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R~jV 内容简介 l\vvM>#S Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ?[[K6v}q{ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @J[l^o9 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 8vN} v3HV& Y0kDHG 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 N9W\>hKaeh 目录 W]8tp@ Preface 1 VrV* -J' 内容简介 2 QK+s}ny 目录 i <K8$00lm 1 引言 1 u>~G)lx% 2 光学薄膜基础 2 Z19d Ted33 2.1 一般规则 2
8&AHu 2.2 正交入射规则 3 .3(=UQ 2.3 斜入射规则 6 $(2c0S{ 1 2.4 精确计算 7 #8N9@ 2.5 相干性 8 C*e)UPK` 2.6 参考文献 10 kNX(@f 3 Essential Macleod的快速预览 10 R~-r8dWcw 4 Essential Macleod的特点 32 7\'ow|)}v 4.1 容量和局限性 33 6B4s6 4.2 程序在哪里? 33 !ul)e;a 4.3 数据文件 35 X#s:C=q1 4.4 设计规则 35 #y~`nyg%| 4.5 材料数据库和资料库 37 l8n}&zX 4.5.1材料损失 38 st;.Po[h 4.5.1材料数据库和导入材料 39 %4Nq T 4.5.2 材料库 41 !_+LmBd
G 4.5.3导出材料数据 43 #S[:Q.0 ; 4.6 常用单位 43 E%g_O_ 4.7 插值和外推法 46 ~jd:3ip+! 4.8 材料数据的平滑 50 `jR = X 4.9 更多光学常数模型 54 JwzA'[tM 4.10 文档的一般编辑规则 55 MC5M><5\ 4.11 撤销和重做 56 S.o@95M
4.12 设计文档 57 xg~
Baun 4.10.1 公式 58 =1o_:VOG 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 jW6~^>S 4.10.3 沉积密度 59 PI7M3\z 4.10.4 平行和楔形介质 60 {nH.
_ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Pnb?NVP!^9 4.10.4 性能 61 f-5vE9G3y7 4.10.5 保存设计和性能 64 dQ*3s>B[ 4.10.6 默认设计 64 Ez^U1KKOE7 4.11 图表 64 aHKv*-z- 4.11.1 合并曲线图 67 F+vgkqs@9 4.11.2 自适应绘制 68 @] .Ko[P~ 4.11.3 动态绘图 68 tzv&E0|d 4.11.4 3D绘图 69 uS3s 4.12 导入和导出 73 ]A;zY%> 4.12.1 剪贴板 73 [guJd"; 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 3@e#E4+ff 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 zJ4 2%0g 4.13 背景 77 3=!\>0;E- 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 &3VR)Bxn 4.15 生成Rugate 84 #!\g5 ')mC 4.16 参考文献 91 &Y"u*)bm 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 62&E]>A(i 5.1 Jobs 92 oDp!^G2A" 5.2 创建一个新Job(工作) 93
=@b/Gl 5.3 输入材料 94
WpX)[au 5.4 设计数据文件夹 95 9)p VDS 5.5 默认设计 95 uX@RdkC 6 细化和合成 97 rlYAy5& 6.1 优化介绍 97 g7k|Ho-W 6.2 细化 (Refinement) 98 ' } rUbJo 6.3 合成 (Synthesis) 100 TD+V.} 6.4 目标和评价函数 101 CuPZ0 6.4.1 目标输入 102 6\(wU?m'/ 6.4.2 目标 103 @bdGV#*d 6.4.3 特殊的评价函数 104 r8XY"< 6.5 层锁定和连接 104 XGZ1a/x;s 6.6 细化技术 104 rmc0dm&l] 6.6.1 单纯形 105 kS[xwbE 6.6.1.1 单纯形参数 106 Le"$k su> 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 HT/zcd)}# 6.6.2.1 Optimac参数 108 KFHn)+*" 6.6.3 模拟退火算法 109 0|8c2{9X, 6.6.3.1 模拟退火参数 109 `,ZsKxI 6.6.4 共轭梯度 111 v\ggFrG] 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 y5>859"h 6.6.5 拟牛顿法 112 ?4wS/_C/ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 epi{Ayb 6.6.6 针合成 113 vBCQ-l<Ub 6.6.6.1 针合成参数 114 hA6!F#1 6.6.7 差分进化 114 aG QC 6.6.8非局部细化 115 qve2?,i8hM 6.6.8.1非局部细化参数 115 bLoAtI 6.7 我应该使用哪种技术? 116 siw }
}} 6.7.1 细化 116 w\KO1 Ob 6.7.2 合成 117 ]V J$;v'{[ 6.8 参考文献 117 17[7)M88 7 导纳图及其他工具 118 9mkt.>$ 7.1 简介 118 +`l>_u' 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 <jXXj[M2 7.2.1 四分之一波长规则 119 ^R\0<\' 7.2.2 导纳图 120 pZz?c/h- 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 m\|I.BUG 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 vMKmHq 7.5 斜入射导纳图 141 ]+Yd#<j(u 7.6 对称周期 141 PiXegh WH 7.7 参考文献 142 }X94M7+-> 8 典型的镀膜实例 143 OOS(YP@b 8.1 单层抗反射薄膜 145 x2+%.$' 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 M >Yx_)<U 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 oEvXZ;F@. 8.4 W-膜层 148
