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KLitg6&P 内容简介 lyy W Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 {B?Wu3- 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 1m:XR0 P 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 4W#vP *n 6s.$p)% 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 S+atn]eU@ 目录 BGD8w2 Preface 1 $Q96,rb}k; 内容简介 2 [z`31F 目录 i ||hb~%JK6 1 引言 1 )4gJd?
8R 2 光学薄膜基础 2 F`Q[6"<a 2.1 一般规则 2 ,9}h 2.2 正交入射规则 3 A+"ia1p,} 2.3 斜入射规则 6 #\.,? A}9 2.4 精确计算 7 JORGj0v 2.5 相干性 8 Jq&uF*! 2.6 参考文献 10 .TND a& 3 Essential Macleod的快速预览 10 4'g;TI^ 4 Essential Macleod的特点 32 aT)BR?OYSJ 4.1 容量和局限性 33 0=* 8
4.2 程序在哪里? 33 2jg- 4.3 数据文件 35 <acUKfpY 4.4 设计规则 35 fPn>v)lN{ 4.5 材料数据库和资料库 37 / ';0H_ 4.5.1材料损失 38 yp KUkH/ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 w+#C-&z 4.5.2 材料库 41 ;V*R*R 4.5.3导出材料数据 43 j9?}j#@ 4.6 常用单位 43 ]iN'x?Fo 4.7 插值和外推法 46 )Dw,q~xgg0 4.8 材料数据的平滑 50 .aAL]-Rj
4.9 更多光学常数模型 54 uxtWybv 4.10 文档的一般编辑规则 55 tyXuG< 4.11 撤销和重做 56 ?Z Rs\+{vG 4.12 设计文档 57 \Xm,OE_v" 4.10.1 公式 58 .S(TxksCz 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 m?pstuUK( 4.10.3 沉积密度 59 ,SynnE68 4.10.4 平行和楔形介质 60 5][Ztx 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 -+ SF 4.10.4 性能 61 Co (.:z~ 4.10.5 保存设计和性能 64 /y _O4 4.10.6 默认设计 64 5p<ItU$pnL 4.11 图表 64 S1p;nK 4.11.1 合并曲线图 67 4
N H 4.11.2 自适应绘制 68 v,
n$^R 4.11.3 动态绘图 68 WG6FQAo^8 4.11.4 3D绘图 69 |Y$uqRdV 4.12 导入和导出 73 { /K.3 4.12.1 剪贴板 73 R< ,`[* Z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ?t/~lv 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 R:e<W/P" 4.13 背景 77 2z6yn?'&L 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 *BR~}1
i 4.15 生成Rugate 84 u<3HQ.:; 4.16 参考文献 91 ~$iIVJ` 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ])|d"[ur= 5.1 Jobs 92 S{PJUAu 5.2 创建一个新Job(工作) 93 P<l&0dPO8 5.3 输入材料 94 mef<=5t 5.4 设计数据文件夹 95 dx;Ysn0- 5.5 默认设计 95 C~nzH,5 6 细化和合成 97 g!$!F>[ 6.1 优化介绍 97 qfL~Wp2E; 6.2 细化 (Refinement) 98 SSz~YR^}Sr 6.3 合成 (Synthesis) 100 eqP&8^HP 6.4 目标和评价函数 101 GNXHM*~ 6.4.1 目标输入 102 Gb8D[1=u= 6.4.2 目标 103 0Fk5kGD,&K 6.4.3 特殊的评价函数 104 1<BX]-/tP 6.5 层锁定和连接 104 jNLw= 6.6 细化技术 104 NLUT#!Gr 6.6.1 单纯形 105 ]l1\? I 6.6.1.1 单纯形参数 106 : >6F+XZ
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 J8S'/y(LE< 6.6.2.1 Optimac参数 108 =NnNN'} 6.6.3 模拟退火算法 109 lJu;O/ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 D2](da:]8) 6.6.4 共轭梯度 111 OK{quM5 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 !n*
+(lZ 6.6.5 拟牛顿法 112 p[hZ@f(z 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ;'5>q&[qbP 6.6.6 针合成 113 ::ajlRZG 6.6.6.1 针合成参数 114 ue4Vcf 6.6.7 差分进化 114 2_n7=& 6.6.8非局部细化 115 2q3+0Et8 6.6.8.1非局部细化参数 115 ~aMlr6; 6.7 我应该使用哪种技术? 116 } \HN&@ 6.7.1 细化 116 85n1eE 6.7.2 合成 117 5jd,{< 6.8 参考文献 117 R_sr?V|" 7 导纳图及其他工具 118 62 O.?Ij 7.1 简介 118 `S6x<J&T\/ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 LXbP 2 7.2.1 四分之一波长规则 119 3gv|9T 7.2.2 导纳图 120 <\NY<QIwFw 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 J4Nln 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 &d"G/6 7.5 斜入射导纳图 141 .q9
