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oFUP`p%[ 内容简介 LuIs4&[EW Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $2\k| @)s 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 80qe5WC.2u 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Z]Iyj
97
'HDbU#vD 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 3RTraF 目录 {BKr/) H Preface 1 1]j_4M14aA 内容简介 2 :N([s(}!$2 目录 i '^Ce9r} 1 引言 1 j(maj 2 光学薄膜基础 2 /R44x\nhr 2.1 一般规则 2 $I-i=:}g 2.2 正交入射规则 3 $di8#O* 2.3 斜入射规则 6 }];_ug*
" 2.4 精确计算 7 <xeo9'k6& 2.5 相干性 8 *S@0o6v 2.6 参考文献 10 -N[Q*;h| 3 Essential Macleod的快速预览 10 tkGJ!aUt 4 Essential Macleod的特点 32 _GK3]F0 4.1 容量和局限性 33 5=--+8[ bV 4.2 程序在哪里? 33 lfp'D+#p{ 4.3 数据文件 35 mMEa*9P 4.4 设计规则 35 Kq0!.455 4.5 材料数据库和资料库 37
1RF?
dv 4.5.1材料损失 38 #7A_p8 4.5.1材料数据库和导入材料 39 pZ4]oK\* 4.5.2 材料库 41 X6dv+&=? 4.5.3导出材料数据 43 p KF>_\
4.6 常用单位 43 /n SmGAO 4.7 插值和外推法 46 e.|_=Gd2/ 4.8 材料数据的平滑 50 }6Uw4D61 4.9 更多光学常数模型 54 Ih.6"ISK} 4.10 文档的一般编辑规则 55 a jCx"J 4.11 撤销和重做 56 ;9hi2_luV 4.12 设计文档 57 C%csQ m 4.10.1 公式 58 VfiMR%i} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 !~&vcz0>)9 4.10.3 沉积密度 59 >9.xFiq< 4.10.4 平行和楔形介质 60 ^^I3%6UY 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 *XK9-%3 4.10.4 性能 61 I(dMiL 4.10.5 保存设计和性能 64 # N.(ZP 4.10.6 默认设计 64 >"Z^8J 4.11 图表 64 ]'F{uDm[ 4.11.1 合并曲线图 67 JL4\% 4.11.2 自适应绘制 68 ^c{,QS{ 4.11.3 动态绘图 68 xED`8PCfu 4.11.4 3D绘图 69 zW_V)UNe 4.12 导入和导出 73 {g>k-. 4.12.1 剪贴板 73 {<HL}m@kQ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ,HxsU,xiG 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Jn>7MuG 4.13 背景 77 l ^*GqP5 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 btK| U 4.15 生成Rugate 84 .f V-puE 4.16 参考文献 91 n#G
I& U 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 2>3gC_^go 5.1 Jobs 92 D %`64R 5.2 创建一个新Job(工作) 93 bg'B^E3 5.3 输入材料 94 _|S>,D' 5.4 设计数据文件夹 95 XLK#=YTI 5.5 默认设计 95 ,))UQ7N 6 细化和合成 97 .Y%)& 6.1 优化介绍 97 p0xd
c3 6.2 细化 (Refinement) 98 Ok+zUA[Wu 6.3 合成 (Synthesis) 100 rdsm
/^,s 6.4 目标和评价函数 101 av( d0E}}b 6.4.1 目标输入 102 \vB-0w 6.4.2 目标 103 IPU'M*|Q 6.4.3 特殊的评价函数 104 7 N?x29 6.5 层锁定和连接 104 Oph4&Ip[w 6.6 细化技术 104 nBd!296 6.6.1 单纯形 105 9lA@ K[ 6.6.1.1 单纯形参数 106 j[XA"DZR< 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 _XtLO-D 6.6.2.1 Optimac参数 108 "msCiqF{z 6.6.3 模拟退火算法 109 A/N$ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 :5G3uN+\ 6.6.4 共轭梯度 111 J<Wz3}w6 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 8x
jJ 6.6.5 拟牛顿法 112 q!k