!]4'f/ 8.5 V-膜层 149 T(K~be 8.6 V-膜层高折射基底 150 P4"_qxAW 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 a) GLz 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 m5r65=E 8.9 四层抗反射薄膜 153 MrEyN8X 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 W4Nbl 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ]&w>p#_C 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 .ICGGC`O 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Q~<$'j 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ZP5.?A-=C 8.15十五层宽带抗反射膜 159 }5-^:}gL 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 74ma
8.17 1/4波长堆栈 162 "WR)a`$UR 8.18 陷波滤波器 163 i>i@r ;:| 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 lDd+.44V: 8.20 褶皱 165 `|e?91@vEa 8.21 消偏振分光器1 169 hu.c&Q> 8.22 消偏振分光器2 171 wmdvAMN 8.23 消偏振立体分光器 172 msOk~ZPE6\ 8.24 消偏振截止滤光片 173 -S\74hA 8.25 立体偏振分束器1 174 6
?FF!x 8.26 立方偏振分束器2 177 |k3ZdM 8.27 相位延迟器 178 UbKdB 8.28 红外截止器 179 /PF X1hSu 8.29 21层长波带通滤波器 180 1?sR1du, 8.30 49层长波带通滤波器 181 AGkk|` 8.31 55层短波带通滤波器 182 ) D:M_T2 8.32 47 红外截止器 183 O0Y/y2d 8.33 宽带通滤波器 184 ]}H;`H 8.34 诱导透射滤波器 186 YpMQY-n 8.35 诱导透射滤波器2 188 Q.Uyl:^PxU 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
CS2AKa@` 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 '>-
C!\t 8.35 增益平坦滤波器 193 5fuOl-M0W 8.38 啁啾反射镜 1 196 )MqF~[k<- 8.39 啁啾反射镜2 198 w%;Z`Xn&u 8.40 啁啾反射镜3 199
*&{M, 8.41 带保护层的铝膜层 200 R4v)}`x 8.42 增加铝反射率膜 201 CJ0j2e/ 8.43 参考文献 202 zk= 3L} C 9 多层膜 204 OnFx8r:q@% 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 cLR02 9.2 内部透过率 204 ,":_=Tf. 9.3 内部透射率数据 205 nf?;h!_7 9.4 实例 206 (cJb/|?3 9.5 实例2 210 7JNhCOBB 9.6 圆锥和带宽计算 212 +O>1Ed 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 '^"6EF.R
10 光学薄膜的颜色 216 n}X)a-= 10.1 导言 216 *kE2d{h^=C 10.2 色彩 216 \
a18Hp|% 10.3 主波长和纯度 220 "MZj}}l 10.4 色相和纯度 221 Vvu+gP'z. 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 !^BXai/ 10.6 色差 226 1^rODfY 0 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 TWE$@/9 )g 10.8 颜色渲染指数 234 f@lRa>Z(Fm 10.9 色差计算 235 |9.`qv 10.10 参考文献 236 .6S]\dp7~ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 }2 zJ8A9- 11.1 短脉冲 238 `r;e\Cp 11.2 群速度 239 P[-2^1P" 11.3 群速度色散 241 rf1Us2vp 11.4 啁啾(chirped) 245 Wo=Q7~ 11.5 光学薄膜—相变 245 yE L^Y'x? 11.6 群延迟和延迟色散 246 *+TIF"|1 11.7 色度色散 246 1HK5OT& 11.8 色散补偿 249 @*jd.a` 11.9 空间光线偏移 256 wQiRj. 11.10 参考文献 258 oW3{&vfz 12 公差与误差 260 [I:D\)$< 12.1 蒙特卡罗模型 260 '}h[*IB}5 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 *X_CtjgF 12.2.1 误差工具 267 AU@K5jwDwQ 12.2.2 灵敏度工具 271 tkU"/$Vi\ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 _q`$W9M+k 12.2.2.2 灵敏度分布 275 {#YGor| 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 A8Q1x/d( 12.3 参考文献 276 sIpq 13 Runsheet 与Simulator 277 >i=^Mh-bm 13.1 原理介绍 277 bAv>?Xqa 13.2 截止滤光片设计 277 m5Gt8Z 6a 14 光学常数提取 289 }.w@.
