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摘要 MGd 7Ont 9air"4
^E8XPK]-~ `2y2Bk 在VirtualLab Fusion中,用户可以在光学表面定义任意区域。光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。 Ax4nx!W, eEkFZx 建模任务 < 6[XE ^|?/
y=
((TiBCF4 HgP9evz,0 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“ :;S]jNy}j) ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。 YT6<1-E# ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。 pzP~,cdf #N?EPV$ 示例 s('<ms lz?F ,]. yT<yy>J9l# Rdd[b? 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。 VQO6!ToKY ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。 #`rvL6W q} ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。 TpLlbsd ─ 我们还将在远离光栅的探测器平面中显示衍射阶数,以给出光栅方向。 ]?p&sI4 =l
TV2C< 关于z轴旋转的图示
g-MaP G/Nb@pAy[ -ckk2D? y,i:BQJ< 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。 445}Yw5;9 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。 FWv-_ &y/ 指向(关于z轴旋转):0° 8r7~ >p~ ^~k2(DLk
Nh7+Vl %Ji@\|Zkf 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。 RfVVAaI !j,LS$tPu 指向(关于z轴旋转): 30° K
r9 P#Y {k=H5<FV AOhfQ:E 4 8jW"8~Y#0 注意:方向角度的定义为: y<bA Y_-[ ─ 关于界面坐标轴。 y#Je%tAe
2 ─ 逆时针方向。 %y{#fZHc 8{aS$V" 指向(关于z轴旋转): -90° y -j3d)T XS5*=hv:
kGsd3t!' S3rN]!B+ 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。 i#o:V/Z. OTs vox|( 关于y轴旋转180°示例 #%t&f"j2 dGU io?
aV?dy4o$ <<}t&qE%2% 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。 .'QE o zi7,?bD 关于y轴旋转180°(未选中) ]]~tFdh `wRQ-<Y
SXfuPM K]4XD1n7 注意: O(U'G|
默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。 C'mYR3?m; 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中: ;fLYO6 ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。 i`-,=RJ ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的材料相反。 q 65mR!) R4+Gmx1 关于y轴旋转180(选中) o";5@NH 0Q^ -d+!
V7}5Zw1 }TjiYA. 注意: J
ik+t\A 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2. <T?H
H$es) "J|_1! 9 例1和例2的附加信息 R[Y]B$XO Vsh7>|@
y5;l?v94
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