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摘要 }G o$
\Bk Z/x*Y#0@n 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 b`yZ|j'ikd ]5~s"fnG ?Xdak|?i 1. 建模任务 NN0$}ac p
~>O) 2. 干涉条纹的变化 UJ-?k&j, 09A
X-JP 8l}1c=A}Vi 3. VirtualLab Fusion概览 iwz /525w^'pd yR{x}DbG 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 MuoF FvAA 设置输入场 dm-pxE " - Basic Source Models [教程视频] )jWOP,| 定义组件的位置和方向 %ms'n - Basic Source Models [教程视频] b'MSkEiQG 正确设置通道以进行非顺序跟踪 r`)L~/ - Basic Source Models [使用案例] M(#m0xB 使用参数运行检查影响/变化 26X+
}^52 - Usage of the Parameter Run Document [用例] lo%;aK PH"hn]
&g2 Eptx# G?f\>QSZ 5. VirtualLab Fusion 技术 1/p*tZP8i s9dO,FMs0t
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