PM-]l •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 %j.B/U$ •可以选择设置横向移位和旋转。 ma!rZn •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 Xjy5Yj B_gzpS] Y<4%4>a >FVBn;1 高级选项和信息 Hwz.5hV" •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 u<VR;p:y I%^Bl:M 探测器位置的注释 6.!aJJLN 关于探测器位置的注释 &V`~ z
e •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 BHNcE*U}@? •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 x1@`\r#0 •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。
}T)0:DF1, •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 !
sN~w •可以避免这些干涉效应的不良影响。 %kHeU= \aEarIX#*
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