F 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ujZki.x 6.6.6 针合成 113 2hV#3i 6.6.6.1 针合成参数 114 Sq&*K9:z 6.6.7 差分进化 114 >eg&i(C+ 6.6.8非局部细化 115 dhN[\Z% 6.6.8.1非局部细化参数 115 JbG\Ywi0] 6.7 我应该使用哪种技术? 116 zYdSg<[^ 6.7.1 细化 116 aTs5^Kh') 6.7.2 合成 117 $jb 0/ 6.8 参考文献 117 GV1\8OG7 7 导纳图及其他工具 118 fMr6ZmB 7.1 简介 118 PKR0y%Ar 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 a}a_&rf~Z 7.2.1 四分之一波长规则 119 _=jc%@]1y 7.2.2 导纳图 120 >\K<q>* 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 =y8HOT}8 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 |2XEt\P 7.5 斜入射导纳图 141 5+GW%U/ 7.6 对称周期 141 }$V]00
X 7.7 参考文献 142 Phl't~k 8 典型的镀膜实例 143 <pGPuw|~I 8.1 单层抗反射薄膜 145 Z!C\n[R/ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 0/<}.Z] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 !o*BRR* 8.4 W-膜层 148 Qp<?[C}'W 8.5 V-膜层 149 %}P^B^O 8.6 V-膜层高折射基底 150 qt}vM*0}V 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 epm
t 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 2GcQh]ohc 8.9 四层抗反射薄膜 153 x;LyR 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 f3U#|(%(* 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 E$/`7p8) 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 $Vbgfp~U- 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 (o{-1Dg) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 US'X9=b_ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 fyx-VXu 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 e%N\Pshgv 8.17 1/4波长堆栈 162 knpb$eX4 8.18 陷波滤波器 163 [9a0J):w{ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 SxC$EQgL 8.20 褶皱 165 %|Gi'-'|b$ 8.21 消偏振分光器1 169 !
2"zz/N{ 8.22 消偏振分光器2 171 7i~::Z < 8.23 消偏振立体分光器 172 <(?ahO5 8.24 消偏振截止滤光片 173 5JDqSz{ 8.25 立体偏振分束器1 174 2Y&z}4'j 8.26 立方偏振分束器2 177 oScHmGFv 8.27 相位延迟器 178 ]1%H.pF 8.28 红外截止器 179 B+ GPTQSTb 8.29 21层长波带通滤波器 180 IoJkM-^H&) 8.30 49层长波带通滤波器 181 p{!aRB% 8.31 55层短波带通滤波器 182 u~Q0V J~ 8.32 47 红外截止器 183 KwWqsuju 8.33 宽带通滤波器 184 G-Z_pGer^ 8.34 诱导透射滤波器 186 A2Rr*e 8.35 诱导透射滤波器2 188 )qD%5} t 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 d#I'9O0& 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 17H_>a\` 8.35 增益平坦滤波器 193 tHXt*tzq 8.38 啁啾反射镜 1 196 H]"Z_n_ 8.39 啁啾反射镜2 198 .Q?cNSWU 8.40 啁啾反射镜3 199 Mc~(S$FU$ 8.41 带保护层的铝膜层 200 +KDB^{ 8.42 增加铝反射率膜 201 DkA cT[ 8.43 参考文献 202 f`p`c* 9 多层膜 204 f&H):. 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 >AV-i$4eQ@ 9.2 内部透过率 204 >t'/(y 9.3 内部透射率数据 205 `f*?|) 9.4 实例 206 B!!xu 9.5 实例2 210 W )q^@6[d 9.6 圆锥和带宽计算 212 aT(Pf7
