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摘要 3>%:%bP ^gY3))2_ 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 iJ p E` ,2]a<0m /EV _Y|(- 1. 建模任务
2!";?E -$o4WSd~ 2. 干涉条纹的变化 A;gU@8m z<,-:=BC" HBcL1wfS 3. VirtualLab Fusion概览 %<@x(q 8}{W.np_ 66|$X, 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 4+q3
Kw 设置输入场 >tTu1#t - Basic Source Models [教程视频] e#s-MK-Q 定义组件的位置和方向 o|nN0z)b4 - Basic Source Models [教程视频] _qsg2e}n 正确设置通道以进行非顺序跟踪 X^)vZL? - Basic Source Models [使用案例] p>= b|Qy| 使用参数运行检查影响/变化 xMHu:,ND - Usage of the Parameter Run Document [用例] aLO'.5
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UBM:.*wN d< b ,]. 5. VirtualLab Fusion 技术 {R}Kt;L:Ut y\zRv(T=
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