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摘要 o)NWsUXf t
;[Me0 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 Skx TgX5 *rWE.4=& q.#aeqKBP 1. 建模任务 1~j.jv$ OuX/BMG 2. 干涉条纹的变化 Cu>pql<O 0<e7!M=U1 H~
(I 3. VirtualLab Fusion概览 A:N!H_x &:Q""e! ,2u]rLxx; 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 qoOHWh& 设置输入场 b\}`L" - Basic Source Models [教程视频] m|p}Jf! 定义组件的位置和方向 AX6e}-S1n - Basic Source Models [教程视频] =MMWcK& 正确设置通道以进行非顺序跟踪 )U8F6GIC&} - Basic Source Models [使用案例] aX0sy\Z]j 使用参数运行检查影响/变化 Oi7|R7NE - Usage of the Parameter Run Document [用例] qbB.Z#w <OpiD%Ctx
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