O 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 0fXdE ;M3 10 光学薄膜的颜色 216 #; E,>0 10.1 导言 216 wX#=l?,K 10.2 色彩 216 0+;.T1? 10.3 主波长和纯度 220 <'-}6f3 10.4 色相和纯度 221 U[c,cdA 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 9HRYk13ae 10.6 色差 226 xRP#}i:m 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 f<uLbJ6 10.8 颜色渲染指数 234 :bW}*0b- 10.9 色差计算 235 W&}R7a@:<~ 10.10 参考文献 236 =!9+f 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 @?3u|m |Z 11.1 短脉冲 238 G#Nh)ff 11.2 群速度 239 p<`q^D 11.3 群速度色散 241 ~ra2Xyl 11.4 啁啾(chirped) 245 K4N~ApLB+ 11.5 光学薄膜—相变 245 *r?g&Vw$m 11.6 群延迟和延迟色散 246 nC qUg_{D 11.7 色度色散 246 bh6Mh<+ 11.8 色散补偿 249 t=~al8 11.9 空间光线偏移 256 cA`R~o"
11.10 参考文献 258 OlRBvfoh8 12 公差与误差 260 CP |N2rb 12.1 蒙特卡罗模型 260 >wdR4!x!? 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 @GBS-iT3 12.2.1 误差工具 267 Od^y&$|_%` 12.2.2 灵敏度工具 271 <!Nj2> 12.2.2.1 独立灵敏度 271 0LrTYrlj 12.2.2.2 灵敏度分布 275 hh{4r} | 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 2l{g$44 12.3 参考文献 276 c*1t<OAS~ 13 Runsheet 与Simulator 277 P_z3TK 13.1 原理介绍 277 :v* _Ay 13.2 截止滤光片设计 277 giyKEnP 14 光学常数提取 289 tcwE.>5O 14.1 介绍 289 fR~_5pt7 14.2 电介质薄膜 289 {uL<$;#i 14.3 n 和k 的提取工具 295 ?<#6= 14.4 基底的参数提取 302 vy,ER< 14.5 金属的参数提取 306 {Rc/Ten 14.6 不正确的模型 306 ,6}HAC $ 14.7 参考文献 311 C^aP)&
qt 15 反演工程 313 YnNB#x8| 15.1 随机性和系统性 313 f%an<>j^w 15.2 常见的系统性问题 314 TCX*$ac" 15.3 单层膜 314 f:B+R 15.4 多层膜 314 9 @!Og(l 15.5 含义 319 "k)( , 15.6 反演工程实例 319 xA`Q4"[I 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 =mn)].Wg 15.6.2 反演工程提取折射率 327 0X~
16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 %?<C
?. 16.1 光学性质的热致偏移 329 U!XC-RA3
_ 16.2 应力工具 335 g*N~r['dZ 16.3 均匀性误差 339 q^JJ5{36e 16.3.1 圆锥工具 339 "e69aAA, 16.3.2 波前问题 341 ipQJn_:2 16.4 参考文献 343 PM=Q\0 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ^Gq4Yr 17.1 引言 345 hW~,Uqy 17.2 操作数 345 ]\v'1m" 18 如何在Function中编写脚本 351 6ALf`: 18.1 简介 351 `5r*4N< 18.2 什么是脚本? 351 )xiic3F 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 IU{~{(p" 18.4 基础 352 2ELw}9 18.4.1 Classes(类别) 352 7Z0
)k9* 18.4.2 对象 352 L
oe!@c 18.4.3 信息(Messages) 352 pT>[w1Kk^ 18.4.4 属性 352 u&I?LZ-=, 18.4.5 方法 353 9b``l-rO 18.4.6 变量声明 353 U)=StpTT 18.5 创建对象 354 Gx|$A+U 18.5.1 创建对象函数 355 s_hf,QH 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 H~i+:X=I 18.5.3 丢弃对象 356 Op" \i 18.5.4 总结 356 D(Pd?iQIO 18.6 脚本中的表格 357 R61.!ql%w 18.6.1 方法1 357 ]ctUl#j 18.6.2 方法2 357 [uT&sZxmg 18.7 2D Plots in Scripts 358 '\(Us^Ug 18.8 3D Plots in Scripts 359 y"#o9"&>& 18.9 注释 360 [< |