黄光AG图纸拼接,原始设计因为要减少设计输出时的内存占用,分成无数个小图,然后用
软件将这无数个小图拼接成一个完整的平面大图
?t+Kp 9@aZ 假设,起初设计的时候,40mmX40mm的长宽尺寸,将这个图分成了4X4的区域,即产生16个图形.每个图形的长宽为10mmX10mm,这16个图形都有各自的全局座标,即档案输出的时候,每个档案都不是同样的0,0座标系,而是有自己不同的座标.拼接完成的图案长宽尺寸会到40mmX40mm
D EL#MD! a<M<) {$u =?3 D:k7z 如下是设计时输出的16个档案,这样做的目的是软件在设计的时候分块处理,可以调用CPU满载运算,64核,256G服务器运算的更快.且明显减少内存的占用.实际在笔记本电脑上测试,如果40X40mm一次性输出的速度,远低于这4X4=16个档案输出的速度.
yla&/K;|* Xb=9~7&,$ P-VK=Y1q 把大图分成无数个小图.这样做的目的是为了方便mask光罩厂进行图案拼接,因为一整个的大图打开比较困难.实际证明,一个500X500大小的图纸,分成了2500个档案,mask光罩厂进行了拼接,实物mask做出来没有拼缝,黄光AG做出来的产品也没有拼缝.案例中每个小档案的长宽尺寸是10X10mm每个小图的长宽尺寸,软件内随便量测的,没有去抓取精确位置
Llk4 = p [(P m\o w7 ]@QTC 这10X10mm内,分布着大量的乱数排列的,直径不同的圆形
0t1W vW iP;X8'< BC 我们在klayout软件中,随便载入这16个档案中的两个档案,可以看到每个档案不在同一个座标内.放大看,档案5与档案14,在不同的座标内,是分开的,不会因为0,0座标而重合在一起.目的就是让各自档案占不同的位置.
CC>] Gc7 ,&!Txyye QOk Pli X 将图缩小一点看,这两个图形在不同的座标上. 每个方块中有几十万个圆形的点(黄光AG的版图),上面单个10X10的图放大看可以看到圆形分布
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Sw[+` fNc3&=]] 接着,我们调用合并拼图软件,将这16个图形一次性载入进来,选择GDSII文件,一次性全选这16个档案
文件,然后选择 设置输出路径,指定你要存放的合并后的路径,以及档案新名称命名.
A - G?@U 点击开始拼接,进度条可见开始加载文件
5~ CHj \&J7>vu^y 加载完后,这16个图案开始自动平面合并,按各自所在座标,找到自己的位置
[C)-=.Xx)j C9U~lcIS 合并完成,会有提示成功,并保存先前指定的位置与档案名称
<5A(rDij o64&BpCK 将合并完的图案,用klayout软件打开查看,图形实际量测是40mmX40mm.(鼠标随意点击量测位置,会有误差,实际就是40X40mm)
!h{qO&ZH= |Gb"%5YD 我们放大分析拼接后的文件查看,其实这16个原始图案,每个图案边界的圆点已经完成了无痕拼接算法处理,要确保每个区块拼接后无任何的拼缝问题,避免导致视效上产生问题(软件计算时已经规避这个问题),以下图中XY0,0中心线的座标线即为四个图案分别拼接后的位置.
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A ]s 4x4=16个图案拼接,只是案例,实际上50X50=2500个区块的拼接,在服务器上也能轻松完成.
u~6` 9' Ms 以上的方法是比较简易的软件拼接,其实用klayout一次性选择这些档案,然后整批导入也可以加载出一个完整的图.只不过加载的时间会比较慢.