S" 14.1 介绍 289 2)(P;[m^o 14.2 电介质薄膜 289 tj@IrwC^e" 14.3 n 和k 的提取工具 295 3Tv;<hF 14.4 基底的参数提取 302 ]5b%r;_ 14.5 金属的参数提取 306 TGx:#x*k 14.6 不正确的模型 306 1L.H" 14.7 参考文献 311 .nX+!EXeS 15 反演工程 313 6+HpN"?e 15.1 随机性和系统性 313 {'P7D4w 15.2 常见的系统性问题 314 %Z?2.) 15.3 单层膜 314 51 3{oM:
15.4 多层膜 314 5]n5nqz 15.5 含义 319 }I_/>58 15.6 反演工程实例 319 D/pc)3Ofe 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 :{NvBxc[ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Wi ]Mp7b 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 $8#zPJR& 16.1 光学性质的热致偏移 329 7@"J&><w! 16.2 应力工具 335 CbTYt6DC 16.3 均匀性误差 339 vB >7W 16.3.1 圆锥工具 339 b}63?.M{ 16.3.2 波前问题 341 bm9@A]yP 16.4 参考文献 343 <wV?B9j 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 afY~Y?PJ< 17.1 引言 345 g2p/#\D\J 17.2 操作数 345 `[x`#irD 18 如何在Function中编写脚本 351 f%ude@E3 18.1 简介 351 8+m;zvDSU 18.2 什么是脚本? 351 <}x_F)E[t 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 GQ~wx1jj1 18.4 基础 352 a&b75.- 18.4.1 Classes(类别) 352 I_xvg
>i 18.4.2 对象 352 .T0w2Dv/ 18.4.3 信息(Messages) 352 lN"%~n? 18.4.4 属性 352 dbF?#s~u 18.4.5 方法 353 P}B{FIpNG 18.4.6 变量声明 353 mEsOYIu{ 18.5 创建对象 354 +$R4'{9q 18.5.1 创建对象函数 355 6rlafISvO 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 >g8H 18.5.3 丢弃对象 356 'B&gr}@4O= 18.5.4 总结 356 |f+|OZY 18.6 脚本中的表格 357 W9>q1 18.6.1 方法1 357 $w{!}U 2+- 18.6.2 方法2 357 FTvFtdY 18.7 2D Plots in Scripts 358
meQ>mW 18.8 3D Plots in Scripts 359 )`5kfj 18.9 注释 360 $oKT-G 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 tVJ}NI # 18.11 一个更高级的脚本 362 ?g*#ld() 18.12 <esc>键 364 f4Aevh: 18.13 包含文件 365 ;`<uo$R 18.14 脚本被优化调用 366 ]A)`I 18.15 脚本中的对话框 368 2L}F=$zz 18.15.1 介绍 368 <:=}1t.Z 18.15.2 消息框-MsgBox 368 tNf?pV77 18.15.3 输入框函数 370 lt 74`9,f 18.15.4 自定义对话框 371 PYWp2V/ 18.15.5 对话框编辑器 371 T;/Y/Fd 18.15.6 控制对话框 377 7,Tg>,%Q 18.15.7 更高级的对话框 380 7!.#:+rg5# 18.16 Types语句 384 C"
vj#Tx 18.17 打开文件 385 Z6@W)Q X 18.18 Bags 387
/~`4a 18.13 进一步研究 388 >
cFH=um 19 vStack 389 !bEy~. 19.1 vStack基本原理 389 @64PdM!L 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 $RA8U:Q!1e 19.3 五棱镜 393 !ER,o_T< 19.4 光束距离 396 6
6S
I 19.5 误差 399 7P!<c/ E 19.6 二向分色棱镜 399 uA#uq^3 19.7 偏振泄漏 404 *xY}?vSs 19.8 波前误差—相位 405 s~OGlPK 19.9 其它计算参数 405 Lo"w,p`n@ 20 报表生成器 406 Jv*[@
-.k 20.1 入门 406 Fy(-.S1 20.2 指令(Instructions) 406 h>>KH*dQ 20.3 页面布局指令 406 q1C) *8*g 20.4 常见的参数图和三维图 407 #NU;$& 20.5 表格中的常见参数 408 8}9B*m 20.6 迭代指令 408 Ww8<f$ 20.7 报表模版 408 bvVEV 20.8 开始设计一个报表模版 409 #
`}(x;ge
21 一个新的project 413 )*!"6d)^ 21.1 创建一个新Job 414 Q4;eN w 21.2 默认设计 415 70s. 21.3 薄膜设计 416 $$my,:nH 21.4 误差的灵敏度计算 420 M'Fa[n*b?! 21.5 显色指数计算 422 v/ dyu 21.6 电场分布 424 d1MY>zq 后记 426 >,JLYz|</ 对书籍感兴趣可以加微18001704725 '9O4$s1
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