$\wM/ 7.6 对称周期 141 ( M7pT 7.7 参考文献 142 -i)ZQCE 8 典型的镀膜实例 143 D+>4AqG 8.1 单层抗反射薄膜 145 Tav*+ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 clNkph 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 p?B=1vn-2 8.4 W-膜层 148 vg3=8># 8.5 V-膜层 149 -7S g62THS 8.6 V-膜层高折射基底 150 rW+ =,L 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 a4XU?-sUh 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 xZ6~Ma2z 8.9 四层抗反射薄膜 153 GM3f-\/ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 f>W- 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 _(h&7P9 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 K{[%7AM 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
|QU <e 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 c17_2 @N 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ~NQ72wph{ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 NMa}
< 8.17 1/4波长堆栈 162 TMig-y*[ 8.18 陷波滤波器 163 73xAG1D$r 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 0URji~?|x 8.20 褶皱 165 |962G1. 8.21 消偏振分光器1 169 5<UVD:~z 8.22 消偏振分光器2 171 S4G^z}{_ 8.23 消偏振立体分光器 172 v#.r.{t 8.24 消偏振截止滤光片 173 f ` R/
i 8.25 立体偏振分束器1 174 KTP8?Q"n0 8.26 立方偏振分束器2 177 (>r[-Bft 8.27 相位延迟器 178 (+B5|_xQu 8.28 红外截止器 179 13@|w1/Z 8.29 21层长波带通滤波器 180 m06ALD_ 8.30 49层长波带通滤波器 181 +R|z{M)* 8.31 55层短波带通滤波器 182 .w0s%T,8}^ 8.32 47 红外截止器 183 <Dwar>} 8.33 宽带通滤波器 184 B oC5E#;G 8.34 诱导透射滤波器 186 @ Wd9I;hWv 8.35 诱导透射滤波器2 188 %`r?c<P} 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 LN@F+CyDc 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 DP3PYJ%+B 8.35 增益平坦滤波器 193 hJZV}a| 8.38 啁啾反射镜 1 196 PK0%g$0 8.39 啁啾反射镜2 198 ^-,xE>3o 8.40 啁啾反射镜3 199 n
p\TlUc 8.41 带保护层的铝膜层 200 &o,<ijJ:^m 8.42 增加铝反射率膜 201 }Q=!Y>Tc 8.43 参考文献 202 %`&2+\` 9 多层膜 204 4iKgg[)7`= 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Y?(r3E^x 9.2 内部透过率 204 9Hf9VC3 9.3 内部透射率数据 205 )XYv}U 9.4 实例 206 pKit~A,Q 9.5 实例2 210 J/[=p<I) 9.6 圆锥和带宽计算 212 0l-Ef1 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 4:r!|PJn{G 10 光学薄膜的颜色 216 .=X}cJ]`[ 10.1 导言 216 $shoasSuI 10.2 色彩 216 ]Bjyi[#bg 10.3 主波长和纯度 220 i 7x7xtq 10.4 色相和纯度 221 wid;8%m 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 2T V X)q<\ 10.6 色差 226 m]5Cq6 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 X@K-^8 10.8 颜色渲染指数 234 =o& >fw 10.9 色差计算 235 STxKE %l 10.10 参考文献 236 f;1K5Y 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 G0^2Wk[ 11.1 短脉冲 238 iZaI_\"__ 11.2 群速度 239 aVK3?y2 11.3 群速度色散 241 Il=
W,/y 11.4 啁啾(chirped) 245 j(RWO 11.5 光学薄膜—相变 245 qoj$]
11.6 群延迟和延迟色散 246 FRg^c
kb" 11.7 色度色散 246 L1Iz<> 11.8 色散补偿 249 ?<(m
5Al7 11.9 空间光线偏移 256 v?&
