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摘要 0{dz5gUde 3pK*~VK 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 w"SoeU Z9575CI<
X@k`3X ?T>'j mmV= 1. 建模任务 BNd^qB ? @O@GRq&V
S+'rG+NJ ;QW3CEaUq 2. 结果 dxZu2&gi ,z;ky5Ct
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