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摘要 '_^T]fr} X^Z!!KTH 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 P#,;)HF L SP p R|v'+bv
1. 建模任务 DzQ L,[Q{:C S 2. 干涉条纹的变化 I/%v`[ TN1pg u*TC8!n 3. VirtualLab Fusion概览 15,JD }f]Y^>-Ux OQ7 `n<I<) 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 |K"Q>V2y 设置输入场 u8]FJQ*\6+ - Basic Source Models [教程视频] *8WB($T} 定义组件的位置和方向 ,wwO0,"y7 - Basic Source Models [教程视频] t*=[RS* 正确设置通道以进行非顺序跟踪 ](A2,F
9(U - Basic Source Models [使用案例] xC,x_:R` 使用参数运行检查影响/变化 TI8r/P?
]V - Usage of the Parameter Run Document [用例] 5,pNqXRp Zym6btc
Aeb(b+= +a3E=GJ 5. VirtualLab Fusion 技术 iN[x
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