-xH-S 11.10 参考文献 258 XgLL!5` 12 公差与误差 260 *:L?#Bw 12.1 蒙特卡罗模型 260 H\qC[" 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 V>A.iim 12.2.1 误差工具 267 Qzlo'e1 12.2.2 灵敏度工具 271 ,'p2v)p^4 12.2.2.1 独立灵敏度 271 <xgTS[k 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ^xij{W`| 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ?i06f,- 12.3 参考文献 276 ;S57w1PbVA 13 Runsheet 与Simulator 277 mo[Zb0> 13.1 原理介绍 277 11<KpxKpk 13.2 截止滤光片设计 277 dv.(7Y7.x 14 光学常数提取 289 HA2k[F@3^ 14.1 介绍 289 kX>f^U{j 14.2 电介质薄膜 289 1#0{@35 14.3 n 和k 的提取工具 295 \ aHVs 14.4 基底的参数提取 302 N(y\dL=v 14.5 金属的参数提取 306 ]K/DY Do- 14.6 不正确的模型 306 Yx eOI#L 14.7 参考文献 311 Vzwc}k*Y 15 反演工程 313 8"fD`jtQ 15.1 随机性和系统性 313 "QWq_R 15.2 常见的系统性问题 314 d"6&AJ5a 15.3 单层膜 314 F@<CsgKB- 15.4 多层膜 314 {3.r6ZwCn 15.5 含义 319 xv&Q+HD 15.6 反演工程实例 319 p TeOW9 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 j4;0|zx-i 15.6.2 反演工程提取折射率 327 n(L\||#+ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 /C4^<k\ 16.1 光学性质的热致偏移 329 Vv8jEZ8 16.2 应力工具 335 unBy&?&p 16.3 均匀性误差 339 iv>SsW'p_ 16.3.1 圆锥工具 339 Q)LM-ZJKQ 16.3.2 波前问题 341 dO4{|(z 16.4 参考文献 343 lhw()u 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 XwlbJ=mf 17.1 引言 345 /6h(6 *JI 17.2 操作数 345 ]Yvga!S"C 18 如何在Function中编写脚本 351 SL;9Q[ 18.1 简介 351 ~R&;v3 18.2 什么是脚本? 351 kn>$lTHQ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 86\S?=J-b 18.4 基础 352 :@!ic<p 18.4.1 Classes(类别) 352 T+<A`k: - 18.4.2 对象 352 Fm #w2o 18.4.3 信息(Messages) 352 <~n$1aA 18.4.4 属性 352 /l<<_uk$ 18.4.5 方法 353 9M1d%jT 18.4.6 变量声明 353 ;Hj~n+ 18.5 创建对象 354 Vgyew9>E 18.5.1 创建对象函数 355
NsJ(`zk: 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 <F.Tx$s 18.5.3 丢弃对象 356 ,iv|Pq$! 18.5.4 总结 356 6+KHQFb&N 18.6 脚本中的表格 357 Hx\H $Y 18.6.1 方法1 357 ~I799Xi 18.6.2 方法2 357 hDp6YV,q 18.7 2D Plots in Scripts 358 Xixqxm*8 18.8 3D Plots in Scripts 359 Tp9-niW 18.9 注释 360 i![dPM 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 zBJ7(zh! 18.11 一个更高级的脚本 362 gW1b~(
fD 18.12 <esc>键 364 L0tAgW!@ 18.13 包含文件 365 ]<q[Do8k 18.14 脚本被优化调用 366 K
a(J52 18.15 脚本中的对话框 368 }GZ}Q5 18.15.1 介绍 368 *r$+&8V\n 18.15.2 消息框-MsgBox 368 }LijnHH. 18.15.3 输入框函数 370 ~DsECnD 18.15.4 自定义对话框 371 kr9gK~ 18.15.5 对话框编辑器 371 `QUy;%+ 18.15.6 控制对话框 377 zKsz*xv6b 18.15.7 更高级的对话框 380 4|`Bq}sjZf 18.16 Types语句 384 K&U7H: 18.17 打开文件 385 0sh/|`\ 18.18 Bags 387 }A:<%N 18.13 进一步研究 388 v^_mFp-}\ 19 vStack 389 yGsz2T;w 19.1 vStack基本原理 389 bgK<pi)d 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 /2HN>{F^Y 19.3 五棱镜 393 \#>T~.Y7K 19.4 光束距离 396 fuB)qt!E 19.5 误差 399 m/@<c'i 19.6 二向分色棱镜 399 fS"Hr 0 19.7 偏振泄漏 404 %O<%UmR 19.8 波前误差—相位 405 ,E$@=1) 19.9 其它计算参数 405 WMBm6?54 20 报表生成器 406 @mBX~ ?=Z3 20.1 入门 406 KV*xApb9y 20.2 指令(Instructions) 406 (} 5S 20.3 页面布局指令 406 l?q%?v8 20.4 常见的参数图和三维图 407 2AVa( 20.5 表格中的常见参数 408 5&e<#" 20.6 迭代指令 408 Cb_oS4vM 20.7 报表模版 408 1<h>B: 20.8 开始设计一个报表模版 409 BkZV!Eg 21 一个新的project 413 F5 ]C{ 21.1 创建一个新Job 414 \6 93kQ 21.2 默认设计 415 =SAU4xjo 21.3 薄膜设计 416 bLnrbid 21.4 误差的灵敏度计算 420 /2RajsK 21.5 显色指数计算 422 zA;@@)hwR 21.6 电场分布 424 gn{=%`[ 后记 426 \G2B?>E; 对书籍感兴趣可以加微18001704725 _zu?.I0^
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